【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶棒制备设备，尤其涉及一种具备装卸功能的晶棒运输装置及运输方法。
技术介绍
1、晶棒是通过直拉单晶法制备出来的棒状单晶硅，在对晶棒进行加工时，需要使用专门的承载运输装置将晶棒在货架及机台等设备间进行搬运，以将晶棒移动至下一工序中，现有的承载运输装置中用于支撑晶圆棒的支撑座结构设计不合理，不能放置直径尺寸较大的晶棒，通用性较差，无法适应现有大直径化和长度化生产。
2、为解决上述技术问题，专利申请号为cn202021213819.3的中国技术专利公告的技术方案是一种晶圆棒运输承载装置，具有可移动的底座组件、用于放置晶圆棒的支撑组件和用于防止所述晶圆棒侧翻的防护组件，所述支撑组件置于所示底座组件上固定设置；所述防护组件置于所示支撑组件上并可调节设置于所述支撑组件宽度方向上。本技术的有益效果是：结构设计合理，安全性能高且通用性强，可承载各种直径和长度的晶圆棒的放置，更适合现有大尺寸直径化和长度化的晶体晶圆棒的运输，效率高且防侧翻效果好。
3、然而上述现有技术中存在以下技术问题：上述晶圆棒运输承载装置在装卸晶棒时，需要借助搬运装置或通过人工实现晶棒的装卸操作，借助搬运装置时，需要通过搬运装置和承载装置互相配合才能实现晶棒的装卸操作，操作繁琐，装卸效率较低；通过人工装卸晶棒时，需要多名工人才能搬运一根晶棒，装卸效率低下，导致了晶棒的运输效率降低。
技术实现思路
1、有鉴于此，有必要提供一种具备装卸功能的晶棒运输装置及运输方法，无需借助搬运装置或人工就能装卸
2、第一方面，本专利技术提供了一种具备装卸功能的晶棒运输装置，包括放置构件及装卸构件，所述放置构件用于放置需要运输的晶棒，所述装卸构件包括竖直调整组件、水平调整组件及夹具组件，所述竖直调整组件的固定端可旋转地安装在所述放置构件上，所述水平调整组件的固定端与所述竖直调整组件的伸缩端固定连接，所述夹具组件可滑动的安装在所述水平调整组件上；所述竖直调整组件及水平调整组件分别可沿竖直方向和水平方向伸缩，所述竖直调整组件用于调节夹具组件在竖直方向的活动范围，所述水平调整组件用于调节夹具组件在水平方向的活动范围，所述夹具组件用于夹持晶棒，以将需要运输的晶棒放置到放置构件上或从放置构件上将晶棒取下。
3、优选的，所述装卸构件还包括角度调整组件，所述角度调整组件包括旋转电机及转盘，所述旋转电机的固定端与所述放置构件固定连接，驱动端与所述转盘固定连接，所述转盘与所述竖直调整组件的固定端固定连接。
4、优选的，所述竖直调整组件包括第一液压杆及调整平台，所述第一液压杆的固定端与所述转盘固定连接，伸缩端与所述调整平台固定连接，所述调整平台与所述水平调整组件的固定端固定连接。
5、优选的，所述水平调整组件包括第二液压杆及调整块，所述调整块的底端和所述调整平台固定连接，所述调整块的一侧与所述第二液压杆的伸缩端固定连接，所述第二液压杆朝向所述放置构件的一侧设有夹具槽，所述夹具组件可滑动的安装在所述夹具槽中。
6、优选的，所述夹具组件包括至少两个第一丝杠电机、滑块、至少两个线轴、夹具盒、第二丝杠电机及两个结构相同的夹爪，各第一丝杠电机的固定端均安装在所述夹具槽内的一侧，驱动端均可转动的安装在所述夹具槽的另一侧，所述滑块与各第一丝杠电机的驱动端丝杠连接，以通过第一丝杠电机的转动使滑块在夹具槽中往返运动；各线轴的固定端固定安装在所述滑块的底面，伸缩端与所述夹具盒的顶端固定连接，以通过各线轴的伸缩调整夹具盒的高度；所述第二丝杠电机的固定端与所述夹具盒的一侧固定连接，丝杠端伸入夹具盒中，并于所述夹具盒的另一侧转动连接，两个夹爪的固定端均与所述第二丝杠电机的丝杠端丝杠连接，两个夹爪的夹取端相对设置，以用于夹取晶棒。
7、优选的，所述放置构件包括放置组件，所述放置组件包括底板、四个万向轮、两个扶手及若干放置底座，所述四个万向轮均匀设置在所述底板的底部，所述装卸构件安装在所述底板一侧的中部，以使夹爪能够夹持晶棒的中间位置；两个扶手分别设置在所述装卸构件的两侧，若干放置底座在底板的顶面上均匀设置n排，以用于放置晶棒；其中，n≥2。
