【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体衬底材料制造，特别是涉及一种自动磨边装置。
技术介绍
1、磷化铟衬底在多个领域展现出广泛应用潜力，包括高频高功率器件、光纤通信、无线传输和射电天文学中的射频器件市场。其在卫星、雷达等应用中制造的射频器件表现出卓越的性能。特别是在雷达和通信系统的射频前端、模拟/混合信号宽带宽电路方面，磷化铟衬底具有强大的竞争力，适合高速数据处理和高精度宽带宽a/d转换等应用场景。
2、然而，磷化铟的加工过程存在挑战，特别是磨边工序，目前，磷化铟磨边主要依赖人工操作，包括将晶片放置在真空吸盘上和手工磨边。这一过程包括员工核对晶片信息、启动检查设备、手动放置晶片在吸盘上，以及使用半自动单砂轮进行磨边。每完成一片晶片的磨边后，员工需要重复相同的过程进行下一片晶片的加工，导致工作效率低，且容易造成人员受伤。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是：现有的磨边工具无法实现自动化，导致工作效率低，且容易造成人员受伤。
2、为了解决上述技术问题，本技术提供了一种自动磨边装置，包括装置主体、用于吸取并驱动晶片旋转的吸附结构、用于对所述晶片进行粗磨的第一磨边结构以及用于对所述晶片进行细磨的第二磨边结构，所述吸附结构、第一磨边结构以及第二磨边结构安装于所述装置主体，所述第一磨边结构包括用于调整位姿的第一机械臂以及用于对所述晶片粗磨的第一砂轮组件，所述第一砂轮组件安装于所述第一机械臂末端，所述第二磨边结构包括用于调整位姿的第二机械臂以及用于对所述晶片进行细磨的第二砂轮组件，所述
3、在一些实施例中，所述第一机械臂包括第一底座、第一旋转臂以及第一驱动件，所述第一底座安装于所述装置主体，所述第一旋转臂与所述第一底座活动连接，所述第一驱动件安装于所述第一底座，且所述第一驱动件的输出轴与所述第一旋转臂连接，以驱动所述第一旋转臂相对所述第一底座于水平方向来回摆动，所述第一磨边结构安装于所述第一旋转臂的末端。
4、在一些实施例中，所述第一砂轮组件包括第一砂轮以及第二驱动件，所述第一砂轮与所述第一机械臂的末端活动连接，所述第二驱动件安装于所述第一机械臂，且所述第二驱动件的输出轴与所述第一砂轮连接，以驱动所述第一砂轮旋转。
5、在一些实施例中，所述装置主体包括第一安装槽；
6、第二机械臂包括第二底座、导轨、滑块、第三驱动件、第二旋转臂、第四驱动件、第三旋转臂、第五驱动件、第四旋转臂以及第六驱动件，所述第三驱动件安装于所述第一安装槽内，所述导轨安装于所述第一安装槽的内壁，所述滑块滑动安装于所述导轨，所述第三驱动件的输出轴通过所述滑块与所述第二底座连接，用于驱动所述滑块相对所述导轨滑动，以带动所述第二底座伸出或缩回第一安装槽；
7、所述第四驱动件安装于所述第二底座，所述第二旋转臂通过所述第四驱动件的输出轴与所述第二底座活动连接，以驱动所述第二旋转臂相对所述第二底座于水平方向左右摆动；
8、所述第五驱动件安装于所述第二旋转臂，所述第三旋转臂通过所述第五驱动件的输出轴与所述第三旋转臂活动连接，以驱动所述第三旋转臂相对于所述第二旋转臂于水平方向旋转；
9、所述第六驱动件安装于所述第三旋转臂，所述第四旋转臂通过所述第六驱动件的输出轴与所述第三旋转臂活动连接，以驱动所述第四旋转臂相对于第三旋转臂于垂直方向上下摆动；
10、所述第二砂轮组件安装于所述第六旋转臂的末端。
11、在一些实施例中，所述第二砂轮组件包括第七驱动件、摆动连接组件、第二砂轮以及第八驱动件，所述第二砂轮与所述第二机械臂的末端活动连接，所述第七驱动件安装于所述第二机械臂，所述第七驱动件的输出轴通过所述摆动连接组件与所述第二砂轮连接，用于驱动第二砂轮以其与所述第七驱动件的连线为轴偏转，所述第八驱动件与所述第二砂轮连接，以驱动所述第二砂轮转动。
12、在一些实施例中，所述摆动连接组件包括连接杆以及球形关节，所述连接杆呈螺旋状，所述连接杆的一端与所述第七驱动件的输出轴连接，所述连接杆的另一端与所述球形关节连接，所述球形关节与所述第二砂轮连接；
13、所述连接杆呈自所述第七驱动件朝向所述球形关节的方向内径逐渐减小的螺旋状。
14、在一些实施例中，所述第二磨边结构包括一对相对且间隔设置的第二砂轮组件。
15、在一些实施例中，所述吸附结构包括第三底座、第九驱动件以及吸附组件，所述第三底座安装于所述装置主体，所述吸附组件与所述第三底座活动连接，所述第九驱动件安装于所述第三底座，且所述第九驱动件的输出轴与所述吸附组件连接，用于驱动所述吸附组件旋转，以带动所述晶片旋转。
16、在一些实施例中，所述吸附组件包括真空泵、导管以及吸附头，所述真空泵通过所述导管与所述吸附头连接，以于所述吸附头处形成负压，所述吸附头与所述第九驱动件的输出轴连接。
17、在一些实施例中，所述装置主体具有废料收集槽，所述吸附结构位于所述废料收集槽中。
18、本技术实施例一种自动磨边装置与现有技术相比，其有益效果在于：
