【技术实现步骤摘要】
本申请属于硅片生产设备制造领域，尤其涉及一种硅片转运装置。
技术介绍
1、在硅片的生产过程中，需要将硅片在各个不同工序中流转，通常是采用硅片转运装置将硅片自上一道工序输送至下一道工序。现有的硅片转运装置大多包括输送机构、移载机构和吸盘，吸盘安装在移载机构的驱动端，移载机构驱动吸盘移至输送机构的上方并吸附输送机构上的硅片后，再将吸附的硅片转运至下一道工序。
2、然而，在实际的生产过程中，因吸盘与输送机构的间距很小，而输送机构的高度又是固定的，这样就造成在更换或维修吸盘时，没有合适的操作空间，操作不便，工作效率低。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种硅片转运装置，以解决现有技术中硅片转运装置在更换或维修吸盘时存在操作不便和工作效率低的问题。
2、为达此目的，本申请采用以下技术方案：
3、本申请提出一种硅片转运装置，其包括第一输送机构和至少一套移载机构，其中：
4、第一输送机构在第一方向上设置有至少一个转运工位，第一输送机构被配置为依次将硅片沿第一方向输送至转运工位；
5、每个转运工位的上方设置有一套移载机构，移载机构包括驱动组件和吸盘，吸盘安装在驱动组件的驱动端，驱动组件被配置为驱动吸盘从转运工位上拾取硅片；
6、第一输送机构包括输送组件和至少一套升降组件，输送组件被配置为支撑并输送硅片，至少一套升降组件被配置为驱动输送组件升降，进而调整输送组件与吸盘的间距。
7、通过第一输送机构和移载机构的配
8、可选的，每套升降组件包括底座以及安装于底座上的升降驱动件和升降件，升降件与输送组件固定连接，升降驱动件被配置为驱动升降件升降，以带动输送组件升降。
9、通过升降驱动件和升降件的配合，实现了输送组件的升降，以调整输送组件与吸盘的间距。
10、可选的，升降驱动件的固定端固定在升降件上，升降驱动件的驱动端连接在底座上。
11、通过对升降驱动件的设置，在保证驱动升降件升降功能的前提下，简化了升降驱动件的安装结构，便于升降驱动件的安装。
12、可选的，升降驱动件的固定端固定在底座上，升降驱动件的驱动端连接在升降件上；提供了另一种升降驱动件的安装方式。
13、可选的，输送组件包括第一输送架、第二输送架、第一输送带、第二输送带和第一驱动机构，第一输送架和第二输送架平行间隔设置，第一输送带可转动地安装在第一输送架上，第二输送带可转动地安装在第二输送架，第一驱动机构被配置为驱动第一输送带和第二输送带同步转动，升降件通过连接块与第一输送架和第二输送架固定连接。
14、通过第一驱动机构、第一输送带和第二输送带的配合，实现了对硅片的自动输送，通过升降件、连接块、第一输送架和第二输送架的配合，实现了升降件与输送组件的固定连接，提供了一种结构简单，易于实现，运行稳定可靠的输送组件。
15、可选的，硅片转运装置还包括第二输送机构，第二输送机构设置在转运工位的边侧，移载机构被配置为在第二输送机构和第一输送机构的转运工位之间转移硅片。
16、通过第二输送机构、移载机构和第一输送机构的配合，实现了将转运工位处的硅片的自动搬运至第二输送机构上，再由第二输送机构将硅片转运至下一工序。
17、可选的，第二输送机构的进料端设置有吸附组件，吸附组件的吸附面低于第二输送机构的输送面，吸附组件被配置为非接触地吸附硅片，并将硅片吸附在第二输送机构的输送面上。
18、通过设置吸附组件，实现了将硅片非接触地吸附在第二输送机构的输送面上，以保证第二输送机构输送硅片的平稳性。
19、可选的，驱动组件包括安装架、横移驱动件和横移件，横移驱动件的固定端安装在安装架上，横移驱动件的驱动端连接横移件，吸盘安装在横移件上，横移驱动件被配置为驱动横移件往复移动，以带动吸盘从转运工位上拾取硅片。
20、通过安装架、横移驱动件、横移件和吸盘的配合，实现了从转运工位上自动拾取硅片，提供了一种结构简单，成本低，运行稳定可靠的驱动组件。
21、可选的，驱动组件还包括旋转驱动件，旋转驱动件的固定端安装在横移件上，旋转驱动件的驱动端连接吸盘，旋转驱动件被配置为驱动吸盘旋转预设角度，以调整吸盘吸附的硅片的朝向。
22、通过旋转驱动件、横移件和吸盘的配合，实现了吸盘拾取硅片后的自动换向，以满足不同的硅片生产要求。
23、可选的，第一输送机构包括在第一方向上间隔设置的至少两套升降组件。
24、通过至少两套升降组件来驱动输送组件升降，提高了输送组件升降的稳定性和可靠性。
