【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种净化台及加工设备。
技术介绍
1、净化台是半导体生产流程中，某些工艺设备的组成部分的统称，能够对高温产品进行冷却和净化，广泛应用于集成电路、电力电子、太阳能电池的生产等行业。在半导体和太阳能电池片的制造设备中，扩散设备、氧化设备、镀膜设备等都包含有净化台设备，能够对高温产品进行冷却和净化。
2、目前新型电池对工艺质量要求越来越高，有些将原有的竖直插片工艺改为水平插片，转换后同等尺寸的舟载片量会大大降低；为保持产量，会将舟或者舟托的尺寸加大，重量随之加重。现有的净化台中，通常会设置搬舟装置、升降装置和推舟装置，搬舟装置用于承载搬运舟或者舟托，推舟装置用于将舟或者舟托推入热炉，升降装置与推舟装置相连，且用于驱动推舟装置升降。升降装置安装在净化台的支架上，使得净化台内部的全部结构的重量均由净化台的机架承载。现有技术中，会通过限制舟或者舟托尺寸以及承载量来确保机架不会发生过大的变形，从而不利于设备产能的提升。
3、基于以上所述，亟需一种实现承载量较大的舟结构的运输，有利于提升设备产能。
技术实现思路
1、本技术的第一目的在于提出一种净化台，该净化台能够实现重量较大的舟结构的搬运，有利于提升设备产能。
2、本技术的第二个目的在于提出一种加工设备，该加工设备能够实现重量较大的舟结构的搬运，有利于提升设备产能。
3、为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
4、本技术公开了一种净化台，包括：机架，所述
5、本技术的净化台的有益效果：由于运输装置设在机架上，而搬舟装置设在机架的第一侧和第二侧之间，搬舟装置与运输装置之间不连接，在实际工艺进行中，机架上的负载就是运输装置和运输装置运输的舟结构，搬舟装置的负载是舟结构，这样就能够增加舟结构的承载量，实现大载量舟结构的运输，提升一次性进入高温反应腔的片材的数量，有利于提升产能，同时由于搬舟装置单独设在机架内部，不与机架连接，搬舟装置损坏后可以直接整体更换，不需要拆卸，简单快捷。
6、在一些实施中，所述运输装置包括输入流水线和输出流水线，所述输入流水线和所述输出流水线分别安装于所述第一侧和所述第二侧；其中：所述输入流水线用于接收外部输送的所述舟结构，且将所述舟结构运输至与所述搬舟装置对应的位置；所述输出流水线用于接收所述搬舟装置输出的舟结构，且输出所述机架。
7、在一些具体的实施例中，所述输入流水线包括第一运输支架、第一驱动模组和第一支撑架，所述第一运输支架安装于所述机架，所述第一驱动模组安装于所述第一运输支架，且用于驱动所述第一支撑架在所述第一运输支架上沿第一方向运动，所述第一支撑架用于支撑所述舟结构；和/或：所述输出流水线包括第二运输支架、第二驱动模组和第二支撑架，所述第二运输支架安装于所述机架，所述第二驱动模组安装于所述第二运输支架，且用于驱动所述第二支撑架在所述第二运输支架上沿第一方向运动，所述第二支撑架用于支撑所述舟结构。
8、在一些实施例中，所述桨支撑机构包括：平移模组，所述平移模组与所述桨支撑机构传动配合，且用于驱动所述桨支撑机构沿第二方向运动，所述第二方向与所述运输装置的运输方向垂直设置；升降模组，所述升降模组与所述平移模组传动配合，且用于驱动所述平移模组沿竖直方向升降；推舟模组，所述推舟模组与所述升降模组传动配合，且用于驱动所述升降模组在所述推舟模组上沿第一方向运动。
9、在一些具体的实施例中，所述升降模组包括：升降支架，所述升降支架与所述推舟模组传动配合；升降驱动组件，所述升降驱动组件设在所述升降支架上，且用于驱动所述平移模组升降；负载组件，所述负载组件包括配重负载、定滑轮以及负载绳，所述负载绳的一端与所述配重负载相连，另一端与所述平移模组相连。
10、在一些具体的实施例中，所述推舟模组包括：推舟支架，所述推舟支架安装于所述机架底部；推舟驱动件，所述推舟驱动件安装于所述推舟支架上；推舟传动组件，所述推舟传动组件的动力输入端与所述推舟驱动件相连，动力输出端与所述升降模组相连。
