【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆加工装置，具体涉及一种ffu空气过滤器及晶圆加工设备。
技术介绍
1、在晶圆加工过程中通过采用ffu风机过滤器为晶圆制程腔体内提供干净的空气，ffu风机过滤器简称ffu，是一种自带动力，具有过滤功能的末端送风装置，能够将空气吸入，并且经过过滤之后，再将洁净的空气从出风面均匀的送出，从而达到净化空气的目的。
2、现有的ffu不具备风扇异常反馈功能，当风扇由于异常(如短路)而导致停止工作时，工作人员无法及时获知，且现有的ffu密封性不好，无法在空腔内形成静压，不利于均匀出风。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种ffu空气过滤器及晶圆加工设备，解决现有技术中ffu不具备风扇异常反馈功能和ffu密封性不好中的至少一个问题。
2、本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、在第一方面，本技术提供一种ffu空气过滤器，包括机壳，所述机壳内设有空腔，所述机壳的上表面开设有连通所述空腔的进风口，所述机壳的下表面开设有连通所述空腔的出风口，所述机壳下表面安装有高效过滤网，所述高效过滤网覆盖所述出风口，且与所述出风口密封连接，所述空腔内固定安装有与所述进风口对接的风扇以及用于检测所述风扇通电状况的电流感应开关，所述风扇与所述进风口之间密封连接。
4、在技术的一个实施例中：所述高效过滤网与所述机壳下表面之间通过气密垫密封连接。
5、在技术的一个实施例中：所述风扇与所述机壳之间通过密封胶密封连接。
6、在技术的一
7、在技术的一个实施例中：所述空腔内固定安装有ac电源端子和dc变压器，所述机壳的一侧壁上固定安装有用于调节所述风扇风速的无级调速器，所述ac电源端子与所述dc变压器之间通过第一线路电连接，所述dc变压器与所述风扇之间通过第二线路电连接，所述无级调速器电连接在所述第二线路上。
8、在技术的一个实施例中：所述电流感应开关上具有一感应孔，位于所述无级调速器与所述风扇之间的所述第二线路穿设过所述感应孔。
9、在技术的一个实施例中：所述机壳的一侧壁上固定安装有与所述风扇电连接的保险丝。
10、在技术的一个实施例中：所述机壳包括顶壁、从所述顶壁外边缘向下弯折的侧壁以及从所述侧壁下边缘向内侧弯折的底壁，所述底壁呈环状环绕在所述出风口四周，所述顶壁、所述侧壁和所述底壁围成所述空腔，所述空腔呈矩形状。
11、在技术的一个实施例中：所述高效过滤网包括固定架以及设于所述固定架内的过滤网基体，所述固定架与所述底壁之间设有气密垫，且通过螺栓固定连接，所述过滤网基体沿轴向上覆盖所述出风口。
12、在第二方面，本技术提供一种晶圆加工设备，包括晶圆制程腔体以及上述所述的ffu空气过滤器，所述晶圆制程腔体内设有晶圆加工部件，所述晶圆制程腔体顶部开设有送风口，所述ffu空气过滤器安装在所述晶圆制程腔体顶部用于通过所述送风口向所述晶圆制程腔体内部均匀送风。
13、本技术上述一个或多个实施例，至少具有如下一种或多种有益效果：本申请通过将风扇与所述进风口之间密封连接以及将高效过滤网与出风口之间密封连接，使空腔内具有足够的密封性，使后续净化空气时，空腔内能够形成静压，保证出风的均匀性。通过设置电流感应开关，能对风扇的异常进行快速反馈，及时提醒工作人员过来检查，避免ffu空气过滤器异常运行干扰到其他设备的运行。
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1.一种FFU空气过滤器，其特征在于，包括机壳，所述机壳内设有空腔，所述机壳的上表面开设有连通所述空腔的进风口，所述机壳的下表面开设有连通所述空腔的出风口，所述机壳下表面安装有高效过滤网，所述高效过滤网覆盖所述出风口，且与所述出风口密封连接，所述空腔内固定安装有与所述进风口对接的风扇以及用于检测所述风扇通电状况的电流感应开关，所述风扇与所述进风口之间密封连接。
