【技术实现步骤摘要】
[]本技术涉及直驱电机，具体涉及一种应用于半导体的龙门十字直驱平台。
技术介绍
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技术介绍
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1、直驱电机平台在半导体晶圆检测行业中具有高精度、高速度、高稳定性、高可靠性和高灵活性等优势，能够满足对晶圆表面缺陷和特征进行精细检测的要求，提高了晶圆检测系统的性能和可靠性。
2、中国专利cn215727630u公开了一种半导体晶圆检测平台，包括平台、xy移动平台、相机镜头安装梁、真空吸附治具，xy移动平台设置在平台上，相机镜头安装梁跨设在xy移动平台上方，相机镜头安装梁与平台连接，真空吸附治具设置在xy移动平台的上端面，真空吸附治具包括真空吸附机构、真空吸附治具本体，真空吸附治具本体的一侧设有凹槽，真空吸附治具本体另一侧设有真空吸附机构，真空吸附机构包括真空进气口、气道、真空吸附孔，气道穿过真空吸附治具本体外圆面与真空进气口连接，真空吸附孔穿过真空吸附治具本体的上表面与气道-连接，真空吸附孔沿真空吸附治具本体的半径设置至少两个，凹槽为w型凹槽。
3、但是该专利无法摆动晶圆，无法从不同的角度和位置对晶圆进行全面的检测。
4、基于此，本技术设计了一种应用于半导体的龙门十字直驱平台以解决上述问题。
技术实现思路
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技术实现思路
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1、针对现有技术所存在的上述缺点，本技术提供了一种应用于半导体的龙门十字直驱平台。
2、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：
3、一种应用于半导体的龙门十字直驱平台，
4、还包括用于y轴移动的y轴驱动组件、用于x轴移动的x轴驱动组件、用于防尘的风琴罩、用于摆动晶圆的晶圆安装组件、用于梳理线路的接线组件和用于缓冲的缓冲组件，y轴驱动组件与大理石平台连接，y轴驱动组件的上端连接有x轴驱动组件，x轴驱动组件上连接有晶圆安装组件，大理石平台的上端一侧连接有接线组件，x轴驱动组件和y轴驱动组件均与缓冲组件连接，x轴驱动组件和y轴驱动组件均与风琴罩连接；
5、所述晶圆安装组件包括安装组件和摆动组件，安装组件与x轴驱动组件连接，摆动组件与安装组件连接。
6、更进一步的，所述y轴驱动组件包括第二直线模组滑台、第二滑轨和第二拖链，多个第二滑轨均固定连接在第二直线模组滑台的外壳内，第二拖链的一端固定连接在大理石平台上，第二拖链的另一端与x轴驱动组件连接，第二直线模组滑台固定连接在大理石平台上，第二直线模组滑台的前后端分别与两个风琴罩的外端固定连接。
7、更进一步的，所述x轴驱动组件包括第一直线模组滑台、第一滑轨、第一拖链和第一线束连接器，第一直线模组滑台固定连接在第二直线模组滑台的滑块上端，多个第一滑轨固定连接在第一直线模组滑台的外壳内，第一拖链一端固定连接在第一直线模组滑台的外壳上，第一拖链的另一端固定连接在第一直线模组滑台的滑块上，第一线束连接器固定连接在第一直线模组滑台的前端外壳上，第二拖链的后端与第一直线模组滑台的外壳侧壁固定连接，两个风琴罩的内端分别固定连接在第一直线模组滑台的前后端，安装组件连接在第一直线模组滑台的滑块上。
8、更进一步的，所述安装组件包括安装板、圆台、连接支架、固定块和电机，安装板固定连接在第一直线模组滑台的滑块上，安装板的上端固定连接有圆台，圆台的上端固定连接有连接支架，连接支架的上端内壁固定连接有电机，电机的输出端与摆动组件连接，圆台的前后端均固定连接有固定块，固定块与摆动组件连接。
9、更进一步的，所述摆动组件包括凸块、旋转件、连接件、转轴和载盘，凸块的后端固定连接有旋转件，旋转件的上端固定连接有转轴，转轴的外端穿过连接件的中端并与连接件固定连接，旋转件的上端固定连接有载盘。
10、更进一步的，电机的输出端穿过连接支架并与凸块固定连接，固定块的内端分别与连接件的前后端转动连接。
11、更进一步的，所述接线组件包括大理石立柱、走线孔和第二线束连接器，大理石立柱固定连接在大理石平台的上端右侧，大理石立柱的内端开设有走线孔，大理石平台的右端固定连接有第二线束连接器。
12、更进一步的，所述缓冲组件包括硬限位件和油压缓冲器，第一直线模组滑台的右端和第二直线模组滑台的前端均固定连接有多个硬限位件，硬限位件上均固定连接有油压缓冲器。
13、本技术同现有技术相比，具有如下优点：
14、(1)本技术风琴罩的设置有效的减少了粉尘、颗粒等异物对直驱核心部件的影响，减少维护成本；
15、(2)本技术摆动时，启动晶圆安装组件的安装组件的电机，电机带动摆动组件的凸块转动，凸块带动旋转件在固定块、连接件和转轴共同的作用下摆动，旋转件带动载盘摆动，从而带动晶圆摆动；
16、(3)本技术可以在晶圆检测过程中摆动晶圆，可以使检测系统能够从不同的角度观察晶圆表面，确保检测系统能够全面、准确地检查晶圆表面的特征和缺陷，从而保证晶圆的质量和可靠性；
17、(4)本技术使用时，将激光器、相机、光源线缆直接穿过走线孔连接到下方配电柜，走线简单、整洁；
18、(5)本技术缓冲时，当滑块到达极限位置后，会由油压缓冲器先卸载比较大的冲击力后，再撞击硬限位件，起到缓冲作用，防止因为冲撞而导致工件的损坏以及滑轨精度的变化。
