【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于去磷去硼硅刻蚀清洗设备，尤其是涉及一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备。
技术介绍
1、电池片湿法刻蚀是太阳能电池片生产过程中的一道重要工序，通过利用酸性混合液体对扩散后的硅片下表面和边缘进行腐蚀，其主要目的是去除硅片边缘的pn结，避免短路并降低并联电阻，目前电池片湿法刻蚀加工常使用到酸洗烘干一体链式机，该酸洗烘干一体链式机包括上片、湿法蚀刻、水洗、干燥和下片等步骤。
2、目前用于电池片湿法刻蚀的酸洗烘干一体链式机在使用时，因电池硅片原料品质差异和酸性溶液湿法蚀刻不均匀导致电池硅片边缘pn结去除不彻底，部分电池硅片边缘还存留pn结，因而影响电池硅片湿法蚀刻设备蚀刻加工电池硅片的合格率受到影响，以及影响电池硅片湿法蚀刻设备使用的可靠性；
3、另外电池硅片经过湿法刻蚀设备加工后还需要通过输送设备输送到电池硅片检测设备中进行质检，若出现电池硅片湿法蚀刻不彻底的情况还需要返回到酸洗烘干一体链式机中返修，影响电池硅片湿法蚀刻加工的便捷性和效率。
4、为此，我们提出一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备来解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是针对上述问题，提供一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备。
2、为达到上述目的，本专利技术采用了下列技术方案：一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备，包括酸洗烘干一体链式机主体、机械臂和电动负压吸盘组件，所述酸洗烘干一体链式机主体的下片端外壁固定连接有两个连接架，所述连接架的底端与酸洗烘干一体链式机主体的底端处于同一水平面，两
3、在上述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备中，所述驱动机构包括与两个连接架外壁固定连接的固定板，两个所述固定板相对的一侧通过滚动轴承连接有丝杆，其中一个所述固定板的外壁固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端与丝杆的侧端固定连接，所述丝杆的杆壁螺纹套接有螺纹筒，所述螺纹筒的外壁固定套接有固定框，所述固定框的外壁与两个连接架的外壁活动连接，所述固定框的底端与机械臂的固定端固定连接。
4、在上述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备中，所述电池硅片检测机构包括与两个连接架外壁固定连接的l形板，所述l形板的内壁固定连接有多通道电压测量仪，所述多通道电压测量仪的输出端通过导线与工控机的输入端电性连接，所述l形板竖直部的四侧外壁均开设有一组对称分布的连接通孔，且四组连接通孔的孔壁均连接有接触组件，所述电动负压吸盘组件的外壁固定连接有ccd视觉相机，所述l形板的竖直部固定连接有补光灯。
5、在上述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备中，所述接触组件包括两个导电杆，两个导电杆的接电端均通过导线与多通道电压测量仪的输入端电性连接，两个所述导电杆的接触端均固定连接有导电海绵块，所述导电杆的杆壁固定套接有绝缘环，所述导电杆的杆壁活动套接有绝缘弹簧，所述绝缘弹簧的两端分别与绝缘环和l形板竖直部的外壁固定连接。
6、在上述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备中，所述电池硅片再湿法蚀刻机构包括与再处理槽内壁和隔板外壁共同固定连接的倾斜板，所述倾斜板、隔板和再处理槽共同组成酸液储存区，所述隔板的外壁固定连接有第一空心罩，所述第一空心罩的底端与倾斜板上表面共同固定连接的围板，所述围板的内壁固定连接有抽气泵，所述抽气泵的输出端穿过倾斜板的下表面，并固定连通有排气单向阀，所述抽气泵的吸入端固定连通有连接管，所述连接管的进气端穿过第一空心罩的上表面，并固定连通有空心过滤罐，所述空心过滤罐的外壁与再处理槽的顶端外壁固定连接，所述倾斜板的顶端固定嵌设有导管，所述导管的顶端与第一空心罩的下表面固定连通，所述第一空心罩的上表面固定连通有四个电磁控制阀，四个所述电磁控制阀的顶端均固定连通有喷液嘴，所述再处理槽位于酸液储存区处下表面固定连通有常闭阀门，所述常闭阀门的输入端穿过第二支撑板的下表面，并固定连通有酸液输送管，所述倾斜板的下表面固定连接有密封罩，所述密封罩的底端固定嵌设有液位开关。