2.根据权利要求1所述的一种FFU空气过滤器,其特征在于，所述高效过滤网与所述机壳下表面之间通过气密垫密封连接。
3.根据权利要求1所述的一种FFU空气过滤器,其特征在于，所述风扇与所述机壳之间通过密封胶密封连接。
4.根据权利要求1所述的一种FFU空气过滤器,其特征在于，所述风扇采用直流风扇。
5.根据权利要求4所述的一种FFU空气过滤器,其特征在于，所述空腔内固定安装有AC电源端子和DC变压器，所述机壳的一侧壁上固定安装有用于调节所述风扇风速的无级调速器，所述AC电源端子与所述DC变压器之间通过第一线路电连接，所述DC变压器与所述风扇之间通过第二线路电连接，所述无级调速器
6.根据权利要求5所述的一种FFU空气过滤器,其特征在于，所述电流感应开关上具有一感应孔，位于所述无级调速器与所述风扇之间的所述第二线路穿设过所述感应孔。
7.根据权利要求1所述的一种FFU空气过滤器,其特征在于，所述机壳的一侧壁上固定安装有与所述风扇电连接的保险丝。
8.根据权利要求1-7任一项所述的一种FFU空气过滤器,其特征在于，所述机壳包括顶壁、从所述顶壁外边缘向下弯折的侧壁以及从所述侧壁下边缘向内侧弯折的底壁，所述底壁呈环状环绕在所述出风口四周，所述顶壁、所述侧壁和所述底壁围成所述空腔，所述空腔呈矩形状。
9.根据权利要求8所述的一种FFU空气过滤器,其特征在于，所述高效过滤网包括固定架以及设于所述固定架内的过滤网基体，所述固定架与所述底壁之间设有气密垫，且通过螺栓固定连接，所述过滤网基体沿轴向上覆盖所述出风口。
10.一种晶圆加工设备，其特征在于，包括机柜、设于所述机柜内的晶圆制程腔体以及如权利要求1-9任一项所述的FFU空气过滤器，所述晶圆制程腔体内设有晶圆加工部件，所述晶圆制程腔体顶部开设有送风口，所述FFU空气过滤器安装在所述晶圆制程腔体顶部用于通过所述送风口向所述晶圆制程腔体内部均匀送风。
...【技术特征摘要】
1.一种ffu空气过滤器，其特征在于，包括机壳，所述机壳内设有空腔，所述机壳的上表面开设有连通所述空腔的进风口，所述机壳的下表面开设有连通所述空腔的出风口，所述机壳下表面安装有高效过滤网，所述高效过滤网覆盖所述出风口，且与所述出风口密封连接，所述空腔内固定安装有与所述进风口对接的风扇以及用于检测所述风扇通电状况的电流感应开关，所述风扇与所述进风口之间密封连接。
2.根据权利要求1所述的一种ffu空气过滤器,其特征在于，所述高效过滤网与所述机壳下表面之间通过气密垫密封连接。
3.根据权利要求1所述的一种ffu空气过滤器,其特征在于，所述风扇与所述机壳之间通过密封胶密封连接。
4.根据权利要求1所述的一种ffu空气过滤器,其特征在于，所述风扇采用直流风扇。
5.根据权利要求4所述的一种ffu空气过滤器,其特征在于，所述空腔内固定安装有ac电源端子和dc变压器，所述机壳的一侧壁上固定安装有用于调节所述风扇风速的无级调速器，所述ac电源端子与所述dc变压器之间通过第一线路电连接，所述dc变压器与所述风扇之间通过第二线路电连接，所述无级调速器电连接在所述第二线路上。
6.根据权利要求5所...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾麒文，沈佳禧，洪成都，
申请(专利权)人：苏州桔云科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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