【技术实现步骤摘要】
本申请涉及真空腔体仓门开合领域，尤其是涉及一种真空腔体仓门开合装置。
技术介绍
1、磁控溅射镀膜设备是一种利用物理气相沉积（pvd）技术进行薄膜制备的设备，其中，真空腔体为硅片的镀膜提供了一个低压环境，并且每个真空腔体的长度方向的侧壁上均开设有矩形的过料口，并且每个真空腔体上都安装有用于输送物料的输送机构，以便于装有硅片的载板能够从一个真空腔体进入到另一个真空腔体中。
2、通常，真空腔体的顶壁上开设有安装口，安装口上通常会设置一个仓门对安装口进行封闭，仓门靠近安装口一侧的侧壁上安装有加热器，通过加热器升高真空腔体内的温度，从而使真空腔体内达到适宜工作的温度。
3、在传统方式中，对于仓门的安装，通常是通过吊装的方式将仓门运送至真空腔体上的安装口处进行安装的。但是，通过这种方式安装仓门后，在需要对加热器进行检修维护时，还需要通过吊装的方式将仓门调离真空腔体后进行检修，通常比较麻烦。
技术实现思路
1、为了能够方便对仓门上的加热器进行维护，本申请提供一种真空腔体仓门开合装
2本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种真空腔体(2)仓门开合装置，包括机架(1)和腔体(2)，所述腔体(2)安装在机架(1)上，其特征在于：所述腔体(2)的顶壁上开设有安装口，所述腔体(2)上位于安装口处还转动安装有封闭门(5)，所述机架(1)上安装有用于驱动封闭门(5)转动的开合机构(3)，所述开合机构(3)包括驱动组件(32)，所述驱动组件(32)安装在机架(1)上，所述封闭门(5)与驱动组件(32)相连，且所述封闭门(5)用于将安装口封闭，且所述封闭门(5)上用于安装加热器，所述腔体(2)上安装有保持机构，所述保持机构与封闭门(5)相连，且所述保持机构用于保持封闭门(5)与腔体(2)紧密连接
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【技术特征摘要】
1.一种真空腔体(2)仓门开合装置，包括机架(1)和腔体(2)，所述腔体(2)安装在机架(1)上，其特征在于：所述腔体(2)的顶壁上开设有安装口，所述腔体(2)上位于安装口处还转动安装有封闭门(5)，所述机架(1)上安装有用于驱动封闭门(5)转动的开合机构(3)，所述开合机构(3)包括驱动组件(32)，所述驱动组件(32)安装在机架(1)上，所述封闭门(5)与驱动组件(32)相连，且所述封闭门(5)用于将安装口封闭，且所述封闭门(5)上用于安装加热器，所述腔体(2)上安装有保持机构，所述保持机构与封闭门(5)相连，且所述保持机构用于保持封闭门(5)与腔体(2)紧密连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空腔体(2)仓门开合装置，其特征在于：所述驱动组件(32)包括开合气缸(321)和支座(322)，所述支座(322)设置在机架(1)上位于腔体(2)的一侧，所述开合气缸(321)安装在封闭门(5)上，且所述开合气缸(321)的输出端与支座(322)相连。
3.根据权利要求2所述的一种真空腔体(2)仓门开合装置，其特征在于：所述开合机构(3)还包括缓冲组件(33)，所述缓冲组件(33)包括转套(331)、推杆(332)、锁定件和解锁件，所述转套(331)转动安装在支座(322)上，所述推杆(332)沿开合气缸(321)的活塞杆的轴线方向安装在开合气缸(321)的活塞杆上，且所述推杆(332)的一端穿过转套(331)并向远离开合气缸(321)的方向延伸，且所述推杆(332)远离开合气缸(321)的一端用于与保持机构相连，所述推杆(332)上远离开合气缸(321)的一端的侧壁上安装有用于抵触转套(331)的限位板(333)，且所述限位板(333)位于转套(331)远离开合气缸(321)的一侧，所述锁定件安装在推杆(332)上，且所述转套(331)位于限位板(333)与锁定件之间，且所述锁定件用于对转套(331)远离限位板(333)的一端限位，所述解锁件安装在机架(1)上，且所述解锁件与锁定件相连。
4.根据权利要求3所述的一种真空腔体(2)仓门开合装置，其特征在于：所述锁定件包括锁定块(334)和锁定弹簧(335)，所述推杆(332)的侧壁上开设有锁定槽，所述锁定槽的轴线与推杆(332)的轴线垂直，所述锁定块(334)滑动安装在锁定槽内，且所述锁定块(334)的一端外伸出锁定槽，且所述锁定块(334)位于锁定槽外的一端的侧壁用于与转套(331)端部的侧壁抵触，所述锁定弹簧(335)安装在锁定槽内，且所述锁定弹簧(335)的一端与锁定槽的槽底壁相连，另一端与锁定块(334)位于锁定槽内的一端相连。
5.根据权利要求4所述的一种真空腔体(2)仓门开合装置，其特征在于：所述解锁件包括解锁块(336)，所述解锁块(...
【专利技术属性】
技术研发人员：申舰，袁斌，张建德，张延任，吴志伟，
申请(专利权)人：江苏阳铭互联智能系统有限公司，
类型：发明
国别省市：
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