【技术实现步骤摘要】
本技术涉及蒸镀设备，具体是一种蒸发装置。
技术介绍
1、目前，在oled的显示面板制造工艺中，蒸镀薄膜的制备是最重要的步骤，在基板上形成蒸镀薄膜常采用真空蒸镀设备，而其中，点型蒸发源以其使用及运行的便利性具有较广的应用。现有点型蒸发源主要包括蒸发源和位于蒸发源上用于承载有有机物或金属材料的坩埚，在蒸镀过程中，基板设置在蒸发源的上方，加热蒸发源，有机物或金属受热形成蒸汽，向上蒸发的蒸汽在基板上形成蒸镀薄膜。
2、现有量产的6代线有机发光二极管金属点型蒸发源，其最大容量为500cc以下，最长工艺时间为100小时以下。而最新的8.6代线有机发光二极管产线最长工艺时间需要为250小时，那目前量产的6代线有机发光二极管金属点型蒸发源就不能满足产线需求，需要通过增大容量来延长蒸镀时间，若与现有金属点型蒸发源结构相同，只简单的将现有的加热源变粗和变高一些，坩埚尺寸变大，来增加容量，那么会导致蒸发源从坩埚底部到达喷嘴的路径边长，进而导致蒸发的材料在上升的过程中容易在喷嘴出凝固聚集，严重是会导致喷嘴堵塞，若是通过增加蒸发源的加热设备的温度来放置堵塞，则会导致喷出的材料温度过高，导致基板温度过高。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种蒸发装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种蒸发装置，包括坩埚主体，所述坩埚主体上端开口处设有喷嘴主体，所述坩埚主体外侧设有加热部；
4、所述喷嘴主体一端插接到所述
5、作为本技术进一步的方案：所述坩埚主体1为单层或多层结构，所述坩埚主体的直径为85-95mm,高度为245-255mm。
6、作为本技术进一步的方案：所述坩埚主体包括内层坩埚、外层坩埚，所述外层坩埚在靠近所述扩散板的位置设置有环形断层。
7、作为本技术进一步的方案：所述扩散板多层结构，所述扩散板上设有扩散孔，多层所述扩散板上的扩散孔的孔径由远离所述顶部反射板的一端向靠近所述顶部反射板的一端逐渐变小。
8、作为本技术进一步的方案：所述加热部包括设置所述坩埚主体外侧的第一加热部、第二加热部，所述第一加热部位于所述坩埚主体的中下部，所述第二加热部位于所述坩埚主体的上部。
9、作为本技术进一步的方案：所述第一加热部的高度为100-115mm，所述第二加热部的高度为50-65mm，所述第一加热部、第二加热部间隙为25-35mm。
10、作为本技术进一步的方案：所述坩埚主体外侧设有保温层，所述保温层包括第一侧反射板、第二侧反射板以及设置于所述第一侧反射板、第二侧反射板下端的底部反射板，所述第一侧反射板位于所述第二侧反射板内部，所述第一侧反射板上设有连接环，所述连接环为陶瓷结构，所述加热部通过连接环连接于所述第一侧反射板内部。
11、作为本技术进一步的方案：所述第一侧反射板内部上设有第一通孔，所述第二侧反射板底部设有第二通孔，所述第一侧反射板、第二侧反射板的顶部设有反射盖板，所述第一通孔、第二通孔以及第一侧反射板、第二侧反射板的顶部与反射盖板之间的间隙形成排气流通路径。
12、作为本技术进一步的方案：所述第二侧反射板外侧包裹有冷却水套，所述冷却水套内设冷却水道或冷却水管以及用于循环冷却水的进水口、出水口。
13、作为本技术进一步的方案：所述坩埚主体与所述加热部可拆卸连接，所述加热部下方设有底座法兰，所述底座法兰上设有与所述冷却水套连通的冷却线，所述加热部底部设有底部热电偶，所述底座法兰上设有与所述热电偶连通的电力馈通以及与电力馈通连接的电源连接器。
14、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
15、1、本申请通过在坩埚外侧设有两端加热丝，底部的加热丝用于加热时材料蒸发，上部的加热丝用于保持蒸发材料的温度，防止蒸发材料在喷嘴出凝固聚集，此外，本申请在喷嘴上端还设有反射板，用于对喷嘴进行保温，降低喷嘴与外部环境之间的热交换，降低喷嘴的降温，也可以进一步的避免材料在喷嘴出凝固，进而可以增加坩埚的尺寸以增加蒸发材料的容量，增加了设备单次工作时长，同时还避免了喷嘴堵塞的问题；
16、2、本申请通过在加热部外侧设置有两层保温层，进而避免了加热丝的热量外流，提高了能量的使用效率，也不会导致坩埚周围温度上升过高，此外，还在保温层上设置有通孔，与反射盖板形成气体路径，用于排出加热丝产生的气体。