11、在一些具体的实施例中，所述平移模组包括：平移支架，所述平移支架与所述升降模组传动配合；平移驱动件，所述平移驱动件安装于所述平移支架上；平移传动组件，所述平移传动组件的动力输入端与所述平移驱动件相连，动力输出端与所述桨支撑机构相连。
12、在一些具体的实施例中，所述桨支撑机构包括：桨头架，所述桨头架与所述平移模组传动配合；桨筒，所述桨筒与所述桨头架相连；桨杆单元，所述桨杆单元与所述桨筒远离所述桨头架的一端相连，且用于支撑所述舟结构。
13、在一些更具体的实施例中，所述桨杆单元包括：多个支撑桨；桨固定板，所述桨固定板连接于多个所述支撑桨的一端，且与所述桨筒相连；桨夹，所述桨夹连接于所述支撑桨远离所述桨固定板的一端，且将多个所述支撑桨的端部固定在一起。
14、在一些实施例中，所述净化台还包括：至少一个缓存台，所述缓存台连接于所述机架，且位于所述运输装置上方，所述缓存台能够接收所述搬舟装置运输的所述舟结构；冷却装置，所述冷却装置连接于所述机架和/或所述缓存台，所述冷却装置用于冷却安置于所述缓存台上的所述舟结构。
15、本技术还公开了一种加工设备，包括前文所述的净化台和高温反应腔，所述净化台用于将所述舟结构运输至所述高温反应腔以及接收在所述高温反应腔完成工艺的舟结构。
16、本技术的加工设备，由于具有前文所述的净化台，该加工设备能够实现重量较大的舟结构的搬运，有利于提升设备产能。
17、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
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1.一种净化台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的净化台，其特征在于，所述运输装置包括输入流水线和输出流水线，所述输入流水线和所述输出流水线分别安装于所述第一侧和所述第二侧；其中：
3.根据权利要求2所述的净化台，其特征在于，所述输入流水线包括第一运输支架、第一驱动模组和第一支撑架，所述第一运输支架安装于所述机架，所述第一驱动模组安装于所述第一运输支架，且用于驱动所述第一支撑架在所述第一运输支架上沿所述第一方向运动，所述第一支撑架用于支撑所述舟结构；和/或：
4.根据权利要求1所述的净化台，其特征在于，所述桨搬运机构包括：
5.根据权利要求4所述的净化台，其特征在于，所述升降模组包括：
6.根据权利要求4所述的净化台，其特征在于，所述推舟模组包括：
7.根据权利要求4所述的净化台，其特征在于，所述平移模组包括：
8.根据权利要求4所述的净化台，其特征在于，所述桨支撑机构包括：
9.根据权利要求1-8中任一项所述的净化台，其特征在于，所述净化台还包括：
10.一种加
...【技术特征摘要】
1.一种净化台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的净化台，其特征在于，所述运输装置包括输入流水线和输出流水线，所述输入流水线和所述输出流水线分别安装于所述第一侧和所述第二侧；其中：
3.根据权利要求2所述的净化台，其特征在于，所述输入流水线包括第一运输支架、第一驱动模组和第一支撑架，所述第一运输支架安装于所述机架，所述第一驱动模组安装于所述第一运输支架，且用于驱动所述第一支撑架在所述第一运输支架上沿所述第一方向运动，所述第一支撑架用于支撑所述舟结构；和/或：
4.根据权利要求1所述的净化台，其特征在于，所述桨搬运机构包括：
【专利技术属性】
技术研发人员：刘官炫，朱太荣，张武，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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