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1.一种应用于半导体的龙门十字直驱平台，包括大理石平台(1)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的应用于半导体的龙门十字直驱平台，其特征在于，所述Y轴驱动组件(5)包括第二直线模组滑台(51)、第二滑轨(52)和第二拖链(53)，多个第二滑轨(52)均固定连接在第二直线模组滑台(51)的外壳内，所述第二拖链(53)的一端固定连接在大理石平台(1)上，所述第二拖链(53)的另一端与X轴驱动组件(4)连接，所述第二直线模组滑台(51)固定连接在大理石平台(1)上，所述第二直线模组滑台(51)的前后端分别与两个风琴罩(2)的外端固定连接。
3.根据权利要求2所述的应用于半导体的龙门十字直驱平台，其特征在于，所述X轴驱动组件(4)包括第一直线模组滑台(41)、第一滑轨(42)、第一拖链(43)和第一线束连接器(44)，所述第一直线模组滑台(41)固定连接在第二直线模组滑台(51)的滑块上端，多个第一滑轨(42)固定连接在第一直线模组滑台(41)的外壳内，所述第一拖链(43)一端固定连接在第一直线模组滑台(41)的外壳上，所述第一拖链(43)的另一端固定连接在第一
4.根据权利要求3所述的应用于半导体的龙门十字直驱平台，其特征在于，所述安装组件(61)包括安装板(611)、圆台(612)、连接支架(613)、固定块(614)和电机(615)，所述安装板(611)固定连接在第一直线模组滑台(41)的滑块上，所述安装板(611)的上端固定连接有圆台(612)，所述圆台(612)的上端固定连接有连接支架(613)，所述连接支架(613)的上端内壁固定连接有电机(615)，所述电机(615)的输出端与摆动组件(62)连接，所述圆台(612)的前后端均固定连接有固定块(614)，所述固定块(614)与摆动组件(62)连接。
5.根据权利要求4所述的应用于半导体的龙门十字直驱平台，其特征在于，所述摆动组件(62)包括凸块(621)、旋转件(622)、连接件(623)、转轴(624)和载盘(625)，所述凸块(621)的后端固定连接有旋转件(622)，所述旋转件(622)的上端固定连接有转轴(624)，所述转轴(624)的外端穿过连接件(623)的中端并与连接件(623)固定连接，所述旋转件(622)的上端固定连接有载盘(625)。
6.根据权利要求5所述的应用于半导体的龙门十字直驱平台，其特征在于，电机(615)的输出端穿过连接支架(613)并与凸块(621)固定连接，所述固定块(614)的内端分别与连接件(623)的前后端转动连接。
7.根据权利要求6所述的应用于半导体的龙门十字直驱平台，其特征在于，所述接线组件(7)包括大理石立柱(71)、走线孔(72)和第二线束连接器(73)，所述大理石立柱(71)固定连接在大理石平台(1)的上端右侧，所述大理石立柱(71)的内端开设有走线孔(72)，所述大理石平台(1)的右端固定连接有第二线束连接器(73)。
8.根据权利要求7所述的应用于半导体的龙门十字直驱平台，其特征在于，所述缓冲组件(3)包括硬限位件(31)和油压缓冲器(32)，所述第一直线模组滑台(41)的右端和第二直线模组滑台(51)的前端均固定连接有多个硬限位件(31)，所述硬限位件(31)上均固定连接有油压缓冲器(32)。
...【技术特征摘要】
1.一种应用于半导体的龙门十字直驱平台，包括大理石平台(1)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的应用于半导体的龙门十字直驱平台，其特征在于，所述y轴驱动组件(5)包括第二直线模组滑台(51)、第二滑轨(52)和第二拖链(53)，多个第二滑轨(52)均固定连接在第二直线模组滑台(51)的外壳内，所述第二拖链(53)的一端固定连接在大理石平台(1)上，所述第二拖链(53)的另一端与x轴驱动组件(4)连接，所述第二直线模组滑台(51)固定连接在大理石平台(1)上，所述第二直线模组滑台(51)的前后端分别与两个风琴罩(2)的外端固定连接。
3.根据权利要求2所述的应用于半导体的龙门十字直驱平台，其特征在于，所述x轴驱动组件(4)包括第一直线模组滑台(41)、第一滑轨(42)、第一拖链(43)和第一线束连接器(44)，所述第一直线模组滑台(41)固定连接在第二直线模组滑台(51)的滑块上端，多个第一滑轨(42)固定连接在第一直线模组滑台(41)的外壳内，所述第一拖链(43)一端固定连接在第一直线模组滑台(41)的外壳上，所述第一拖链(43)的另一端固定连接在第一直线模组滑台(41)的滑块上，所述第一线束连接器(44)固定连接在第一直线模组滑台(41)的前端外壳上，所述第二拖链(53)的后端与第一直线模组滑台(41)的外壳侧壁固定连接，两个风琴罩(2)的内端分别固定连接在第一直线模组滑台(41)的前后端，所述安装组件(61)连接在第一直线模组滑台(41)的滑块上。
4.根据权利要求3所述的应用于半导体的龙门十字直驱平台，其特征在于，所述安装组件(61)包括安装板(611)、圆台(612)、连接支架(613)、固定块(614)和电机(615)，所述安装板(611)固定连接在第一直线模组滑台(41)的滑块上，所述安装板(61...
【专利技术属性】
技术研发人员：耿新红，张贺，付芳伟，
申请(专利权)人：上海奥茵绅机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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