8、优选的，所述放置构件还包括2n组防护组件，各防护组件分别设置在所述底板的两端，并正对各排放置底座，每个防护组件均包括开在底板上的防护槽及防护板，所述防护板呈“l”型，所述防护板的底面上均匀开有若干固定孔，所述防护槽上均匀开有若干调整孔，以通过将不同的固定孔与调整孔固定连接的方式调节防护板的位置，从而使各防护板能够与晶棒的两端接触；所述防护板侧面上设有软质保护套，以保护晶棒的两端。
9、优选的，各放置底座的顶端呈“v”字形，以用于放置晶棒或晶锭，各放置底座的底端开有安装槽，以便于将固定孔与调整孔固定连接。
10、第二方面，本专利技术提供了一种基于第一方面所述的具备装卸功能的晶棒运输装置的运输方法，包括以下步骤：
11、步骤1：将具备装卸功能的晶棒运输装置移动到要夹取晶棒的设备旁；
12、步骤2：根据要夹取晶棒的位置，通过角度调整组件、竖直调整组件及水平调整组件调整夹具组件的位置，使其能够移动到要夹取晶棒的正上方；
13、步骤3：通过夹具组件夹起要运输的晶棒，并通过角度调整组件、竖直调整组件及水平调整组件调整夹具组件的位置，使其能够移动到放置底座的正上方；
14、步骤4：通过夹具组件将晶棒放置到放置底座上；
15、步骤5：将具备装卸功能的晶棒运输装置移动到要放置晶棒的设备旁；
16、步骤6：通过夹具组件将晶棒从放置底座上夹起，并通过角度调整组件、竖直调整组件及水平调整组件调整夹具组件的位置，使其能够移动到要放置晶棒的设备的正上方；
17、步骤7：通过夹具组件将晶棒放置到要放置晶棒的设备上；
18、步骤8：通过角度调整组件、竖直调整组件及水平调整组件使夹具组件复位。
19、上述具备装卸功能的晶棒运输装置中设有放置构件及装卸构件，放置构件用于放置需要运输的晶棒，装卸构件包括竖直调整组件、水平调整组件及夹具组件，竖直调整组件的固定端可旋转地安装在放置构件上，水平调整组件的固定端与竖直调整组件的伸缩端固定连接，夹具组件可滑动的安装在水平调整组件上；竖直调整组件及水平调整组件分别沿竖直方向和水平方向伸缩，竖直调整组件用于调节夹具组件在竖直方向的活动范围，水平调整组件用于调节夹具组件在水平方向的活动范围，夹具组件用于夹持晶棒，以将需要运输的晶棒放置到放置构件上或从放置构件上将晶棒取下；如此，通过竖直调整组件调节夹具的最大高度，并且通过水平调整组件调整夹具组件在放置构件上方的活动范围，以调整夹具组件的活动范围，使得夹具组件能够将需要运输的晶棒放置到放置构件上或从放置构件上将晶棒取下，从而无需借助搬运装置或人工就能装卸晶棒，提高了晶棒的装卸速度，提升了晶棒的运输效率。
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1.一种具备装卸功能的晶棒运输装置，其特征在于，包括放置构件及装卸构件，所述放置构件用于放置需要运输的晶棒，所述装卸构件包括竖直调整组件、水平调整组件及夹具组件，所述竖直调整组件的固定端可旋转地安装在所述放置构件上，所述水平调整组件的固定端与所述竖直调整组件的伸缩端固定连接，所述夹具组件可滑动的安装在所述水平调整组件上；所述竖直调整组件及水平调整组件分别可沿竖直方向和水平方向伸缩，所述竖直调整组件用于调节夹具组件在竖直方向的活动范围，所述水平调整组件用于调节夹具组件在水平方向的活动范围，所述夹具组件用于夹持晶棒，以将需要运输的晶棒放置到放置构件上或从放置构件上将晶棒取下。
2.如权利要求1所述的具备装卸功能的晶棒运输装置，其特征在于，所述装卸构件还包括角度调整组件，所述角度调整组件包括旋转电机及转盘，所述旋转电机的固定端与所述放置构件固定连接，驱动端与所述转盘固定连接，所述转盘与所述竖直调整组件的固定端固定连接。
3.如权利要求2所述的具备装卸功能的晶棒运输装置，其特征在于，所述竖直调整组件包括第一液压杆及调整平台，所述第一液压杆的固定端与所述转盘固定连接
4.如权利要求3所述的具备装卸功能的晶棒运输装置，其特征在于，所述水平调整组件包括第二液压杆及调整块，所述调整块的底端和所述调整平台固定连接，所述调整块的一侧与所述第二液压杆的伸缩端固定连接，所述第二液压杆朝向所述放置构件的一侧设有夹具槽，所述夹具组件可滑动的安装在所述夹具槽中。