7、在上述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备中，所述水洗与干燥机构包括与隔板外壁固定连接的隔热罩和第二空心罩，所述隔热罩的内部设有半导体制冷器，所述半导体制冷器的制冷端固定连接有陶瓷导热条，所述陶瓷导热条的侧端穿过隔板伸入酸液储存区，所述陶瓷导热条的外壁开设有多个导热孔，所述第二空心罩的下表面和隔热罩的上表面共同固定连通有导气管，所述第二空心罩的上表面固定连通有多个喷气嘴，所述第二空心罩的底端固定连通有进水控制阀，所述进水控制阀的输入端固定连通有供水管，所述供水管的底端穿过再处理槽的外壁，所述隔热罩的底端固定连通有进气管，所述进气管的底端穿过第二支撑板的下表面，并固定连通有进风扇。
8、在上述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备中，所述再处理槽的两侧外壁分别固定连通有废液排出管和废水排出管。
9、在上述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备中，所述第二支撑板的上表面开设有矩形安装孔，且矩形安装孔的孔壁活动连接有废料收集槽，所述废料收集槽的底端与第一支撑板的上表面活动接触。
10、在上述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备中所述酸洗烘干一体链式机主体包括烘干段和酸洗段，位于所述烘干段的进口处设置有水膜机构，所述水膜机构的正下方设有第一输送辊，所述酸洗段的内部设有第二输送辊，所述第二输送辊的两端分别设置有多个伞形的从动齿轮，每个所述从动齿轮的外壁均啮合有驱动齿轮，所述驱动齿轮的连接端连接有驱动轴，所述驱动轴的两端均设有连接插件，所述连接插件的连接孔内壁固定连接有与驱动轴侧端相配合的peek轴承，所述驱动轴的外壁设有支撑锁附块。
11、在上述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备中，所述酸洗段靠近酸洗烘干一体链式机主体出口的一侧设有清洗组件，且清洗组件包括循环水洗段和直供喷淋段。
12、与现有的技术相比，一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备的优点在于：
13、1、通过设置的驱动机构、ccd视觉相机、补光灯和工控机，当电池硅片通过酸洗烘干一体链式机主体进行湿法刻蚀加工下片后，此时机械臂通过工控机带动电动负压吸盘组件靠近电池硅片的上表面，接着工控机控制电动负压吸盘组件稳定吸取电池硅片，之后工控机通过驱动机构带动机械臂和电动负压吸盘组件移动到再处理槽的上方，然后通过工控机再控制机械臂使电池硅片靠近电池硅片检测机构，同时工控机控制启动ccd视觉相机和补光灯，补光灯的灯光照射到电池硅片上，然后ccd视觉相机再拍摄受光状态下的电本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备，包括酸洗烘干一体链式机主体（1）、机械臂（2）和电动负压吸盘组件（3），其特征在于，所述酸洗烘干一体链式机主体（1）的下片端外壁固定连接有两个连接架（4），所述连接架（4）的底端与酸洗烘干一体链式机主体（1）的底端处于同一水平面，两个所述连接架（4）的外壁固定连接有驱动机构（5），所述驱动机构（5）的底端与机械臂（2）的固定端固定连接，所述电动负压吸盘组件（3）的固定端与机械臂（2）的活动端固定连接，两个所述连接架（4）的外壁共同固定连接有电池硅片检测机构（6）和工控机（7），所述工控机（7）的外壁固定连接有横板（10），所述横板（10）的上表面固定连接有显示器（11），两个所述连接架（4）的外壁与酸洗烘干一体链式机主体（1）的外壁固定连接有第一支撑板（12）和第二支撑板（13），所述第二支撑板（13）的上表面固定连接有再处理槽（14），所述再处理槽（14）的内壁固定连接有隔板（15），所述隔板（15）一侧外壁与再处理槽（14）外壁共同固定连接有电池硅片再湿法蚀刻机构（8），所述隔板（15）另一侧外壁与再处理槽（14）的内壁共同固定连接有水洗与干燥
