【技术实现步骤摘要】
本申请涉及真空腔体仓门开合领域，尤其是涉及一种真空腔体仓门开合装置。
技术介绍
1、磁控溅射镀膜设备是一种利用物理气相沉积（pvd）技术进行薄膜制备的设备，其中，真空腔体为硅片的镀膜提供了一个低压环境，并且每个真空腔体的长度方向的侧壁上均开设有矩形的过料口，并且每个真空腔体上都安装有用于输送物料的输送机构，以便于装有硅片的载板能够从一个真空腔体进入到另一个真空腔体中。
2、通常，真空腔体的顶壁上开设有安装口，安装口上通常会设置一个仓门对安装口进行封闭，仓门靠近安装口一侧的侧壁上安装有加热器，通过加热器升高真空腔体内的温度，从而使真空腔体内达到适宜工作的温度。
3、在传统方式中，对于仓门的安装，通常是通过吊装的方式将仓门运送至真空腔体上的安装口处进行安装的。但是，通过这种方式安装仓门后，在需要对加热器进行检修维护时，还需要通过吊装的方式将仓门调离真空腔体后进行检修，通常比较麻烦。
技术实现思路
1、为了能够方便对仓门上的加热器进行维护，本申请提供一种真空腔体仓门开合装置。
2、本申请提供一种真空腔体仓门开合装置，采用如下技术方案：
3、一种真空腔体仓门开合装置，包括机架和腔体，所述腔体安装在机架上，所述腔体的顶壁上开设有安装口，所述腔体上位于安装口处还转动安装有封闭门，所述机架上安装有用于驱动封闭门转动的开合机构，所述开合机构包括驱动组件，所述驱动组件安装在机架上，所述封闭门与驱动组件相连，且所述封闭门用于将安装口封闭，且所述封闭门上用
4、通过采用上述技术方案，通过将腔体设置在机架上，并将封闭门的一端与腔体转动连接，利用驱动组件驱动封闭门转动，使封闭门将腔体上的安装口封闭，使得封闭门上的加热器能够对真空腔体内进行加热，从而使真空腔体内达到工作温度，并且通过保持机构使封闭门与腔体紧密连接，从而便于保持真空腔体内的真空度。而在需要对加热器进行维护时，则通过保持机构松开封闭门，并通过驱动组件驱动封闭门向远离腔体的方向转动，从而打开安装口，从而方便操作人员对封闭门上的加热器进行维护，从而提高了维护加热器的便利性。
5、在一个具体的可实施方案中，所述驱动组件包括开合气缸和支座，所述支座设置在机架上位于腔体的一侧，所述开合气缸安装在封闭门上，且所述开合气缸的输出端与支座相连。
6、通过采用上述技术方案，通过开合气缸驱动活塞杆收缩，从而拉动封闭门，使得封闭门能够向上转动，从而打开安装口，通过开合气缸驱动活塞杆伸出，从而推动封闭门，使得封闭门能够向下转动，从而封闭安装口。并且通过将开合气缸安装在封闭门上，从而减少了空间的占用，并且使得封闭门的开合也更省力。
7、在一个具体的可实施方案中，所述开合机构还包括缓冲组件，所述缓冲组件包括转套、推杆、锁定件和解锁件，所述转套转动安装在支座上，所述推杆沿开合气缸的活塞杆的轴线方向安装在开合气缸的活塞杆上，且所述推杆的一端穿过转套并向远离开合气缸的方向延伸，且所述推杆远离开合气缸的一端用于与保持机构相连，所述推杆上远离开合气缸的一端的侧壁上安装有用于抵触转套的限位板，且所述限位板位于转套远离开合气缸的一侧，所述锁定件安装在推杆上，且所述转套位于限位板与锁定件之间，且所述锁定件用于对转套远离限位板的一端限位，所述解锁件安装在机架上，且所述解锁件与锁定件相连。
8、通过采用上述技术方案，当开合气缸驱动活塞杆伸出时，通过锁定件对转套进行限位，从而对推杆在轴线方向上进行限位，使得开合气缸能够带动封闭门向下转动，从而便于封闭安装口。当封闭门将安装口封闭时，解锁件驱动锁定件解除对转套的限位，使得开合气缸能够继续驱动活塞杆外伸，从而驱动保持机构动作，从而将封闭门压紧在腔体上，从而方便提高腔体的气密性。
9、在一个具体的可实施方案中，所述锁定件包括锁定块和锁定弹簧，所述推杆的侧壁上开设有锁定槽，所述锁定槽的轴线与推杆的轴线垂直，所述锁定块滑动安装在锁定槽内，且所述锁定块的一端外伸出锁定槽，且所述锁定块位于锁定槽外的一端的侧壁用于与转套端部的侧壁抵触，所述锁定弹簧安装在锁定槽内，且所述锁定弹簧的一端与锁定槽的槽底壁相连，另一端与锁定块位于锁定槽内的一端相连。
10、通过采用上述技术方案，通过锁定块外伸出锁定槽，从而对转套的一端进行限位，从而实现对推杆在其轴线方向上进行限位，从而使得开合气缸能够顺利带动封闭门将安装口封闭。
11、在一个具体的可实施方案中，所述解锁件包括解锁块，所述解锁块安装在支座上，且所述解锁块用于抵触锁定块位于锁定槽外的一端。
12、通过采用上述技术方案，当封闭门将安装口封闭时，锁定块抵触解锁块，从而通过解锁块将锁定块推入锁定槽中，从而使锁定块解除对转套的限位，使得推杆能够与转套产生相对滑动，从而带动保持机构动作。
