【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体制造，特别涉及一种光罩盒套件。
技术介绍
1、随着大数据、人工智能的突飞猛进，对于算力的需求日益凸显，半导体集成电路产业实现了指数式增长。为了满足芯片微小化和低能耗的需求，需要尽量使得芯片上的电路线宽精细化。为了实现这一目标，需要进一步缩小光刻中作为母版的光罩(photo mask)上的线宽。
2、在光罩的制作过程中，需要保持极为洁净的生产环境，环境中的灰尘微粒、气体、化学溶剂等都有可能在光罩的工艺制程中或者存储过程中附着于光罩的表面，给光罩表面带来结晶等损伤。在一般的晶圆制程中，通常使用光罩盒来保存和运输光罩，以保持光罩的洁净。近年来为了生产更精细的芯片，对于光罩的洁净度要求也逐渐提高，在光罩的生产运输过程中，环境氛围中的水氧也会对光罩制程产生不利的影响，进而使得图形失真，造成芯片良率降低，因此，在光罩的运输和存储过程中需要能够隔绝外界不利氛围的光罩盒。
3、当前通常所使用的光罩盒仅仅只能隔绝外界的灰尘，却不具气密性，对于光罩运输过程中的水氧氛围，并无调控的作用，容易引起光罩表界面与外界氛围反应，不利于工艺的稳定性。
4、因此需要一种光罩盒套件，以在光罩运输过程中隔绝光罩与水氧氛围的接触。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种光罩盒套件，以在光罩运输过程中隔绝光罩与水氧氛围的接触。
2、本申请实施例提供一种光罩盒套件，包括：光罩盒，所述光罩盒包括盒体和盖体，所述盒体和盖体适配并被装配为能够开合能够密封的结构；容置
3、在一些实施例中，所述盒体朝向所述盖体的端面设置有第一密封圈，所述第一密封圈设置有凹槽；以及所述盖体朝向所述盒体的端面设置有第二密封圈，所述第二密封圈设置有与所述凹槽匹配的凸起。
4、在一些实施例中，所述凹槽槽口的宽度小于所述凹槽底部的宽度；以及所述凸起顶部的宽度大于所述凸起底部的宽度。
5、在一些实施例中，所述第一密封圈的材料包括橡胶；以及所述第二密封圈的材料包括橡胶。
6、在一些实施例中，所述过渡舱还包括：第一进气口，设置在所述过渡舱的周壁，所述第一进气口用于与惰性气体源连接；以及第一出气口，设置在所述过渡舱的周壁，所述第一出气口用于与真空泵连接。
7、在一些实施例中，所述第一气压调节装置包括：第一压力表，与所述过渡舱连接，用于测量并显示所述过渡舱内部的气压；第一进气管路，所述第一进气管路的第一端与所述第一进气口连接，所述第一进气管路的第二端与所述惰性气体源连接，以及所述第一进气管路设置有第一阀体；第一排气管路，所述第一排气管路的第一端与所述第一出气口连接，所述第一排气管路的第二端与所述真空泵连接，以及所述第一排气管路设置有第二阀体；以及第一控制器，所述第一控制器与所述第一阀体以及所述第二阀体电连接，用于控制所述第一阀体和所述第二阀体的开关。
8、在一些实施例中，所述容置腔设置有第二进气口，所述第二进气口用于与惰性气体源连接；以及所述容置腔还设置有第二出气口，所述第二出气口用于与真空泵连接。
9、在一些实施例中，所述光罩盒套件还包括第二气压调节装置，用于调节所述容置腔内的气压以及置换所述容置腔内的气体，所述第二气压调节装置包括：第二压力表，与所述容置腔连接，用于测量并显示所述容置腔内部的气压；第二进气管路，所述第二进气管路的第一端与所述第二进气口连接，所述第二进气管路的第二端与所述惰性气体源连接，以及所述第二进气管路设置有第三阀体；第二排气管路，所述第二排气管路的第一端与所述第一出气口连接，所述第二排气管路的第二端与所述真空泵连接，以及所述第二排气管路设置有第四阀体；以及第二控制器，所述第二控制器与所述第三阀体以及所述第四阀体电连接，用于控制所述第三阀体和所述第四阀体的开关。
10、在一些实施例中，所述盒体的内部以及所述盖体的内部分别连接有多个第一支撑件和多个第二支撑件，所述第一支撑件与所述多个第二支撑件匹配，以对所述光罩进行夹持。
11、在一些实施例中，所述第一支撑件与所述盒体一体连接；以及所述第二支撑件与所述盖体一体连接。
12、本申请提供的光罩盒套件的有益效果包括但不限于以下：
13、本申请提供的光罩盒套件可以通过过渡舱将处于打开状态的光罩盒内的空气排空并充入惰性气体，并将光罩盒转移至充满惰性气体的容置腔内关闭。所述光罩盒的盒体和盖体可密封连接，避免了外界的水氧氛围在所述光罩盒转移过程中进入所述光罩盒。
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1.一种光罩盒套件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光罩盒套件，其特征在于，所述盒体朝向所述盖体的端面设置有第一密封圈，所述第一密封圈设置有凹槽；以及所述盖体朝向所述盒体的端面设置有第二密封圈，所述第二密封圈设置有与所述凹槽匹配的凸起。
3.根据权利要求2所述的光罩盒套件，其特征在于，所述凹槽槽口的宽度小于所述凹槽底部的宽度；以及所述凸起顶部的宽度大于所述凸起底部的宽度。
4.根据权利要求3所述的光罩盒套件，其特征在于，所述第一密封圈的材料包括橡胶；以及所述第二密封圈的材料包括橡胶。
5.根据权利要求1所述的光罩盒套件，其特征在于，所述过渡舱还包括：
6.根据权利要求5所述的光罩盒套件，其特征在于，所述第一气压调节装置包括：
7.根据权利要求6所述的光罩盒套件，其特征在于，所述容置腔设置有第二进气口，所述第二进气口用于与惰性气体源连接；以及所述容置腔还设置有第二出气口，所述第二出气口用于与真空泵连接。
8.根据权利要求7所述的光罩盒套件，其特征在于，还包括第二气压调节装置，用于调节所述
9.根据权利要求1所述的光罩盒套件，其特征在于，所述盒体的内部以及所述盖体的内部分别连接有多个第一支撑件和多个第二支撑件，所述第一支撑件与所述多个第二支撑件匹配，以对所述光罩进行夹持。
10.根据权利要求9所述的光罩盒套件，其特征在于，所述第一支撑件与所述盒体一体连接；以及所述第二支撑件与所述盖体一体连接。
...【技术特征摘要】
1.一种光罩盒套件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光罩盒套件，其特征在于，所述盒体朝向所述盖体的端面设置有第一密封圈，所述第一密封圈设置有凹槽；以及所述盖体朝向所述盒体的端面设置有第二密封圈，所述第二密封圈设置有与所述凹槽匹配的凸起。
3.根据权利要求2所述的光罩盒套件，其特征在于，所述凹槽槽口的宽度小于所述凹槽底部的宽度；以及所述凸起顶部的宽度大于所述凸起底部的宽度。
4.根据权利要求3所述的光罩盒套件，其特征在于，所述第一密封圈的材料包括橡胶；以及所述第二密封圈的材料包括橡胶。
5.根据权利要求1所述的光罩盒套件，其特征在于，所述过渡舱还包括：
6.根据权利要求5所述的光罩盒套件，其特征在于，所述第一气压调节装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜至轩，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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