2.根据权利要求1所述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备，其特征在于，所述驱动机构（5）包括与两个连接架（4）外壁固定连接的固定板（51），两个所述固定板（51）相对的一侧通过滚动轴承连接有丝杆（52），其中一个所述固定板（51）的外壁固定连接有伺服电机（53），所述伺服电机（53）的输出端与丝杆（52）的侧端固定连接，所述丝杆（52）的杆壁螺纹套接有螺纹筒（54），所述螺纹筒（54）的外壁固定套接有固定框（55），所述固定框（55）的外壁与两个连接架（4）的外壁活动连接，所述固定框（55）的底端与机械臂（2）的固定端固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备，其特征在于，所述电池硅片检测机构（6）包括与两个连接架（4）外壁固定连接的L形板（61），所述L形板（61）的内壁固定连接有多通道电压测量仪（62），所述多通道电压测量仪（62）的输出端通过导线与工控机（7）的输入端电性连接，所述L形板（61）竖直部的四侧外壁均开设有一组对称分布的连接通孔，且四组连接通孔的孔壁均连接有接触组件（63），所述电动负压吸盘组件（3）的外壁固定连接有CCD视觉相机（64），所述L形板（61）的竖直部固定连接有补光灯（65）。
4.根据权利要求3所述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备，其特征在于，所述接触组件（63）包括两个导电杆（631），两个导电杆（631）的接电端均通过导线与多通道电压测量仪（62）的输入端电性连接，两个所述导电杆（631）的接触端均固定连接有导电海绵块（632），所述导电杆（631）的杆壁固定套接有绝缘环（633），所述导电杆（631）的杆壁活动套接有绝缘弹簧（634），所述绝缘弹簧（634）的两端分别与绝缘环（633）和L形板（61）竖直部的外壁固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备，其特征在于，所述电池硅片再湿法蚀刻机构（8）包括与再处理槽（14）内壁和隔板（15）外壁共同固定连接的倾斜板（81），所述倾斜板（81）、隔板（15）和再处理槽（14）共同组成酸液储存区（82），所述隔板（15）的外壁固定连接有第一空心罩（83），所述第一空心罩（83）的底端与倾斜板（81）上表面共同固定连接的围板（84），所述围板（84）的内壁固定连接有抽气泵（85），所述抽气泵（85）的输出端穿过倾斜板（81）的下表面，并固定连通有排气单向阀（86），所述抽气泵（85）的吸入端固定连通有连接管（87），所述连接管（87）的进气端穿过第一空心罩（83）的上表面，并固定连通有空心过滤罐（88），所述空心过滤罐（88）的外壁与再处理槽（14）的顶端外壁固定连接，所述倾斜板（81）的顶端固定嵌设有导管（89），所述导管（89）的顶端与第一空心罩（83）的下表面固定连通，所述第一空心罩（83）的上表面固定连通有四个电磁控制阀（810），四个所述电磁控制阀（810）的顶端均固定连通有喷液嘴（811），所述再处理槽（14）位于酸液储存区处下表面固定连通有常闭阀门（812），所述常闭阀门（812）的输入端穿过第二支撑板（13）的下表面，并固定连通有酸液输送管（813），所述倾斜板（81）的下表面固定连接有密封罩（814），所述密封罩（814）的底端固定嵌设有液位开关（815）。
6.根据权利要求5所述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备，其特征在于，所述水洗与干燥机构（9）包括与隔板（15）外壁固定连接的隔热罩（91）和第二空心罩（92），所述隔热罩（91）的内部设有半导体...