13、在一个具体的可实施方案中，所述保持机构包括联动组件和压紧组件，所述压紧组件包括压紧块、驱动杆和复位件，所述压紧块转动安装在腔体的顶壁上靠近安装口处，且所述压紧块的一端用于压紧封闭门的顶壁，所述驱动杆滑动安装在腔体的顶壁上靠近压紧块处，且所述驱动杆的一端与压紧块远离安装口的一端相连，所述复位件安装在驱动杆上，所述复位件还与腔体相连，所述联动组件安装在腔体上，且所述联动组件与驱动杆相连，所述联动组件还与缓冲组件相连。
14、通过采用上述技术方案，当封闭门将安装口封闭时，通过开合机构推动联动组件动作，使得联动组件带动驱动杆移动，使驱动杆带动压紧块转动，使得压紧块的一端压紧在封闭门的顶壁上，从而将封闭门压紧在腔体上，从而便于保持封闭门与腔体连接的紧密性，减少腔体上安装的用于运送物料的机构运送物料时产生的振动，从而减少封闭门因腔体产生振动而与腔体之间出现缝隙，从而便于保持腔体的气密性。
15、在一个具体的可实施方案中，所述复位件包括复位弹簧，所述机架上靠近压紧块处安装有支撑板，所述驱动杆滑动安装在支撑板上，且所述驱动杆穿过支撑板与压紧块相连，所述驱动杆远离压紧块的一端设有挡板，所述挡板与联动组件相连，所述复位弹簧安装在驱动杆上，且所述复位弹簧的一端与挡板的侧壁抵触，另一端与支撑板的侧壁抵触。
16、通过采用上述技术方案，在联动组件带动驱动杆移动时，驱动杆端部的挡板压缩复位弹簧，从而方便在需要驱动杆复位时，能够在复位弹簧的弹性力的作用下复位。
17、在一个具体的可实施方案中，所述联动组件包括控制件、弹性件和连接件，所述控制件包括控制板，所述控制板沿着与封闭门的转轴垂直的方向安装在腔体上，且所述控制板位于驱动杆远离安装口的一侧，所述控制板的侧壁上开设有供驱动杆的端部滑动的控制槽，所述控制槽的槽底壁与控制板的侧壁之间通过斜坡连接，所述弹性件安装在控制板上，且所述弹性件与机架相连，所述连接件安装在机架上，且所述连接件与控制板相连，所述连接件还与缓冲组件相连。
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1.一种真空腔体(2)仓门开合装置，包括机架(1)和腔体(2)，所述腔体(2)安装在机架(1)上，其特征在于：所述腔体(2)的顶壁上开设有安装口，所述腔体(2)上位于安装口处还转动安装有封闭门(5)，所述机架(1)上安装有用于驱动封闭门(5)转动的开合机构(3)，所述开合机构(3)包括驱动组件(32)，所述驱动组件(32)安装在机架(1)上，所述封闭门(5)与驱动组件(32)相连，且所述封闭门(5)用于将安装口封闭，且所述封闭门(5)上用于安装加热器，所述腔体(2)上安装有保持机构，所述保持机构与封闭门(5)相连，且所述保持机构用于保持封闭门(5)与腔体(2)紧密连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空腔体(2)仓门开合装置，其特征在于：所述驱动组件(32)包括开合气缸(321)和支座(322)，所述支座(322)设置在机架(1)上位于腔体(2)的一侧，所述开合气缸(321)安装在封闭门(5)上，且所述开合气缸(321)的输出端与支座(322)相连。
3.根据权利要求2所述的一种真空腔体(2)仓门开合装置，其特征在于：所述开合机构(3)还包括缓冲组件(33
4.根据权利要求3所述的一种真空腔体(2)仓门开合装置，其特征在于：所述锁定件包括锁定块(334)和锁定弹簧(335)，所述推杆(332)的侧壁上开设有锁定槽，所述锁定槽的轴线与推杆(332)的轴线垂直，所述锁定块(334)滑动安装在锁定槽内，且所述锁定块(334)的一端外伸出锁定槽，且所述锁定块(334)位于锁定槽外的一端的侧壁用于与转套(331)端部的侧壁抵触，所述锁定弹簧(335)安装在锁定槽内，且所述锁定弹簧(335)的一端与锁定槽的槽底壁相连，另一端与锁定块(334)位于锁定槽内的一端相连。
5.根据权利要求4所述的一种真空腔体(2)仓门开合装置，其特征在于：所述解锁件包括解锁块(336)，所述解锁块(336)安装在支座(322)上，且所述解锁块(336)用于抵触锁定块(334)位于锁定槽外的一端。