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1.一种蒸发装置，包括坩埚主体(1)，其特征在于，所述坩埚主体(1)上端开口处设有喷嘴主体(4)，所述坩埚主体(1)外侧设有加热部；
2.根据权利要求1所述的一种蒸发装置，其特征在于，所述坩埚主体(1)为单层或多层结构，所述坩埚主体(1)的直径为85-95mm,高度为245-255mm。
3.根据权利要求1所述的一种蒸发装置，其特征在于，所述坩埚主体(1)包括内层坩埚(2)、外层坩埚(3)，所述外层坩埚(3)在靠近所述扩散板(6)的位置设置有环形断层。
4.根据权利要求1所述的一种蒸发装置，其特征在于，所述扩散板(6)多层结构，所述扩散板(6)上设有扩散孔(7)，多层所述扩散板(6)上的扩散孔(7)的孔径由远离所述顶部反射板(9)的一端向靠近所述顶部反射板(9)的一端逐渐变小。
5.根据权利要求1所述的一种蒸发装置，其特征在于，所述加热部包括设置所述坩埚主体(1)外侧的第一加热部(10)、第二加热部(11)，所述第一加热部(10)位于所述坩埚主体(1)的中下部，所述第二加热部(11)位于所述坩埚主体(1)的上部。
6.根
7.根据权利要求1所述的一种蒸发装置，其特征在于，所述坩埚主体(1)外侧设有保温层，所述保温层包括第一侧反射板(13)、第二侧反射板(14)以及设置于所述第一侧反射板(13)、第二侧反射板(14)下端的底部反射板(19)，所述第一侧反射板(13)位于所述第二侧反射板(14)内部，所述第一侧反射板(13)上设有连接环(17)，所述连接环(17)为陶瓷结构，所述加热部通过连接环(17)连接于所述第一侧反射板(13)内部。
8.根据权利要求7所述的一种蒸发装置，其特征在于，所述第一侧反射板(13)内部上设有第一通孔(15)，所述第二侧反射板(14)底部设有第二通孔(16)，所述第一侧反射板(13)、第二侧反射板(14)的顶部设有反射盖板(8)，所述第一通孔(15)、第二通孔(16)以及第一侧反射板(13)、第二侧反射板(14)的顶部与反射盖板(8)之间的间隙形成排气流通路径。
9.根据权利要求7所述的一种蒸发装置，其特征在于，所述第二侧反射板(14)外侧包裹有冷却水套(18)，所述冷却水套(18)内设冷却水道或冷却水管以及用于循环冷却水的进水口、出水口。
10.根据权利要求9所述的一种蒸发装置，其特征在于，所述坩埚主体(1)与所述加热部可拆卸连接，所述加热部下方设有底座法兰(23)，所述底座法兰(23)上设有与所述冷却水套(18)连通的冷却线(24)，所述加热部底部设有底部热电偶(20)，所述底座法兰(23)上设有与所述热电偶(20)连通的电力馈通(21)以及与电力馈通(21)连接的电源连接器(22)。
...【技术特征摘要】
1.一种蒸发装置，包括坩埚主体(1)，其特征在于，所述坩埚主体(1)上端开口处设有喷嘴主体(4)，所述坩埚主体(1)外侧设有加热部；
2.根据权利要求1所述的一种蒸发装置，其特征在于，所述坩埚主体(1)为单层或多层结构，所述坩埚主体(1)的直径为85-95mm,高度为245-255mm。
3.根据权利要求1所述的一种蒸发装置，其特征在于，所述坩埚主体(1)包括内层坩埚(2)、外层坩埚(3)，所述外层坩埚(3)在靠近所述扩散板(6)的位置设置有环形断层。
4.根据权利要求1所述的一种蒸发装置，其特征在于，所述扩散板(6)多层结构，所述扩散板(6)上设有扩散孔(7)，多层所述扩散板(6)上的扩散孔(7)的孔径由远离所述顶部反射板(9)的一端向靠近所述顶部反射板(9)的一端逐渐变小。
5.根据权利要求1所述的一种蒸发装置，其特征在于，所述加热部包括设置所述坩埚主体(1)外侧的第一加热部(10)、第二加热部(11)，所述第一加热部(10)位于所述坩埚主体(1)的中下部，所述第二加热部(11)位于所述坩埚主体(1)的上部。
6.根据权利要求5所述的一种蒸发装置，其特征在于，所述第一加热部(10)的高度为100-115mm，所述第二加热部(11)的高度为50-65mm，所述第一加热部(10)、第二加热部(11)间隙为25-35mm。
7.根据权利要求1所述的一种蒸发装置，其特征在于，所述坩埚主体(1)外侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹景博，金明洙，许昌伟，尹春来，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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