【技术实现步骤摘要】
本申请涉及工业自动化，尤其涉及一种二维轴系精度参数补偿方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
1、在半导体、显示面板、微型显示器等高精度加工设备应用有二维轴的硬件结构，该硬件结构可以是由直线电机或压电电机组成，其二维定位精度受到机械结构的精度、稳定性和安装的误差的影响。因此，高精加工设备的二维轴硬件结构都会或多或少存在单轴直线度、定位精度、垂直度等问题，而最终导致二维定位精度误差较大，若二维定位误差值（x、y轴方向误差）大于要求的加工精度，将会导致最终加工精度异常。
2、相关技术中，在高精度加工设备的组装阶段中，将二维轴安装固定到大理石结构上，因此通常使用激光干涉仪对二维轴硬件结构中的两个单轴的定位精度进行多次测量，并补偿以减少二维定位误差值的影响。但该方式需要操作人员不断地使用激光干涉仪测量，对复杂的二维轴硬件结构，架设激光干涉仪测量是十分困难的，其测试结果不能得到很好的保证。
3、因此，相关技术中的精度测量存在一定误差，并且不能准确评估二维轴系统存在的精度问题，更不能提供系统性补偿以减少二维定位精度误差。
技术实现思路
1、本申请提供了一种二维轴系精度参数补偿方法、装置、设备及存储介质，解决了相关技术中精度测量存在误差而难以准确测量二维轴系统的精度问题，本方案能够量化二维轴的轴系精度参数，并通过单轴定位精度的补偿来提高二维定位精度。
2、第一方面，本申请提供了一种二维轴系精度参数补偿方法，应用于电子工业设备，电子工业设备通过工业相机获取在二维
3、在通过工业相机获取对应二维轴平台所在平面的平面图像后，基于平面图像中的特征板上两个特征点，确定工业相机的像素精度，像素精度用于表示两个特征点实际距离与像素间距之间的映射关系；
4、在特征板上确定目标特征点，并基于像素精度和二维轴平台的当前位置，以目标特征点为起点，确定在两个轴向方向上的多个特征点的轴系坐标；
5、结合所获取的多个特征点对应的轴系坐标，分别确定对应轴向方向的轴系精度参数，轴系精度参数包括在两个轴向方向上的定位误差值；
6、根据定位误差值和预设精度阈值，对二维轴平台进行定位精度补偿。
7、第二方面，本申请还提供了一种二维轴系精度参数补偿装置，应用于电子工业设备，电子工业设备通过工业相机获取在二维轴平台上的特征板的图像，工业相机的拍摄方向垂直于二维轴平台所在平面，该二维轴系精度参数补偿装置包括：
8、距离标定模块，配置为在通过工业相机获取对应二维轴平台所在平面的平面图像后，基于平面图像中的特征板上两个特征点，确定工业相机的像素精度，像素精度用于表示两个特征点实际距离与像素间距之间的映射关系；
9、坐标提取模块，配置为在特征板上确定目标特征点，并基于像素精度和二维轴平台的当前位置，以目标特征点为起点，确定在两个轴向方向上的多个特征点的轴系坐标；
10、误差确定模块，配置为结合所获取的多个特征点对应的轴系坐标，分别确定对应轴向方向的轴系精度参数，轴系精度参数包括在两个轴向方向上的定位误差值；
11、误差补偿模块，配置为根据定位误差值和预设精度阈值，对二维轴平台进行定位精度补偿。
12、第三方面，本申请还提供了一种电子工业设备，该电子工业设备包括：
13、一个或多个处理器；
14、存储装置，用于存储一个或多个程序，
15、当一个或多个程序被一个或多个处理器执行，使得一个或多个处理器实现本申请的二维轴系精度参数补偿方法。
16、第四方面，本申请还提供了一种存储计算机可执行指令的存储介质，计算机可执行指令在由处理器执行时用于执行本申请的二维轴系精度参数补偿方法。
17、本申请方案通过利用工业相机与特征板的相对位置，确定二维轴平台上特征板中各特征点对应的轴系坐标，以利用同一组数据确定二维轴平台的轴系精度参数，实现了便捷且自动化程度高的定位精度测量，以完成对二维轴平台的两个坐标轴所对应的误差的测量，进而通过对两个坐标轴所对应的一维定位精度的补偿，能够替代采用干涉仪进行测量补偿的方案，并且还能够利用对各坐标轴的补偿实现对二维轴平台带来的误差进行补偿，从而有效地提升了二维轴平台的二维定位精度。