6.根据权利要求3所述的一种真空腔体(2)仓门开合装置，其特征在于：所述保持机构包括联动组件(42)和压紧组件(41)，所述压紧组件(41)包括压紧块(411)、驱动杆(412)和复位件，所述压紧块(411)转动安装在腔体(2)的顶壁上靠近安装口处，且所述压紧块(411)的一端用于压紧封闭门(5)的顶壁，所述驱动杆(412)滑动安装在腔体(2)的顶壁上靠近压紧块(411)处，且所述驱动杆(412)的一端与压紧块(411)远离安装口的一端相连，所述复位件安装在驱动杆(412)上，所述复位件还与腔体(2)相连，所述联动组件(42)安装在腔体(2)上，且所述联动组件(42)与驱动杆(412)相连，所述联动组件(42)还与缓冲组件(33)相连。
7.根据权利要求6所述的一种真空腔体(2)仓门开合装置，其特征在于：所述复位件包括复位弹簧(416)，所述机架(1)上靠近压紧块(411)处安装有支撑板(415)，所述驱动杆(412)滑动安装在支撑板(415)上，且所述驱动杆(412)穿过支撑板(415)与压紧块(411)相连，所述驱动杆(412)远离压紧块(411)的一端设有挡板(414)，所述挡板(414)与联动组件(42)相连，所述复位弹簧(416)安装在驱动杆(412)上，且所述复位弹簧(416)的一端与挡板(414)的侧壁抵触，另一端与支撑板(415)的侧壁抵触。
8.根据权利要求6所述的一种真空腔体(2)仓门开合装置，其特征在于：所述联动组件(42)包括控制件、弹性件和连接件，所述控制件包括控制板(421)，所述控制板(421)沿着与封闭门(5)的转轴垂直的方向安装在腔体(2)上，且所述控制板(421)位于驱动杆(412)远离安装口的一侧，所述控制板(...
【技术特征摘要】
1.一种真空腔体(2)仓门开合装置，包括机架(1)和腔体(2)，所述腔体(2)安装在机架(1)上，其特征在于：所述腔体(2)的顶壁上开设有安装口，所述腔体(2)上位于安装口处还转动安装有封闭门(5)，所述机架(1)上安装有用于驱动封闭门(5)转动的开合机构(3)，所述开合机构(3)包括驱动组件(32)，所述驱动组件(32)安装在机架(1)上，所述封闭门(5)与驱动组件(32)相连，且所述封闭门(5)用于将安装口封闭，且所述封闭门(5)上用于安装加热器，所述腔体(2)上安装有保持机构，所述保持机构与封闭门(5)相连，且所述保持机构用于保持封闭门(5)与腔体(2)紧密连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空腔体(2)仓门开合装置，其特征在于：所述驱动组件(32)包括开合气缸(321)和支座(322)，所述支座(322)设置在机架(1)上位于腔体(2)的一侧，所述开合气缸(321)安装在封闭门(5)上，且所述开合气缸(321)的输出端与支座(322)相连。
3.根据权利要求2所述的一种真空腔体(2)仓门开合装置，其特征在于：所述开合机构(3)还包括缓冲组件(33)，所述缓冲组件(33)包括转套(331)、推杆(332)、锁定件和解锁件，所述转套(331)转动安装在支座(322)上，所述推杆(332)沿开合气缸(321)的活塞杆的轴线方向安装在开合气缸(321)的活塞杆上，且所述推杆(332)的一端穿过转套(331)并向远离开合气缸(321)的方向延伸，且所述推杆(332)远离开合气缸(321)的一端用于与保持机构相连，所述推杆(332)上远离开合气缸(321)的一端的侧壁上安装有用于抵触转套(331)的限位板(333)，且所述限位板(333)位于转套(331)远离开合气缸(321)的一侧，所述锁定件安装在推杆(332)上，且所述转套(331)位于限位板(333)与锁定件之间，且所述锁定件用于对转套(331)远离限位板(333)的一端限位，所述解锁件安装在机架(1)上，且所述解锁件与锁定件相连。
4.根据权利要求3所述的一种真空腔体(2)仓门开合装置，其特征在于：所述锁定件包括锁定块(334)和锁定弹簧(335)，所述推杆(332)的侧壁上开设有锁定槽，所述锁定槽的轴线与推杆(332)的轴线垂直，所述锁定块(334)滑动安装在锁定槽内，且所述锁定块(334)的一端外伸出锁定槽，且所述锁定块(334)位于锁定槽外的一端的侧壁用于与转套(331)端部的侧壁抵触，所述锁定弹簧(335)安装在锁定槽内，且所述锁定弹簧(335)的一端与锁定槽的槽底壁相连，另一端与锁定块(334)位于锁定槽内的一端相连。
5.根据权利要求4所述的一种真空腔体(2)仓门开合装置，其特征在于：所述解锁件包括解锁块(336)，所述解锁块(...
【专利技术属性】
技术研发人员：申舰，袁斌，张建德，张延任，吴志伟，
申请(专利权)人：江苏阳铭互联智能系统有限公司，
类型：发明
国别省市：
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