19、本技术实施例通过吸附结构吸取晶片，并驱动晶片以一定的速度自转，第一机械臂根据晶片的位置调整位姿，并通过第一砂轮组件对其进行粗磨，将边缘崩边磨掉，去除大部分多余的材料和瑕疵，然后再根据加工需求以及晶片的位置，利用第二机械臂调整位姿，并通过第二砂轮组件进行细磨，将已磨完崩边的晶片进行边缘磨角，以达到所需的精度和平滑度。本实施例通过自动化操作，可以提高晶片加工的效率和质量，减少人工操作的误差，此外，还能避免人工操作容易导致的受伤情况出现。
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1.一种自动磨边装置，其特征在于，包括装置主体、用于吸取并驱动晶片旋转的吸附结构、用于对所述晶片进行粗磨的第一磨边结构以及用于对所述晶片进行细磨的第二磨边结构，所述吸附结构、第一磨边结构以及第二磨边结构安装于所述装置主体，所述第一磨边结构包括用于调整位姿的第一机械臂以及用于对所述晶片粗磨的第一砂轮组件，所述第一砂轮组件安装于所述第一机械臂末端，所述第二磨边结构包括用于调整位姿的第二机械臂以及用于对所述晶片进行细磨的第二砂轮组件，所述第二砂轮组件安装于所述第二机械臂末端。
2.根据权利要求1所述的自动磨边装置，其特征在于，所述第一机械臂包括第一底座、第一旋转臂以及第一驱动件，所述第一底座安装于所述装置主体，所述第一旋转臂与所述第一底座活动连接，所述第一驱动件安装于所述第一底座，且所述第一驱动件的输出轴与所述第一旋转臂连接，以驱动所述第一旋转臂相对所述第一底座于水平方向来回摆动，所述第一磨边结构安装于所述第一旋转臂的末端。
3.根据权利要求1所述的自动磨边装置，其特征在于，所述第一砂轮组件包括第一砂轮以及第二驱动件，所述第一砂轮与所述第一机械臂的末端活动连接，
4.根据权利要求1所述的自动磨边装置，其特征在于，所述装置主体包括第一安装槽；
5.根据权利要求1所述的自动磨边装置，其特征在于，所述第二砂轮组件包括第七驱动件、摆动连接组件、第二砂轮以及第八驱动件，所述第二砂轮与所述第二机械臂的末端活动连接，所述第七驱动件安装于所述第二机械臂，所述第七驱动件的输出轴通过所述摆动连接组件与所述第二砂轮连接，用于驱动第二砂轮以其与所述第七驱动件的连线为轴偏转，所述第八驱动件与所述第二砂轮连接，以驱动所述第二砂轮转动。
6.根据权利要求5所述的自动磨边装置，其特征在于，所述摆动连接组件包括连接杆以及球形关节，所述连接杆呈螺旋状，所述连接杆的一端与所述第七驱动件的输出轴连接，所述连接杆的另一端与所述球形关节连接，所述球形关节与所述第二砂轮连接；
7.根据权利要求1中所述的自动磨边装置，其特征在于，所述第二磨边结构包括一对相对且间隔设置的第二砂轮组件。
8.根据权利要求1所述的自动磨边装置，其特征在于，所述吸附结构包括第三底座、第九驱动件以及吸附组件，所述第三底座安装于所述装置主体，所述吸附组件与所述第三底座活动连接，所述第九驱动件安装于所述第三底座，且所述第九驱动件的输出轴与所述吸附组件连接，用于驱动所述吸附组件旋转，以带动所述晶片旋转。
9.根据权利要求8所述的自动磨边装置，其特征在于，所述吸附组件包括真空泵、导管以及吸附头，所述真空泵通过所述导管与所述吸附头连接，以于所述吸附头处形成负压，所述吸附头与所述第九驱动件的输出轴连接。
10.根据权利要求1所述的自动磨边装置，其特征在于，所述装置主体具有废料收集槽，所述吸附结构位于所述废料收集槽中。
...【技术特征摘要】
1.一种自动磨边装置，其特征在于，包括装置主体、用于吸取并驱动晶片旋转的吸附结构、用于对所述晶片进行粗磨的第一磨边结构以及用于对所述晶片进行细磨的第二磨边结构，所述吸附结构、第一磨边结构以及第二磨边结构安装于所述装置主体，所述第一磨边结构包括用于调整位姿的第一机械臂以及用于对所述晶片粗磨的第一砂轮组件，所述第一砂轮组件安装于所述第一机械臂末端，所述第二磨边结构包括用于调整位姿的第二机械臂以及用于对所述晶片进行细磨的第二砂轮组件，所述第二砂轮组件安装于所述第二机械臂末端。
2.根据权利要求1所述的自动磨边装置，其特征在于，所述第一机械臂包括第一底座、第一旋转臂以及第一驱动件，所述第一底座安装于所述装置主体，所述第一旋转臂与所述第一底座活动连接，所述第一驱动件安装于所述第一底座，且所述第一驱动件的输出轴与所述第一旋转臂连接，以驱动所述第一旋转臂相对所述第一底座于水平方向来回摆动，所述第一磨边结构安装于所述第一旋转臂的末端。
3.根据权利要求1所述的自动磨边装置，其特征在于，所述第一砂轮组件包括第一砂轮以及第二驱动件，所述第一砂轮与所述第一机械臂的末端活动连接，所述第二驱动件安装于所述第一机械臂，且所述第二驱动件的输出轴与所述第一砂轮连接，以驱动所述第一砂轮旋转。
4.根据权利要求1所述的自动磨边装置，其特征在于，所述装置主体包括第一安装槽；
5.根据权利要求1所述的自动磨边装置，其特征在于，所述第二砂轮组件包括第七驱动件、摆动...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑金龙，唐勇，黄艺毅，周铁军，马金峰，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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