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【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于线锯生产,具体涉及一种具有波形高度一致性结构的线锯及其生产方法。
技术介绍
1、线锯是多线切割中必备的耗材,在硬脆材料切割中广泛使用,尤其是半导体行业采用多线切割晶圆时,主流工艺是用采用钢丝线锯为辅材的多线切割,现存的线锯有直丝和结构线两种,线锯的在切割过程中,是利用金属丝(主流是钢丝)携带含有硬质颗粒的砂浆对被切割件进行磨削加工。
2、对于直丝而言,因直丝不存在弯曲的波形,因此携带砂浆的能力相对较差,切割能力和切割效率相对较差,而结构线则具有弯曲的波形,能够更好的携带砂浆,切割能力和切割效率更好,目前的结构线的生产方式如附图1所示,采用两组成对齿轮对钢丝进行挤压变形得到具有一定波形的结构线锯,但这种加工方式注定得到的线锯的波形在沿着钢丝径向不均匀,波形只出现在齿轮碾压的平面上,而且线锯的结构变形点,也只集中在钢丝与齿轮接触的微小局部区域,在多线切片时,沿钢丝轴向快速运动的金属丝在工作时难免会旋转,所以沿钢丝径向不均匀会导致切割效果不一致。
3、并且这种加工方式下,所生产的结构线具有以下问题:
4、①采用两组垂直分布的齿轮对钢丝进行挤压得到在两个平面上分布的波形,不是沿钢丝径向360度均匀分布的波形;
5、②两组齿轮先后布置,在第一组齿轮碾压形成一组波形后,第二组齿轮碾压形成与第一组波平面相垂直的第二组波时,如果钢丝发生旋转,两组波容易碾压重合,从而形成平面波而非立体波形。
6、为此,我们提出一种具有波形高度一致性结构的线锯及其生产方法。
【技术保护点】
1.一种具有波形高度一致性结构的线锯的生产方法,其特征在于:所述生产方法包括有以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种具有波形高度一致性结构的线锯的生产方法,其特征在于:所述步骤S1中,所述高碳钢盘条的含碳量为0.7%以上,以含碳量高于0.8%为宜。
3.根据权利要求2所述的一种具有波形高度一致性结构的线锯的生产方法,其特征在于:所述步骤S1具体包括以下步骤:
4.根据权利要求3所述的一种具有波形高度一致性结构的线锯的生产方法,其特征在于:所述步骤S2具体包括以下步骤:
5.根据权利要求4所述的一种具有波形高度一致性结构的线锯的生产方法,其特征在于:所述步骤S3具体包括以下步骤:
6.根据权利要求5所述的一种具有波形高度一致性结构的线锯的生产方法,其特征在于:所述步骤S4具体为:
7.根据权利要求1-6任意一项所述的一种具有波形高度一致性结构的线锯的生产方法所生产的线锯。
【技术特征摘要】
1.一种具有波形高度一致性结构的线锯的生产方法,其特征在于:所述生产方法包括有以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种具有波形高度一致性结构的线锯的生产方法,其特征在于:所述步骤s1中,所述高碳钢盘条的含碳量为0.7%以上,以含碳量高于0.8%为宜。
3.根据权利要求2所述的一种具有波形高度一致性结构的线锯的生产方法,其特征在于:所述步骤s1具体包括以下步骤:
4.根据权利要求3所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员:张释伟,张贤成,张良兵,
申请(专利权)人:苏州晶切技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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