【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及3c电子清洗，具体的是一种全自动真空等离子清洗机。
技术介绍
1、等离子清洗是一种全新的高科技技术，其原理是在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。随着电子电路集成化程度的提高，芯片特征尺寸变小以及新型材料的研发与使用，对其表面处理和清洗的要求也越来越高，等离子体表面清洗工艺已经成为提高产品可靠性和成品率的重要手段，是生产工艺中不可缺少的步骤。
2、现有技术公开了公开号为cn 114927442 a(ipc分类号为h01l21/67)的中国专利：一种真空等离子清洗机，并公开了上下料机械手和上下料移动平台，通过上下料机械手上的气动夹钳夹取待清洗工件放置于移动台的底板上，利用清洗工位的底板举升机构将放置工件的底板推至真空室内进行等离子清洗。
3、但是，上述的现有技术仍存在一定的缺陷，即在使用过程中，放置于底板上的待清洗工件与底板的接触面处为清洗盲区，对该区域的工件表面清洗效果较差，甚至是无法进行清洗，降低了对工件的清洗质量。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种全自动真空等离子清洗机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种全自动真空等离子清洗机，包括机体、处理腔壳和高频发生器，所述处理腔壳固定安装在机体内部，高频发生器固定嵌装在处理腔壳外侧，处理腔壳前侧铰接安装有密封门，且密封门上
4、所述滑移台顶部设有用于对目标产品进行托放的托盘机构，且滑移台与密封门之间设有用于带动滑移台沿工字导轨进行滑动的连带组件；
5、所述处理腔壳顶部连通设有进气管，机体内部设有与进气管导通的供气机构，供气机构用于向处理腔壳内部供送进行辉光放电的气体。
6、在一个优选地实施方式中，所述托盘机构包括固定在滑移台顶部两端的内架和外架，两个外架设置在两个内架相背一侧，两个内架上均呈贯穿式转动安装有转盘，两个转盘边缘位置均转动安装有多个呈环形均匀分布的轴杆，且两个转盘上的轴杆相背一端分别延伸至对应侧的外架内部；
7、所述托盘机构还包括设于两个转盘相对侧之间的框体，框体与呈相对设置的两个轴杆对应设置，且呈相对设置的两个轴杆相对端均与所在位置的框体外侧固定连接，框体顶端铰接安装有框盖，框盖与框体之间还设有锁扣组件。
8、在一个优选地实施方式中，所述滑移台顶部两端均设有用于驱动所在侧转盘转动的驱动组件，驱动组件包括固定套设于转盘靠近所在端外架一端外侧的外齿圈和固定在所在端外架内侧的弧形齿条，外架外侧固定安装有电机一，电机一的输出轴端部固定连接有与所在端外齿圈相啮合的齿盘；
9、所述框体两端外侧的轴杆相背一端均固定套接有与所在端外架内侧的弧形齿条相啮合的齿轮一。
10、在一个优选地实施方式中，所述锁扣组件包括固定在框盖和框体外侧的插框一，两个插框一之间活动贯穿插接有l型板，l型板内侧底端与框体外侧的插框一之间固定连接有弹簧一。
11、在一个优选地实施方式中，所述框体和框盖内侧均设有缓冲组件，缓冲组件由凸起和缓冲弹簧组成，框体以及框盖与对应位置的凸起之间均通过缓冲弹簧固定连接；
12、所述框体内侧还开设有u型槽，u型槽内部活动插接有分隔网板。
13、在一个优选地实施方式中，所述连带组件由固定在滑移台底部远离密封门一端的t型圆柱一、固定在密封门内侧的t型圆柱二以及位于t型圆柱一与t型圆柱二之间的连杆组成，连杆两端分别与t型圆柱一以及t型圆柱二转动连接。
14、在一个优选地实施方式中，所述供气机构包括设于机体内侧扇形托架，扇形托架与机体之间通过圆杆转动安装，扇形托架顶部设有气瓶，气瓶的端口位置螺纹连接有套管；
15、所述供气机构还包括设于机体内部的供气管和与供气管相连通的对接管，供气管与进气管之间连通设有连接软管，对接管滑动安装于机体内侧，供气管与对接管的连接处安装有电磁流量计，对接管与套管之间设有供气控制组件。
16、在一个优选地实施方式中，所述供气控制组件包括固定在机体内侧的座块和固定在对接管外侧的直齿条，座块底部固定安装有电机二，电机二的输出轴端部固定连接有与直齿条相啮合的齿轮二；
