【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微小内孔的光学检测的，尤其涉及一种微小内孔的光学检测方法以及装置。
技术介绍
1、近年来，燃油喷射嘴、化纤纺丝喷嘴、光纤铁套、医疗设备等领域对微孔精度的测量方法需求日益增加。然而，针对待试验件，由于工艺要求，待试验件的微小内孔通常使用光学显微镜进行测量，然而，这种方法无法评估微小内孔的内侧壁的粗糙度的技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，本专利技术提供了一种微小内孔的光学检测方法以及装置，定位待检测件，并触发光纤探头进入至待检测件的微小内孔；在光纤探头进入至待检测件的微小内孔时，光纤探头基于待检测件的微小内孔的内侧壁而产生偏移，并采集光纤探头因偏移而输出光强变化量，从而基于光纤探头的偏移而匹配对应的光强变化量，以便于针对各光强变化量以及对应的偏移方向进行运算，从而根据各光强变化量以及对应的偏移方向确定微小内孔的内侧壁的粗糙度，进而针对微小内孔的内侧壁的粗糙度进行有效的探测，保证了微小内孔的内侧壁的粗糙度的检测进度，解决了无法针对微小内孔的内侧壁的检测的情况，提高了微小内孔的光学检测方法的通用性。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术实施例提供了一种微小内孔的光学检测方法，应用于微小内孔的光学检测场景；所述微小内孔的光学检测方法包括：
3、定位待检测件，并触发光纤探头进入至待检测件的微小内孔；待检测件具有微小内孔，微小内孔的孔径为小于2mm；
4、在光纤探头进入至待检测件的微小内孔时，光纤探头基于待检测
5、根据各光强变化量以及对应的偏移方向确定微小内孔的内侧壁的粗糙度。
6、可选的，所述定位待检测件，并触发光纤探头进入至待检测件的微小内孔，包括：
7、采集压电微动平台所在的位置坐标；
8、基于压电微动平台所在的位置坐标调控待检测件的位置，使得待检测件放置于压电微动平台；此时，基于压电微动平台所在的位置坐标匹配待检测件的位置坐标；
9、基于待检测件的位置坐标定位待检测件，并定义待检测件的微小内孔的位置坐标；
10、基于待检测件的微小内孔的位置坐标触发光纤探头的移动，直至光纤探头沿微小内孔的轴线方向进入至待检测件的微小内孔。
11、可选的，所述光纤探头包括光纤主体和探头部，所述光纤主体和所述探头部相互连接，并沿光纤探头的轴线方向竖直布置；
12、此时，基于所述探头部接触待检测件的微小内孔的内侧壁；所述光纤主体接收经激光二极管输出的激光，并将对应的激光信号传导至对应的光电二极管。
13、可选的，光纤主体通过酸蚀工艺进行制造，在光纤主体的制造过程中，首先，去除阶跃型多模光纤的塑料层，然后，将光纤浸入25％的氢氟酸溶液中，在27度下进行氢氟酸蚀刻，在氢氟酸蚀刻后，用水和丙酮冲洗光纤主体；
14、或者，探头部由熔融玻璃制成，首先，使用氢氧火焰熔化光纤尖端，使其形成球形，通过熔融时间获得对应直径的探头部。
15、可选的，所述在光纤探头进入至待检测件的微小内孔时，光纤探头基于待检测件的微小内孔的内侧壁而产生偏移，并采集光纤探头因偏移而输出光强变化量，包括：
16、在光纤探头接触待检测件的微小内孔的内侧壁时，光纤探头基于待检测件的微小内孔的内侧壁而产生偏移；
17、采集同一方向的两个光电二极管所检测的光强度，此时，两个光电二极管所检测的光强度不一致；
18、根据两个光电二极管所检测的光强度确定光强变化量，并根据两个光电二极管所检测的光强度的变化而定义光纤探头的偏移方向。
19、可选的，所述在光纤探头进入至待检测件的微小内孔时，光纤探头基于待检测件的微小内孔的内侧壁而产生偏移，并采集光纤探头因偏移而输出光强变化量，还包括：
20、在光纤探头进入至待检测件的微小内孔时，光纤探头未接触待检测件的微小内孔的内侧壁，同一方向的两个光电二极管所检测的光强度相一致。
21、可选的，所述根据各光强变化量以及对应的偏移方向确定微小内孔的内侧壁的粗糙度，包括：
22、定格各光强变化量；
23、根据各光强变化量匹配对应的电压信号。
24、可选的，所述根据各光强变化量以及对应的偏移方向确定微小内孔的内侧壁的粗糙度，还包括：
25、根据多个电压信号构建电压集合；
