一种便于更换靶材的装置制造方法及图纸

本技术涉及一种便于更换靶材的装置，包括腔体、载片台和靶材组件，载片台和靶材组件均位于腔体内；靶材组件的底部沿着X轴方向安装有若干个活动导向组件，活动导向组件可在下方的固定导向组件上沿着X轴方向移动；当靶材组件沿着X轴的正方向移出腔体时活动导向组件可继续在下方的顶升导向组件上沿着X轴方向移动。本技术的靶材组件在活动导向组件和固定导向组件的作用下可自由出入腔体，之后在活动导向组件和顶升导向组件的作用下，使得靶材组件完全从腔体内抽出后完成换靶。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及pvd设备相关，尤其涉及一种便于更换靶材的装置。

技术介绍

1、pvd物理气相沉积技术是指在真空条件下采用物理方法将材料源(固体或液体)表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，物理气相沉积是主要的表面处理技术之一。

2、经过海量检索，发现现有技术公开号为cn212025441u，公开了一种组合式pvd镀膜靶材及pvd镀膜机，所述组合式pvd镀膜靶材包括材质不同的靶材本体和底座，所述靶材本体与所述底座分体设置，所述底座的第一端与所述靶材本体的一端连接，将所述底座与所述靶材本体组合为一体。本技术的组合式pvd镀膜靶材可以解决现有技术的脆性靶材与镀膜机安装配合时存在容易断裂的问题，有助于改善成膜质量，提高生产效率并降低成本。

3、综上所述，现有的磁控溅射装置上的靶材经过一段时间的使用后，靶材表面通过惰性气体的作用下，靶材的表面会凹凸不平，同时会造成靶材的不同区域厚度不同，容易造成支撑筒的外表面出现损伤，并且工作人员在更换靶材的时候需要拆卸大量的零件，使得工作人员更换靶材比较麻烦，严重的影响了工作人员的工作效率。

4、有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种便于更换靶材的装置，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种便于更换靶材的装置。

2、为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：>

3、一种便于更换靶材的装置，包括腔体、载片台和靶材组件，载片台和靶材组件均位于腔体内，且靶材组件位于载片台的下方；

4、靶材组件的底部沿着x轴方向安装有若干个活动导向组件，活动导向组件下方的腔体内安装有沿着x轴方向分布的固定导向组件，活动导向组件可在下方的固定导向组件上沿着x轴方向移动；

5、腔体沿着x轴正方向一侧的底部设置有移动机架，移动机架的底部安装有若干个移动轮，移动机架上靠近顶部的位置安装有支撑架，支撑架上沿着x轴方向均匀的安装有若干个顶升组件，顶升组件可驱动上方的顶升板沿着z轴方向移动，顶升板上安装有沿着x轴方向分布的顶升导向组件，当靶材组件沿着x轴的正方向移出腔体时活动导向组件可继续在下方的顶升导向组件上沿着x轴方向移动。

6、作为本技术的进一步改进，移动机架上还设置有沿着x轴方向分布的导向轴，导向轴沿着x轴正方向的一侧通过导向轴座安装在移动机架上，导向轴沿着x轴负方向的一侧安装在靶材组件上。

7、作为本技术的进一步改进，活动导向组件为导向轮，固定导向组件和顶升导向组件均为导向轮槽。

8、作为本技术的进一步改进，活动导向组件为滑块，固定导向组件和顶升导向组件均为滑块槽。

9、作为本技术的进一步改进，靶材组件沿着y轴方向两侧的移动机架上均安装有护栏，护栏通过护栏支架沿着x轴方向安装在移动机架上。

10、作为本技术的进一步改进，顶升组件为液压缸或者电缸。

11、借由上述方案，本技术至少具有以下优点：

12、本技术的靶材组件在活动导向组件和固定导向组件的作用下可自由出入腔体，之后在活动导向组件和顶升导向组件的作用下，使得靶材组件完全从腔体内抽出后完成换靶。

13、本技术的在更换靶材组件时，不需要拆卸大量的零件，更换靶材组件较为方便，工作效率较高。

14、上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种便于更换靶材的装置，包括腔体(1)、载片台(2)和靶材组件(3)，所述载片台(2)和靶材组件(3)均位于腔体(1)内，且所述靶材组件(3)位于载片台(2)的下方；

2.如权利要求1所述的一种便于更换靶材的装置，其特征在于，所述移动机架(6)上还设置有沿着X轴方向分布的导向轴(12)，所述导向轴(12)沿着X轴正方向的一侧通过导向轴座(13)安装在移动机架(6)上，所述导向轴(12)沿着X轴负方向的一侧安装在靶材组件(3)上。

3.如权利要求1所述的一种便于更换靶材的装置，其特征在于，所述活动导向组件(5)为导向轮，所述固定导向组件(4)和顶升导向组件(11)均为导向轮槽。

4.如权利要求1所述的一种便于更换靶材的装置，其特征在于，所述活动导向组件(5)为滑块，所述固定导向组件(4)和顶升导向组件(11)均为滑块槽。

5.如权利要求1所述的一种便于更换靶材的装置，其特征在于，所述靶材组件(3)沿着Y轴方向两侧的移动机架(6)上均安装有护栏，所述护栏通过护栏支架沿着X轴方向安装在移动机架上。

6.如权利要求1所述的一种便于更换靶材的装置，其特征在于，所述顶升组件(9)为液压缸或者电缸。

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【技术特征摘要】

1.一种便于更换靶材的装置，包括腔体(1)、载片台(2)和靶材组件(3)，所述载片台(2)和靶材组件(3)均位于腔体(1)内，且所述靶材组件(3)位于载片台(2)的下方；

2.如权利要求1所述的一种便于更换靶材的装置，其特征在于，所述移动机架(6)上还设置有沿着x轴方向分布的导向轴(12)，所述导向轴(12)沿着x轴正方向的一侧通过导向轴座(13)安装在移动机架(6)上，所述导向轴(12)沿着x轴负方向的一侧安装在靶材组件(3)上。

3.如权利要求1所述的一种便于更换靶材的装置，其特征在于，所述活动导向...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄跃龙，
申请(专利权)人：湖州市鹑火光电有限公司，
类型：新型
国别省市：