【技术特征摘要】
1.一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备，包括酸洗烘干一体链式机主体（1）、机械臂（2）和电动负压吸盘组件（3），其特征在于，所述酸洗烘干一体链式机主体（1）的下片端外壁固定连接有两个连接架（4），所述连接架（4）的底端与酸洗烘干一体链式机主体（1）的底端处于同一水平面，两个所述连接架（4）的外壁固定连接有驱动机构（5），所述驱动机构（5）的底端与机械臂（2）的固定端固定连接，所述电动负压吸盘组件（3）的固定端与机械臂（2）的活动端固定连接，两个所述连接架（4）的外壁共同固定连接有电池硅片检测机构（6）和工控机（7），所述工控机（7）的外壁固定连接有横板（10），所述横板（10）的上表面固定连接有显示器（11），两个所述连接架（4）的外壁与酸洗烘干一体链式机主体（1）的外壁固定连接有第一支撑板（12）和第二支撑板（13），所述第二支撑板（13）的上表面固定连接有再处理槽（14），所述再处理槽（14）的内壁固定连接有隔板（15），所述隔板（15）一侧外壁与再处理槽（14）外壁共同固定连接有电池硅片再湿法蚀刻机构（8），所述隔板（15）另一侧外壁与再处理槽（14）的内壁共同固定连接有水洗与干燥机构（9）。
2.根据权利要求1所述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备，其特征在于，所述驱动机构（5）包括与两个连接架（4）外壁固定连接的固定板（51），两个所述固定板（51）相对的一侧通过滚动轴承连接有丝杆（52），其中一个所述固定板（51）的外壁固定连接有伺服电机（53），所述伺服电机（53）的输出端与丝杆（52）的侧端固定连接，所述丝杆（52）的杆壁螺纹套接有螺纹筒（54），所述螺纹筒（54）的外壁固定套接有固定框（55），所述固定框（55）的外壁与两个连接架（4）的外壁活动连接，所述固定框（55）的底端与机械臂（2）的固定端固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备，其特征在于，所述电池硅片检测机构（6）包括与两个连接架（4）外壁固定连接的l形板（61），所述l形板（61）的内壁固定连接有多通道电压测量仪（62），所述多通道电压测量仪（62）的输出端通过导线与工控机（7）的输入端电性连接，所述l形板（61）竖直部的四侧外壁均开设有一组对称分布的连接通孔，且四组连接通孔的孔壁均连接有接触组件（63），所述电动负压吸盘组件（3）的外壁固定连接有ccd视觉相机（64），所述l形板（61）的竖直部固定连接有补光灯（65）。
4.根据权利要求3所述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备，其特征在于，所述接触组件（63）包括两个导电杆（631），两个导电杆（631）的接电端均通过导线与多通道电压测量仪（62）的输入端电性连接，两个所述导电杆（631）的接触端均固定连接有导电海绵块（632），所述导电杆（631）的杆壁固定套接有绝缘环（633），所述导电杆（631）的杆壁活动套接有绝缘弹簧（634），所述绝缘弹簧（634）的两端分别与绝缘环（633）和l形板（61）竖直部的外壁固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种去磷去硼硅刻蚀清洗设备，其特征在于，所述电池硅片再湿法蚀刻机构（8）包括与再处理槽（14）内壁和隔板（15）外壁共同固定连接的倾斜板（81），所述倾斜板（81）、隔板（15）和再处理槽（14）共同组成酸液储存区（82），所述隔板（15）的外壁固定连接有第一空心罩（83），所述第一空心罩（83）的底端与倾斜板（81）上表面共同固定连接的围板（84），所述围板（84）的内壁固定连接有抽气泵（85），所...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏金财，陈春芙，
申请(专利权)人：科隆威江苏新能源装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。