【技术实现步骤摘要】
本技术涉及衬底剥离，尤其涉及一种碎屑去除装置。
技术介绍
1、发光二极管制作过程中，在衬底上异质生长外延层后，需要将衬底进行剥离。
2、目前对衬底进行剥离技术主要是激光剥离技术。现有的激光剥离技术通过激光从外延层的边缘向外延层的中心移动以对外延层进行扫描，然而，由于外延层在衬底生长后，与目标衬底(例如驱动背板)进行键合，受键合工艺影响，外延层和衬底的边缘有错位，且边缘键合质量较差易发生剥落(peeling)。在扫描过程中，外延层与目标衬底之间的边缘膜层应力快速释放，膜层剥落后碎屑迸溅，随机掉落至衬底的表面，从而形成遮挡，影响激光能量作用于外延层的效果，使剥离后的外延层成为不良品。此外，受放置外延层的载台移动影响，部分掉落至载台附件的碎屑，存在一定几率再次落入外延层的表面，使剥离后的外延层成为不良品。
技术实现思路
1、本技术解决的技术问题是提供一种碎屑去除装置，以提高剥离后的器件结构良率。
2、为解决上述问题，本技术技术方案提供一种碎屑去除装置，包括：载台，用于承载固定待剥离晶圆组件；吹扫装置，用于朝向承载于所述载台上的所述待剥离晶圆组件进行吹扫。
3、与现有技术相比，本技术的技术方案具有以下优点：
4、本技术的技术方案的碎屑去除装置中，通过设置吹扫装置，利用吹扫装置将待剥离晶圆组件在剥离过程中产生的碎屑进行吹扫，防止碎屑对剥离后的器件结构造成影响，从而提高剥离后的器件结构良率。
5、进一步，吹扫装置还包括：与管路组件连接
6、进一步，出气管路包括：若干节依次连接且气路连通的节管，且至少部分节管转动连接。通过转动连接的若干节管，便于出气管路灵活的调整吹扫方向。
7、进一步，吹扫装置的吹扫路径为：由待剥离晶圆组件的中心至待剥离晶圆组件的半径的1/2处移动。由于吹扫气体在喷射之后具有一定的冲击力，因此仅将吹扫路径限定在由待剥离晶圆组件的中心至待剥离晶圆组件的半径的1/2处，在待剥离晶圆组件的半径的1/2至待剥离晶圆组件的边缘位置，依靠吹扫气体的冲击力将碎屑进行吹扫，能够有效减少吹扫路径，提高吹扫效率。
8、进一步，吹扫组件还包括：与载台固定连接的运动组件，用于带动载台进行运动，所述载台带动所述待剥离晶圆组件运动。运动组件包括：与载台固定连接的支撑台；与支撑台固定连接的驱动件，用于驱动支撑台进行旋转，以使支撑台带动载台旋转。通过运动组件最终带动待剥离晶圆组件的旋转，使得吹扫路径仅需要沿着待剥离晶圆组件表面的一条直线进行移动，在待剥离晶圆组件旋转的过程中，能够实现对待剥离晶圆组件表面的全方位吹扫。
9、进一步，吹扫装置还包括：收集组件，用于收集从待剥离晶圆组件上吹扫掉落的碎屑。通过收集组件能够收集从待剥离晶圆组件表面吹扫掉落的碎屑，可以避免碎屑再次散落至待剥离晶圆组件表面，从而提高剥离后的器件结构良率。
10、进一步，收集罩具有若干吸尘通孔，吸尘通孔与收集腔连通；收集组件还包括：吸尘设备，吸尘设备与若干吸尘通孔气路连通；和/或贴附于所述收集腔侧壁表面的除尘胶层。通过吸尘设备能够将收集罩中收集到的碎屑快速吸附清理，可以避免碎屑再次散落至待剥离晶圆组件表面，从而提高剥离后的器件结构良率。通过除尘胶层将收集的碎屑进行粘附固定，可以避免碎屑再次散落至待剥离晶圆组件表面，从而提高剥离后的器件结构良率。同时通过撕掉除尘胶层即可将收集到的碎屑快速清理。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种碎屑去除装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述碎屑去除装置，其特征在于，所述吹扫装置包括：储气组件，用于储存吹扫气体；与所述储气组件连接且气路连通的管路组件，用于输送所述吹扫气体。
3.如权利要求2所述碎屑去除装置，其特征在于，所述管路组件包括：与所述储气组件连接且气路连通的进气管路，用于输入所述吹扫气体；与所述进气管路连接且气路连通的出气管路，用于输出所述吹扫气体。
4.如权利要求3所述碎屑去除装置，其特征在于，所述管路组件还包括：与所述出气管路连接且气路连通的气体喷嘴。
5.如权利要求3所述碎屑去除装置，其特征在于，所述吹扫装置还包括：与所述管路组件连接的支撑组件，用于支撑固定所述管路组件。
6.如权利要求5所述碎屑去除装置，其特征在于，所述支撑组件包括：支撑杆、以及与所述支撑杆连接的支撑头；其中，所述支撑头至少与所述出气管路连接且气路连通。
7.如权利要求6所述碎屑去除装置，其特征在于，所述支撑头还与所述进气管路连接且气路连通；或者，所述支撑头与所述支撑杆连接且气路连通，所述支撑杆与所述
8.如权利要求3至7任意一项所述碎屑去除装置，其特征在于，所述出气管路包括：若干节依次连接且气路连通的节管，且至少部分所述节管转动连接。
9.如权利要求2所述碎屑去除装置，其特征在于，所述吹扫气体自所述待剥离晶圆组件的上方吹扫至所述待剥离晶圆组件的待吹扫表面。