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1.一种硅片转运装置，其特征在于，所述硅片转运装置包括第一输送机构和至少一套移载机构，其中：
2.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于，每套所述升降组件包括底座以及安装于底座上的升降驱动件和升降件，所述升降件与所述输送组件固定连接，所述升降驱动件被配置为驱动所述升降件升降，以带动所述输送组件升降。
3.根据权利要求2所述的硅片转运装置，其特征在于，所述升降驱动件的固定端固定在所述升降件上，所述升降驱动件的驱动端连接在所述底座上。
4.根据权利要求2所述的硅片转运装置，其特征在于，所述升降驱动件的固定端固定在所述底座上，所述升降驱动件的驱动端连接在所述升降件上。
5.根据权利要求2所述的硅片转运装置，其特征在于，所述输送组件包括第一输送架、第二输送架、第一输送带、第二输送带和第一驱动机构，所述第一输送架和第二输送架平行间隔设置，所述第一输送带可转动地安装在所述第一输送架上，所述第二输送带可转动地安装在所述第二输送架，所述第一驱动机构被配置为驱动所述第一输送带和所述第二输送带同步转动，所述升降件通过连接块与所述第一输送架和所述第
6.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于，所述硅片转运装置还包括第二输送机构，所述第二输送机构设置在所述转运工位的边侧，所述移载机构被配置为在第二输送机构和第一输送机构的转运工位之间转移硅片。
7.根据权利要求6所述的硅片转运装置，其特征在于，所述第二输送机构的进料端设置有吸附组件，所述吸附组件的吸附面低于所述第二输送机构的输送面，所述吸附组件被配置为非接触地吸附硅片，并将硅片吸附在所述第二输送机构的输送面上。
8.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于，所述驱动组件包括安装架、横移驱动件和横移件，所述横移驱动件的固定端安装在所述安装架上，所述横移驱动件的驱动端连接所述横移件，所述吸盘安装在所述横移件上，所述横移驱动件被配置为驱动所述横移件往复移动，以带动所述吸盘从所述转运工位上拾取硅片。
9.根据权利要求8所述的硅片转运装置，其特征在于，所述驱动组件还包括旋转驱动件，所述旋转驱动件的固定端安装在所述横移件上，所述旋转驱动件的驱动端连接所述吸盘，所述旋转驱动件被配置为驱动所述吸盘旋转预设角度，以调整所述吸盘吸附的硅片的朝向。
10.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于，所述第一输送机构包括在所述第一方向上间隔设置的至少两套所述升降组件。
...【技术特征摘要】
1.一种硅片转运装置，其特征在于，所述硅片转运装置包括第一输送机构和至少一套移载机构，其中：
2.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于，每套所述升降组件包括底座以及安装于底座上的升降驱动件和升降件，所述升降件与所述输送组件固定连接，所述升降驱动件被配置为驱动所述升降件升降，以带动所述输送组件升降。
3.根据权利要求2所述的硅片转运装置，其特征在于，所述升降驱动件的固定端固定在所述升降件上，所述升降驱动件的驱动端连接在所述底座上。
4.根据权利要求2所述的硅片转运装置，其特征在于，所述升降驱动件的固定端固定在所述底座上，所述升降驱动件的驱动端连接在所述升降件上。
5.根据权利要求2所述的硅片转运装置，其特征在于，所述输送组件包括第一输送架、第二输送架、第一输送带、第二输送带和第一驱动机构，所述第一输送架和第二输送架平行间隔设置，所述第一输送带可转动地安装在所述第一输送架上，所述第二输送带可转动地安装在所述第二输送架，所述第一驱动机构被配置为驱动所述第一输送带和所述第二输送带同步转动，所述升降件通过连接块与所述第一输送架和所述第二输送架固定连接。
6.根据权利要求1所述的硅片转运装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：无锡奥特维科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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