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1.一种二维轴系精度参数补偿方法，其特征在于，应用于电子工业设备，所述电子工业设备通过工业相机获取在二维轴平台上的特征板的图像，所述特征板包括多个阵列排布的特征点，所述工业相机的拍摄方向垂直于所述二维轴平台所在平面，所述二维轴系精度参数补偿方法包括：
2.根据权利要求1所述的二维轴系精度参数补偿方法，其特征在于，所述在所述特征板上确定目标特征点，并基于所述像素精度和所述二维轴平台的当前位置，以所述目标特征点为起点，确定在两个轴向方向上的多个特征点的轴系坐标，包括：
3.根据权利要求2所述的二维轴系精度参数补偿方法，其特征在于，所述在所述二维轴平台带动所述特征板上的特征点移动至所述工业相机的视野中心的移动过程中，基于所述平面图像中特征点的位置，以循环逼近的方式判断特征点是否对齐所述工业相机的视野中心，包括：
4.根据权利要求1所述的二维轴系精度参数补偿方法，其特征在于，所述结合所获取的多个特征点对应的轴系坐标，分别确定对应所述轴向方向的轴系精度参数，所述轴系精度参数包括在两个轴向方向上的定位误差值，包括：
5.根据权利要求1或4所述的
6.根据权利要求1所述的二维轴系精度参数补偿方法，其特征在于，所述轴系精度参数还包括直线度，所述结合所获取的对应多个特征点的轴系坐标，分别确定对应各轴向方向的轴系精度参数，包括：
7.根据权利要求1或6所述的二维轴系精度参数补偿方法，其特征在于，所述轴系精度参数还包括垂直度，所述结合所获取的对应多个特征点的轴系坐标，分别确定对应轴向方向的轴系精度参数，包括：
8.一种二维轴系精度参数补偿装置，其特征在于，应用于电子工业设备，所述电子工业设备通过工业相机获取在二维轴平台上的特征板的图像，所述特征板包括多个阵列排布的特征点，所述工业相机的拍摄方向垂直于所述二维轴平台所在平面，所述二维轴系精度参数补偿装置包括：
9.一种电子工业设备，其特征在于，包括：
10.一种存储计算机可执行指令的存储介质，其特征在于，所述计算机可执行指令在由处理器执行时用于执行如权利要求1-7中任一项所述的二维轴系精度参数补偿方法。
...【技术特征摘要】
1.一种二维轴系精度参数补偿方法，其特征在于，应用于电子工业设备，所述电子工业设备通过工业相机获取在二维轴平台上的特征板的图像，所述特征板包括多个阵列排布的特征点，所述工业相机的拍摄方向垂直于所述二维轴平台所在平面，所述二维轴系精度参数补偿方法包括：
2.根据权利要求1所述的二维轴系精度参数补偿方法，其特征在于，所述在所述特征板上确定目标特征点，并基于所述像素精度和所述二维轴平台的当前位置，以所述目标特征点为起点，确定在两个轴向方向上的多个特征点的轴系坐标，包括：
3.根据权利要求2所述的二维轴系精度参数补偿方法，其特征在于，所述在所述二维轴平台带动所述特征板上的特征点移动至所述工业相机的视野中心的移动过程中，基于所述平面图像中特征点的位置，以循环逼近的方式判断特征点是否对齐所述工业相机的视野中心，包括：
4.根据权利要求1所述的二维轴系精度参数补偿方法，其特征在于，所述结合所获取的多个特征点对应的轴系坐标，分别确定对应所述轴向方向的轴系精度参数，所述轴系精度参数包括在两个轴向方向上的定位误差值，包括：
5.根据权利要求1或4所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张志强，许欣宁，杨韬，陈万群，王正根，
申请(专利权)人：迈为技术珠海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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