5.如权利要求4所述的具备装卸功能的晶棒运输装置，其特征在于，所述夹具组件包括至少两个第一丝杠电机、滑块、至少两个线轴、夹具盒、第二丝杠电机及两个结构相同的夹爪，各第一丝杠电机的固定端均安装在所述夹具槽内的一侧，驱动端均可转动的安装在所述夹具槽的另一侧，所述滑块与各第一丝杠电机的驱动端丝杠连接，以通过第一丝杠电机的转动使滑块在夹具槽中往返运动；各线轴的固定端固定安装在所述滑块的底面，伸缩端与所述夹具盒的顶端固定连接，以通过各线轴的伸缩调整夹具盒的高度；所述第二丝杠电机的固定端与所述夹具盒的一侧固定连接，丝杠端伸入夹具盒中，并于所述夹具盒的另一侧转动连接，两个夹爪的固定端均与所述第二丝杠电机的丝杠端丝杠连接，两个夹爪的夹取端相对设置，以用于夹取晶棒。
6.如权利要求1所述的具备装卸功能的晶棒运输装置，其特征在于，所述放置构件包括放置组件，所述放置组件包括底板、四个万向轮、两个扶手及若干放置底座，所述四个万向轮均匀设置在所述底板的底部，所述装卸构件安装在所述底板一侧的中部，以使夹爪能够夹持晶棒的中间位置；两个扶手分别设置在所述装卸构件的两侧，若干放置底座在底板的顶面上均匀设置N排，以用于放置晶棒；其中，N≥2。
7.如权利要求6所述的具备装卸功能的晶棒运输装置，其特征在于，所述放置构件还包括2N组防护组件，各防护组件分别设置在所述底板的两端，并正对各排放置底座，每个防护组件均包括开在底板上的防护槽及防护板，所述防护板呈“L”型，所述防护板的底面上均匀开有若干固定孔，所述防护槽上均匀开有若干调整孔，以通过将不同的固定孔与调整孔固定连接的方式调节防护板的位置，从而使各防护板能够与晶棒的两端接触；所述防护板侧面上设有软质保护套，以保护晶棒的两端。
8.如权利要求7所述的具备装卸功能的晶棒运输装置，其特征在于，各放置底座的顶端呈“V”字形，以用于放置晶棒或晶锭，各放置底座的底端开有安装槽，以便于将固定孔与调整孔固定连接。
9.一种基于权利要求1-8任一所述的具备装卸功能的晶棒运输装置的运输方法，其特征在于，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种具备装卸功能的晶棒运输装置，其特征在于，包括放置构件及装卸构件，所述放置构件用于放置需要运输的晶棒，所述装卸构件包括竖直调整组件、水平调整组件及夹具组件，所述竖直调整组件的固定端可旋转地安装在所述放置构件上，所述水平调整组件的固定端与所述竖直调整组件的伸缩端固定连接，所述夹具组件可滑动的安装在所述水平调整组件上；所述竖直调整组件及水平调整组件分别可沿竖直方向和水平方向伸缩，所述竖直调整组件用于调节夹具组件在竖直方向的活动范围，所述水平调整组件用于调节夹具组件在水平方向的活动范围，所述夹具组件用于夹持晶棒，以将需要运输的晶棒放置到放置构件上或从放置构件上将晶棒取下。
2.如权利要求1所述的具备装卸功能的晶棒运输装置，其特征在于，所述装卸构件还包括角度调整组件，所述角度调整组件包括旋转电机及转盘，所述旋转电机的固定端与所述放置构件固定连接，驱动端与所述转盘固定连接，所述转盘与所述竖直调整组件的固定端固定连接。
3.如权利要求2所述的具备装卸功能的晶棒运输装置，其特征在于，所述竖直调整组件包括第一液压杆及调整平台，所述第一液压杆的固定端与所述转盘固定连接，伸缩端与所述调整平台固定连接，所述调整平台与所述水平调整组件的固定端固定连接。
4.如权利要求3所述的具备装卸功能的晶棒运输装置，其特征在于，所述水平调整组件包括第二液压杆及调整块，所述调整块的底端和所述调整平台固定连接，所述调整块的一侧与所述第二液压杆的伸缩端固定连接，所述第二液压杆朝向所述放置构件的一侧设有夹具槽，所述夹具组件可滑动的安装在所述夹具槽中。
5.如权利要求4所述的具备装卸功能的晶棒运输装置，其特征在于，所述夹具组件包括至少两个第一丝杠电机、滑块、至少两个线轴、夹具盒、第二丝杠电机及两个结构相同的夹爪，各第一丝杠电机的固定端均安装在所述夹具槽...
【专利技术属性】
技术研发人员：张佳怡，王黎光，黄森，芮阳，惠瑞峰，马萍，谢国荣，白园，
申请(专利权)人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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