26、基于电压集合以及对应的偏移方向确定微小内孔的内侧壁的粗糙度。
27、可选的，一种微小内孔的光学检测装置，所述微小内孔的光学检测装置应用于上述的微小内孔的光学检测方法，所述微小内孔的光学检测装置包括：
28、触发模块，用于定位待检测件，并触发光纤探头进入至待检测件的微小内孔；
29、光强变化量模块，用于在光纤探头进入至待检测件的微小内孔时，光纤探头基于待检测件的微小内孔的内侧壁而产生偏移，并采集光纤探头因偏移而输出光强变化量；
30、粗糙度模块，用于根据各光强变化量以及对应的偏移方向确定微小内孔的内侧壁的粗糙度。
31、在本专利技术实施例中，通过本专利技术实施例中的方法，定位待检测件，并触发光纤探头进入至待检测件的微小内孔。在光纤探头进入至待检测件的微小内孔时，光纤探头基于待检测件的微小内孔的内侧壁而产生偏移，并采集光纤探头因偏移而输出光强变化量，从而基于光纤探头的偏移而匹配对应的光强变化量，以便于针对各光强变化量以及对应的偏移方向进行运算。根据各光强变化量以及对应的偏移方向确定微小内孔的内侧壁的粗糙度，进而针对微小内孔的内侧壁的粗糙度进行有效的探测，保证了微小内孔的内侧壁的粗糙度的检测进度。解决了无法针对微小内孔的内侧壁的检测的情况，提高了微小内孔的光学检测方法的通用性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种微小内孔的光学检测方法，其特征在于，应用于微小内孔的光学检测场景；所述微小内孔的光学检测方法包括：
2.根据权利要求1所述的微小内孔的光学检测方法，其特征在于，所述定位待检测件，并触发光纤探头进入至待检测件的微小内孔，包括：
3.根据权利要求2所述的微小内孔的光学检测方法，其特征在于，所述光纤探头包括光纤主体和探头部，所述光纤主体和所述探头部相互连接，并沿光纤探头的轴线方向竖直布置；
4.根据权利要求3所述的微小内孔的光学检测方法，其特征在于，光纤主体通过酸蚀工艺进行制造，在光纤主体的制造过程中，首先，去除阶跃型多模光纤的塑料层，然后，将光纤浸入25％的氢氟酸溶液中，在27度下进行氢氟酸蚀刻，在氢氟酸蚀刻后，用水和丙酮冲洗光纤主体；
5.根据权利要求4所述的微小内孔的光学检测方法，其特征在于，所述在光纤探头进入至待检测件的微小内孔时，光纤探头基于待检测件的微小内孔的内侧壁而产生偏移，并采集光纤探头因偏移而输出光强变化量，包括：
6.根据权利要求5所述的微小内孔的光学检测方法，其特征在于，所述在光纤探头进入至待检测
7.根据权利要求1所述的微小内孔的光学检测方法，其特征在于，所述根据各光强变化量以及对应的偏移方向确定微小内孔的内侧壁的粗糙度，包括：
8.根据权利要求7所述的微小内孔的光学检测方法，其特征在于，所述根据各光强变化量以及对应的偏移方向确定微小内孔的内侧壁的粗糙度，还包括：
9.根据权利要求8所述的微小内孔的光学检测方法，其特征在于，所述基于电压集合以及对应的偏移方向确定微小内孔的内侧壁的粗糙度，还包括：
10.一种微小内孔的光学检测装置，其特征在于，所述微小内孔的光学检测装置应用于如权利要求1-9中任一所述的微小内孔的光学检测方法，所述微小内孔的光学检测装置包括：
...【技术特征摘要】
1.一种微小内孔的光学检测方法，其特征在于，应用于微小内孔的光学检测场景；所述微小内孔的光学检测方法包括：
2.根据权利要求1所述的微小内孔的光学检测方法，其特征在于，所述定位待检测件，并触发光纤探头进入至待检测件的微小内孔，包括：
3.根据权利要求2所述的微小内孔的光学检测方法，其特征在于，所述光纤探头包括光纤主体和探头部，所述光纤主体和所述探头部相互连接，并沿光纤探头的轴线方向竖直布置；
4.根据权利要求3所述的微小内孔的光学检测方法，其特征在于，光纤主体通过酸蚀工艺进行制造，在光纤主体的制造过程中，首先，去除阶跃型多模光纤的塑料层，然后，将光纤浸入25％的氢氟酸溶液中，在27度下进行氢氟酸蚀刻，在氢氟酸蚀刻后，用水和丙酮冲洗光纤主体；
5.根据权利要求4所述的微小内孔的光学检测方法，其特征在于，所述在光纤探头进入至待检测件的微小内孔时，光纤探头基于待检测件的微小内孔的内侧壁而产生偏移，并采集光纤探头...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。