加料装置及晶硅生长炉制造方法及图纸

技术编号:43747430 阅读:1 留言:0更新日期:2024-12-20 13:06
本申请涉及一种加料装置及晶硅生长炉。加料装置包括料筒和提拉机构,料筒沿第一方向具有第一端和第二端;提拉机构包括固定连板、底锥板及拉杆,固定连板固定于料筒的第一端;底锥板位于料筒的第二端;拉杆的一端穿过固定连板、另一端与底锥板连接,以使底锥板随拉杆沿第一方向运动而与料筒的第二端的端面抵接或分离;提拉机构还包括沿第一方向依次套设于拉杆的第一防护管和隔离管,第一防护管与固定连板抵接,隔离管与底锥板抵接;第一方向与拉杆的纵长延伸方向彼此平行。通过设置第一防护管和隔离管,避免硅料加入料筒内及由料筒倒入炉内时出现金属结构裸露问题,实现料筒加料过程的全金属防护,有效规避金属污染风险,改善产品品质。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶硅制备,特别是涉及一种加料装置及晶硅生长炉


技术介绍

1、晶硅制备行业内,为了降低生产成本,硅料复投料是发展趋势之一。相关技术中,通常使用石英桶进行二次加料操作。然而,石英桶加料过程中,需要规避金属污染风险,以避免金属元素掺杂至硅料中影响晶硅棒的少子寿命。


技术实现思路

1、基于此,有必要提供一种能够规避金属污染风险的加料装置及晶硅生长炉。

2、根据本申请的第一方面,提供一种加料装置,所述加料装置包括:

3、料筒,沿第一方向具有第一端和第二端;

4、提拉机构,包括:

5、固定连板,固定于所述料筒的第一端;

6、底锥板,位于所述料筒的第二端;以及

7、拉杆,所述拉杆的一端穿过所述固定连板,所述拉杆的另一端与所述底锥板连接,以使所述底锥板随所述拉杆沿第一方向运动而与所述料筒的第二端的端面抵接或分离;

8、其中,所述提拉机构还包括沿第一方向依次套设于所述拉杆的第一防护管和隔离管,所述第一防护管远离所述隔离管的一端与所述固定连板抵接,所述隔离管远离所述第一防护管的一端与所述底锥板抵接;

9、所述第一方向与所述拉杆的纵长延伸方向彼此平行。

10、在其中一个实施例中,所述隔离管位于所述料筒内;所述第一防护管的至少部分位于所述料筒外。

11、在其中一个实施例中,所述第一防护管内构造有沿第一方向间隔设置的第一限位部和第二限位部;所述第一限位部和所述第二限位部分别从所述第一防护管的内壁向所述第一防护管的中轴线延伸,以构造出供所述拉杆穿过的第一过孔和第二过孔;其中,所述第二限位部相较于所述第一限位部更靠近所述隔离管。

12、在其中一个实施例中,所述第一过孔和所述第二过孔的内径,均小于所述隔离管的内径。

13、在其中一个实施例中,所述第一过孔的中轴线、所述第二过孔的中轴线和所述隔离管的中轴线彼此重合。

14、在其中一个实施例中,所述第一防护管远离所述固定连板的一端的内径r1满足条件:r1>r2;

15、其中,所述r2为所述隔离管的外径。

16、在其中一个实施例中,所述第一防护管包括沿第一方向依次套设于所述拉杆的第一子管和第二子管;所述第一子管远离所述第二子管的一端与所述固定连板抵接,所述第二子管远离所述第一子管的一端与所述隔离管抵接;其中,所述第二子管构造为能够至少部分地插入所述第一子管内,且相对所述第一子管锁止于不同伸入长度。

17、在其中一个实施例中,所述第一子管和所述第二子管螺纹连接。

18、在其中一个实施例中,所述提拉机构还包括套设于所述拉杆且位于所述隔离管内侧的第二防护管;所述第二防护管的长度l1满足条件:l3<l1<l2;