17、所述供气控制组件还包括固定在套管内侧的挡环和固定在对接管内侧的孔板，孔板底部固定连接有顶柱，套管内侧位于挡环远离孔板的一侧设有堵头，堵头外侧固定设有两个耳块，挡环底部对应两个耳块的位置处均固定设有活动贯穿对应耳块的插杆，插杆外侧活动套设有固定连接挡环与耳块的弹簧二。
18、在一个优选地实施方式中，所述扇形托架与机体之间设有限位组件，限位组件包括固定在机体以及扇形托架外侧的插框二，两个插框二之间活动贯穿插接有插条，插条底端固定设有座板，限位组件还包括固定在机体外侧的限位条和开设于扇形托架外侧的限位槽；
19、所述插条外侧固定设有定块，定块上活动贯穿插接有固定在扇形托架外侧的插框二顶部的导杆，导杆外侧活动套设有固定连接定块与对应插框二的弹簧四。
20、在一个优选地实施方式中，所述机体底端设有散热机构，散热机构包括固定在机体内侧的网托，网托与机体内侧底端面之间固定设有两个挡板，机体底部对应两个挡板相背侧的位置均固定嵌装有防尘网一，且机体底部对应两个挡板之间的位置固定嵌装有防尘网二；
21、所述机体内侧底部固定安装有支架，支架顶部固定安装有驱动电机，驱动电机的输出轴端部固定连接有叶轮，叶轮外侧底端轴心线位置固定连接有活动贯穿防尘网二的转杆；
22、所述机体外侧底部对应两个防尘网一的两端位置处均固定设有挡框，且转杆外侧固定套设有位于机体外侧底端的凸轮板，呈相对设置的两个挡框之间设有三角架，三角架两端均固定设有滑动连接对应挡框内部的滑块，挡框内部固定设有活动贯穿滑块的直杆，直杆外侧活动套设有固定连接滑块与挡框的弹簧三。
23、本专利技术的有益效果：
24、1、本专利技术通过利用转动的齿盘来驱动带动外齿圈的转盘转动，从而带动承载目标产品的框体转动，并驱动转盘转动的过程中，利用框体两端的轴杆端部的齿轮一与外架上的多组弧形齿条依次产生啮合，用以间歇式驱动齿轮一发生转动，从而让承载目标产品的框体发生翻转，使目标产品与等离子体充分接触，避免出现清洗盲区；
25、2、本专利技术通过利用连带组件使得在开启密封门的过程中，可以利用发生摆动的连杆拉动滑移台沿工字导轨滑出处理腔壳，反之，则并推动承载托盘机构的滑移台回缩至处理腔壳内部，方便对目标产品进行取放；
26、3、本专利技术通过将扇形托架设置为可偏摆式结构，方便对气瓶进行快速更换，同时，在向处理腔壳内部供送气体的过程中，可以利用齿轮二与直齿条之间的啮合设置来控制对本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种全自动真空等离子清洗机，包括机体(1)、处理腔壳(2)和高频发生器(5)，所述处理腔壳(2)固定安装在机体(1)内部，高频发生器(5)固定嵌装在处理腔壳(2)外侧，处理腔壳(2)前侧铰接安装有密封门(3)，且密封门(3)上设有视窗口(4)，其特征在于：所述处理腔壳(2)内部固定设有两个工字导轨(10)，处理腔壳(2)位于两个工字导轨(10)相背一侧的位置均安装有电极板(9)，两个工字导轨(10)之间滑动安装有滑移台(11)；
2.根据权利要求1所述的一种全自动真空等离子清洗机，其特征在于：所述托盘机构(6)包括固定在滑移台(11)顶部两端的内架(61)和外架(62)，两个外架(62)设置在两个内架(61)相背一侧，两个内架(61)上均呈贯穿式转动安装有转盘(63)，两个转盘(63)边缘位置均转动安装有多个呈环形均匀分布的轴杆(69)，且两个转盘(63)上的轴杆(69)相背一端分别延伸至对应侧的外架(62)内部；
3.根据权利要求2所述的一种全自动真空等离子清洗机，其特征在于：所述滑移台(11)顶部两端均设有用于驱动所在侧转盘(63)转动的驱动组件，
4.根据权利要求2所述的一种全自动真空等离子清洗机，其特征在于：所述锁扣组件(68)包括固定在框盖(67)和框体(66)外侧的插框一(681)，两个插框一(681)之间活动贯穿插接有L型板(682)，L型板(682)内侧底端与框体(66)外侧的插框一(681)之间固定连接有弹簧一(683)。
5.根据权利要求2所述的一种全自动真空等离子清洗机，其特征在于：所述框体(66)和框盖(67)内侧均设有缓冲组件，缓冲组件由凸起(611)和缓冲弹簧组成，框体(66)以及框盖(67)与对应位置的凸起(611)之间均通过缓冲弹簧固定连接；