10.如权利要求9所述碎屑去除装置，其特征在于，所述吹扫气体的喷射方向与所述待剥离晶圆组件的表面之间具有吹扫夹角，所述吹扫夹角为锐角。
11.如权利要求9所述碎屑去除装置，其特征在于，所述吹扫装置的吹扫路径为：由所述待剥离晶圆组件的中心至所述待剥离晶圆组件的半径的1/2处移动。
12.如权利要求2所述碎屑去除装置，其特征在于，所述吹扫气体与所述待剥离晶圆组件的待吹扫表面位于同一水平面上。
13.如权利要求1所述碎屑去除装置，其特征在于，所述吹扫组件还包括：与所述载台固定连接的运动组件，用于带动所述载台进行运动，所述载台带动所述待剥离晶圆组件运动。
14.如权利要求13所述碎屑去除装置，其特征在于，所述运动组件包括：与所述载台固定连接的支撑台；与所述支撑台固定连接的驱动件，用于驱动所述支撑台进行转动，以使所述支撑台带动所述载台转动。
15.如权利要求1所述碎屑去除装置，其特征在于，所述待剥离晶圆组件采用吸附方式承载固定于所述载台上。
16.如权利要求15所述碎屑去除装置，其特征在于，所述载台内具有若干吸附通孔，且若干所述吸附通孔气路连通负压设备。
17.如权利要求14所述碎屑去除装置，其特征在于，所述吹扫装置还包括：收集组件，用于收集从所述待剥离晶圆组件上吹扫掉落的碎屑。
18.如权利要求17所述碎屑去除装置，其特征在于，所述收集组件包括：收集罩，所述收集罩具有收集腔；其中，所述载台穿过所述收集罩位于所述收集腔内。
19.如权利要求18所述碎屑去除装置，其特征在于，所述收集罩具有若干吸尘通孔，所述吸尘通孔与所述收集腔连通；所述收集组件还包括：吸尘设备，所述吸尘设备与若干所述吸尘通孔气路连通；和/或贴附于所述收集腔侧壁表面的除尘胶层。
20.如权利要求18所述碎屑去除装置，其特征在于，所述载台穿过收集罩的开口的直径大于、等于或小于所述载台的直径。
21.如权利要求20所述碎屑去除装置，其特征在于，当所述载台穿过收集罩的开口的直径大于所述载台的直径时，所述收集罩可拆卸固定于所述支撑台上。
22.如权利要求20所述碎屑去除装置，其特征在于，当所述载台穿过收集罩的开口的直径等于或小于所述载台的直径时，所述收集罩套装于所述载台上。
23.如权利要求2所述碎屑去除装置，其特征在于，所述吹扫气体包括：氮气或惰性气体；其中，氮气的纯度大于或等于99.999％，惰性气体的纯度大于或等于99.99％。
24.如权利要求1所述碎屑去除装置，其特征在于，所述待剥离晶圆组件包括：衬底、以及形成于所述衬底上的外延层；在所述待剥离晶圆组件固定于所述载台上时，所述外延层位于所述衬底与所述载台之间。
...【技术特征摘要】
1.一种碎屑去除装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述碎屑去除装置，其特征在于，所述吹扫装置包括：储气组件，用于储存吹扫气体；与所述储气组件连接且气路连通的管路组件，用于输送所述吹扫气体。
3.如权利要求2所述碎屑去除装置，其特征在于，所述管路组件包括：与所述储气组件连接且气路连通的进气管路，用于输入所述吹扫气体；与所述进气管路连接且气路连通的出气管路，用于输出所述吹扫气体。
4.如权利要求3所述碎屑去除装置，其特征在于，所述管路组件还包括：与所述出气管路连接且气路连通的气体喷嘴。
5.如权利要求3所述碎屑去除装置，其特征在于，所述吹扫装置还包括：与所述管路组件连接的支撑组件，用于支撑固定所述管路组件。
6.如权利要求5所述碎屑去除装置，其特征在于，所述支撑组件包括：支撑杆、以及与所述支撑杆连接的支撑头；其中，所述支撑头至少与所述出气管路连接且气路连通。
7.如权利要求6所述碎屑去除装置，其特征在于，所述支撑头还与所述进气管路连接且气路连通；或者，所述支撑头与所述支撑杆连接且气路连通，所述支撑杆与所述进气管路连接且气路连通。
8.如权利要求3至7任意一项所述碎屑去除装置，其特征在于，所述出气管路包括：若干节依次连接且气路连通的节管，且至少部分所述节管转动连接。
9.如权利要求2所述碎屑去除装置，其特征在于，所述吹扫气体自所述待剥离晶圆组件的上方吹扫至所述待剥离晶圆组件的待吹扫表面。
10.如权利要求9所述碎屑去除装置，其特征在于，所述吹扫气体的喷射方向与所述待剥离晶圆组件的表面之间具有吹扫夹角，所述吹扫夹角为锐角。
11.如权利要求9所述碎屑去除装置，其特征在于，所述吹扫装置的吹扫路径为：由所述待剥离晶圆组件的中心至所述待剥离晶圆组件的半径的1/2处移动。
12.如权利要求2所述碎屑去除装置，其特征在于，所述吹扫气体与所述待剥离晶圆组件的待吹扫表面位于同一水平面上。
13.如权利要求1所述碎屑去除装置，其特征在于，所述吹扫组件还包括：与所述载台固定连接的运动组件，...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈坤，马磊，童玲，
申请(专利权)人：上海显耀显示科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。