19、其中,所述l2为所述拉杆位于所述料筒内的部分的长度,所述l3为所述拉杆沿所述第一方向运动的最大行程。

20、在其中一个实施例中,所述拉杆包括彼此连接的第一部分和第二部分;所述第一部分的外径大于所述第二部分的外径,以形成一呈环形的台阶面,所述第二防护管设置于所述第二部分,所述第二防护管的一端抵接于所述台阶面,另一端抵接于所述底锥板。

21、在其中一个实施例中,所述第二防护管为碳化硅管或者氮化硅管。

22、根据本申请的第二方面,提供一种晶硅生长炉,包括如上述任一项所述的加料装置。

23、上述加料装置及晶硅生长炉,通过依次套设于拉杆的第一防护管和隔离管,避免拉杆裸露在外,实现对拉杆的防硅料碰撞防护,避免硅料加入料筒内及由料筒倒入炉内时出现金属结构裸露问题,可以实现料筒加料过程的全金属防护,有效避免料筒加料过程中硅料与金属结构接触后进入炉内而导致硅料受到金属污染,有效规避金属污染风险,从而避免金属元素掺杂至硅料中影响晶硅棒的少子寿命,实现产品的少子寿命提升,改善产品品质,提升品质稳定性。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种加料装置,其特征在于,所述加料装置包括:

2.根据权利要求1所述的加料装置,其特征在于,所述隔离管位于所述料筒内;所述第一防护管的至少部分位于所述料筒外。

3.根据权利要求1所述的加料装置,其特征在于,所述第一防护管内构造有沿第一方向间隔设置的第一限位部和第二限位部;

4.根据权利要求3所述的加料装置,其特征在于,所述第一过孔和所述第二过孔的内径,均小于所述隔离管的内径。

5.根据权利要求3所述的加料装置,其特征在于,所述第一过孔的中轴线、所述第二过孔的中轴线和所述隔离管的中轴线彼此重合。

6.根据权利要求1所述的加料装置,其特征在于,所述第一防护管远离所述固定连板的一端的内径R1满足条件:R1>R2;

7.根据权利要求1-6任一项所述的加料装置,其特征在于,所述第一防护管包括沿第一方向依次套设于所述拉杆的第一子管和第二子管;

8.根据权利要求7所述的加料装置,其特征在于,所述第一子管和所述第二子管螺纹连接。

9.根据权利要求1-6任一项所述的加料装置,其特征在于,所述提拉机构还包括套设于所述拉杆且位于所述隔离管内侧的第二防护管;

10.根据权利要求9所述的加料装置,其特征在于,所述拉杆包括彼此连接的第一部分和第二部分;

11.根据权利要求9所述的加料装置,其特征在于,所述第二防护管为碳化硅管或者氮化硅管。

12.一种晶硅生长炉,其特征在于,包括如权利要求1-11任一项所述的加料装置。

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【技术特征摘要】

1.一种加料装置,其特征在于,所述加料装置包括:

2.根据权利要求1所述的加料装置,其特征在于,所述隔离管位于所述料筒内;所述第一防护管的至少部分位于所述料筒外。

3.根据权利要求1所述的加料装置,其特征在于,所述第一防护管内构造有沿第一方向间隔设置的第一限位部和第二限位部;

4.根据权利要求3所述的加料装置,其特征在于,所述第一过孔和所述第二过孔的内径,均小于所述隔离管的内径。

5.根据权利要求3所述的加料装置,其特征在于,所述第一过孔的中轴线、所述第二过孔的中轴线和所述隔离管的中轴线彼此重合。

6.根据权利要求1所述的加料装置,其特征在于,所述第一防护管远离所述固定连板的一端的内径r1满足条件:r1>...

【专利技术属性】
技术研发人员:代维祥王荣徐琼唐红英
申请(专利权)人:晶科能源股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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