【技术实现步骤摘要】
本技术属于旋涂设备，具体涉及一种旋涂机上用于防止胶液反溅的结构，以及采用该结构的旋涂机。
技术介绍
1、旋涂机是一种基于高速旋转产生离心力来均匀涂布液体的设备，在旋涂机中，基片(剥离或金属片等)固定在转盘上，通过电机驱动转盘高速旋转，在旋转过程中，滴在基片上的液体在离心力的作用下被均匀涂布在基片上形成一层薄膜，其常用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学等表面需要涂敷的领域。
2、在旋涂机工作过程中，经常会出现液体反溅的问题，即在旋转过程中部分液体被甩离转盘后溅射至器具表面，当液体与旋涂器具表面接触时，产生的冲击力会使液体反溅，导致液体的浪费并影响工作环境。对于一些对液体控制要求较高的工艺，如涂层、涂漆等，反溅问题的影响更为重要。
3、公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本技术的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种旋涂机上的防止反溅的结构，用于解决液体反溅问题。
2、为了实现上述目的，本技术一具体实施例提供了一种旋涂机防溅结构，包括托盘箱、套筒和托盘。所述托盘箱设置有工作腔，包括上下设置且连通的第一腔室和第二腔室，所述第一腔室和第二腔室的截面分别呈圆台状和圆柱状；所述套筒设置于所述工作腔内，包括设置于第二腔室内的第二筒体以及连接于所述第二筒体并向第一腔室延伸的第一筒体，所述第一筒体呈圆台状；所述托盘设置于所述第一腔室内并位于所述
3、在本技术的一个或多个实施例中，所述第一筒体与第一腔室内壁之间的间距沿向下方向逐渐缩小。
4、在本技术的一个或多个实施例中，所述托盘位于所述第一筒体开口所在平面。
5、在本技术的一个或多个实施例中，所述托盘直径大于或等于第一筒体开口直径。
6、在本技术的一个或多个实施例中，所述筒体的外壁上设置有泡棉。
7、在本技术的一个或多个实施例中，所述工作腔的内壁上设置有泡棉。
8、在本技术的一个或多个实施例中，所述第一腔室和第二腔室的连通位置所在平面高于所述第一筒体和第二筒体连通位置所在平面。
9、在本技术的一个或多个实施例中，所述托盘箱的顶部开设有连通工作腔的开口。
10、在本技术的一个或多个实施例中，所述套筒与托盘箱可拆卸固定。
11、本技术还提供一种旋涂机，包括如上所述的旋涂机防溅结构。
12、与现有技术相比，本技术中旋涂机的托盘箱顶部设置成圆台状，同时在箱内设置顶部同样呈圆台状的套筒，甩飞的液体在接触箱体内壁后，由于角度的原因，反溅的液体向下进入套筒和箱体内壁之间，而不会向托盘本体或者托盘上方溅射，提高了工作效率和可靠性。
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1.一种旋涂机防溅结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的旋涂机防溅结构，其特征在于，所述第一筒体与第一腔室内壁之间的间距沿向下方向逐渐缩小。
3.根据权利要求2所述的旋涂机防溅结构，其特征在于，所述托盘位于所述第一筒体开口所在平面。
4.根据权利要求2所述的旋涂机防溅结构，其特征在于，所述托盘直径大于或等于第一筒体开口直径。
5.根据权利要求2所述的旋涂机防溅结构，其特征在于，所述筒体的外壁上设置有泡棉。
6.根据权利要求5所述的旋涂机防溅结构，其特征在于，所述工作腔的内壁上设置有泡棉。
7.根据权利要求6所述的旋涂机防溅结构，其特征在于，所述第一腔室和第二腔室的连通位置所在平面高于所述第一筒体和第二筒体连通位置所在平面。
8.根据权利要求1所述的旋涂机防溅结构，其特征在于，所述托盘箱的顶部开设有连通工作腔的开口。
9.根据权利要求1所述的旋涂机防溅结构，其特征在于，所述套筒与托盘箱可拆卸固定。
10.一种旋涂机，其特征在于，包括如权利要求1-9任一所述的旋涂机
...【技术特征摘要】
1.一种旋涂机防溅结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的旋涂机防溅结构，其特征在于，所述第一筒体与第一腔室内壁之间的间距沿向下方向逐渐缩小。
3.根据权利要求2所述的旋涂机防溅结构，其特征在于，所述托盘位于所述第一筒体开口所在平面。
4.根据权利要求2所述的旋涂机防溅结构，其特征在于，所述托盘直径大于或等于第一筒体开口直径。
5.根据权利要求2所述的旋涂机防溅结构，其特征在于，所述筒体的外壁上设置有泡棉。
6.根据权利要求5所...
【专利技术属性】
技术研发人员：甘家安，蒋翼，王卓，宋熊荣，
申请(专利权)人：丹玥光学上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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