6.根据权利要求1所述的一种全自动真空等离子清洗机，其特征在于：所述连带组件(12)由固定在滑移台(11)底部远离密封门(3)一端的T型圆柱一(121)、固定在密封门(3)内侧的T型圆柱二(122)以及位于T型圆柱一(121)与T型圆柱二(122)之间的连杆(123)组成，连杆(123)两端分别与T型圆柱一(121)以及T型圆柱二(122)转动连接。
7.根据权利要求1所述的一种全自动真空等离子清洗机，其特征在于：所述供气机构(7)包括设于机体(1)内侧扇形托架(71)，扇形托架(71)与机体(1)之间通过圆杆转动安装，扇形托架(71)顶部设有气瓶(72)，气瓶(72)的端口位置螺纹连接有套管(73)；
8.根据权利要求7所述的一种全自动真空等离子清洗机，其特征在于：所述供气控制组件包括固定在机体(1)内侧的座块(75)和固定在对接管(74)外侧的直齿条(77)，座块(75)底部固定安装有电机二，电机二的输出轴端部固定连接有与直齿条(77)相啮合的齿轮二(76)；
9.根据权利要求7所述的一种全自动真空等离子清洗机，其特征在于：所述扇形托架(71)与机体(1)之间设有限位组件，限位组件包括固定在机体以及扇形托架(71)外侧的插框二(14)，两个插框二(14)之间活动贯穿插接有插条(15)，插条(15)底端固定设有座板(16)，限位组件还包括固定在机体(1)外侧的限位条(13)和开设于扇形托架(71)外侧的限位槽；
10.根据权利要求1所述的一种全自动真空等离子清洗机，其特征在于：所述机体(1)底端设有散热机构(8)，散热机构(8)包括固定在机体(1)内侧的网托(81)，网托(81)与机体(1)内侧底端面之间固定设有两个挡板(82)，机体(1)底部对应两个挡板(82)相背侧的位置均固定嵌装有防尘网一(85)，且机体(1)底部对应两个挡板(82)之间的位置固定嵌装有防尘网二(86)；
...【技术特征摘要】
1.一种全自动真空等离子清洗机，包括机体(1)、处理腔壳(2)和高频发生器(5)，所述处理腔壳(2)固定安装在机体(1)内部，高频发生器(5)固定嵌装在处理腔壳(2)外侧，处理腔壳(2)前侧铰接安装有密封门(3)，且密封门(3)上设有视窗口(4)，其特征在于：所述处理腔壳(2)内部固定设有两个工字导轨(10)，处理腔壳(2)位于两个工字导轨(10)相背一侧的位置均安装有电极板(9)，两个工字导轨(10)之间滑动安装有滑移台(11)；
2.根据权利要求1所述的一种全自动真空等离子清洗机，其特征在于：所述托盘机构(6)包括固定在滑移台(11)顶部两端的内架(61)和外架(62)，两个外架(62)设置在两个内架(61)相背一侧，两个内架(61)上均呈贯穿式转动安装有转盘(63)，两个转盘(63)边缘位置均转动安装有多个呈环形均匀分布的轴杆(69)，且两个转盘(63)上的轴杆(69)相背一端分别延伸至对应侧的外架(62)内部；
3.根据权利要求2所述的一种全自动真空等离子清洗机，其特征在于：所述滑移台(11)顶部两端均设有用于驱动所在侧转盘(63)转动的驱动组件，驱动组件包括固定套设于转盘(63)靠近所在端外架(62)一端外侧的外齿圈(64)和固定在所在端外架(62)内侧的弧形齿条(65)，外架(62)外侧固定安装有电机一，电机一的输出轴端部固定连接有与所在端外齿圈(64)相啮合的齿盘；
4.根据权利要求2所述的一种全自动真空等离子清洗机，其特征在于：所述锁扣组件(68)包括固定在框盖(67)和框体(66)外侧的插框一(681)，两个插框一(681)之间活动贯穿插接有l型板(682)，l型板(682)内侧底端与框体(66)外侧的插框一(681)之间固定连接有弹簧一(683)。
5.根据权利要求2所述的一种全自动真空等离子清洗机，其特征在于：所述框体(66)和框盖(67)内侧均设有缓冲组件，缓冲组件由凸起(611)和缓冲弹簧组成，框体(66)以及框盖(67)...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾书龙，喻木林，王勇，欧阳家聪，
申请(专利权)人：东讯智能装备嘉兴有限公司，
类型：发明
国别省市：
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