【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种助力翻盖机构，尤其涉及一种真空镀膜设备的助力翻盖机构。
技术介绍
1、目前，半导体、光伏产业的生产设备与之俱增，为追求纯净、超薄的化合物薄膜，真空镀膜设备成为研发的热点。小至高校实验室，大至企业生产线，大量的真空镀膜设备成为研发更加高效的半导体、光伏器件不可或缺的重要设备。真空镀膜设备由过渡腔体、工艺腔体、载盘、腔内载盘传动机构、靶材坩埚、真空管路、工艺气路等模块组成，通过各个模块之间的协同作用进行生产。由于镀膜的过程中，靶材热蒸发产生的分子将不可避免地附着在腔内，因此，真空镀膜设备需要定时清理腔室。目前，真空镀膜设备的主要腔体设计方式为腔室与上盖分体，通过密封圈进行密封，以便于开盖进行腔室清理以及靶材和载板安装。
2、现有的真空镀膜设备通常采用手动翻盖的方式，即通过人工手动开盖，以实现对真空腔体的维护和检修。这种方式劳动强度大，效率低，且容易发生安全事故。同时，人力开盖的方式也存在安全隐患，如果上盖突然坠落，可能会对操作人员造成伤害。刚性支撑部件虽能够支撑上盖，但是在合盖时，刚性支撑部件需要脱离上盖，后续合盖仍然需要人力支撑，大大增加了开盖的危险性。此外，现有的真空镀膜设备在开盖过程中，无法保证上盖的稳定性和可靠性，容易发生晃动或位移，影响设备的真空度和薄膜的质量。因此，现有的真空镀膜设备在翻盖方面存在较大的改进空间。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题是提供一种真空镀膜设备的助力翻盖机构，能够大大减轻操作人员的劳动强度，能够防止上盖砸落
2、本专利技术为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种真空镀膜设备的助力翻盖机构，包括上盖，其中，所述上盖安装在真空镀膜设备的腔体上，所述上盖上设置有固定座，所述腔体上设置有支撑座，所述固定座和支撑座通过转轴相连，使得上盖可围绕腔体翻转；所述腔体的两侧对称设置有支撑杆和氮气弹簧，所述氮气弹簧的一端安装在腔体上，另一端安装在上盖外侧的安装座上，所述支撑杆的一端安装在腔体上，另一端设有限位滑槽；翻盖状态下，所述支撑杆通过限位滑槽与上盖侧面的第二固定螺栓相连，所述支撑杆和氮气弹簧相互平行；合盖状态下，所述上盖和腔体通过第三固定螺栓锁紧，所述支撑杆和氮气弹簧位于同一直线。
3、进一步地，所述转轴、固定销与固定座、支撑座的配合均为间隙配合；所述上盖和腔体之间设置有密封圈；所述转轴与固定座的配合孔为腰孔，且预留的单侧间隙大于密封圈的压缩量；所述固定座与固定销的配合孔为腰孔，用于在开盖与合盖过程中手动调整上盖位置。
4、进一步地，所述固定座的四周设置第一固定螺栓并采用腰孔作为配合孔，所述固定座通过第一固定螺栓固定在上盖上；所述固定座的中部设有两个上盖压紧螺钉，所述上盖压紧螺钉与固定座之间为螺纹连接，且所述上盖压紧螺钉与固定座之间配有压紧螺母，所述上盖压紧螺钉和上盖相抵接。
5、进一步地，所述转轴外套设有转轴衬套。
6、进一步地，所述转轴衬套的材质为自润滑材质。
7、进一步地，翻盖状态下，所述固定座和支撑座通过固定销进行锁定，所述固定销中插入有开口销。
8、进一步地，合盖状态下，所述支撑杆通过支撑杆胶座固定在腔体上。
9、进一步地，所述支撑杆胶座的材质为橡胶或聚氨酯。
10、进一步地，所述支撑座的数量为两个，焊接在腔体，焊接位置位于腔体顶部外延处。
11、进一步地，所述上盖上远离固定座的一侧设置有把手。
12、本专利技术对比现有技术有如下的有益效果：1、减轻劳动强度：本专利技术采用氮气弹簧助力翻盖和合盖，通过氮气弹簧的弹力，可以在翻转盖时提供助力，在合盖时提供支撑力，大大减轻了人工开盖的劳动强度，提高了工作效率。2、提高安全性：本专利技术在翻转盖翻转至最大行程后，通过转轴连接块上的固定销和支撑杆对上盖进行固定，防止上盖砸落，避免了现有技术中上盖突然坠落对操作人员造成伤害的安全隐患。3、保证稳定性：本专利技术通过转轴与支撑座和固定座的间隙配合，实现了上盖位置的可调节性，避免了现有技术中上盖在翻盖过程中容易发生的轻微晃动或位移，保证了设备的真空度和薄膜的质量。4、方便维护和检修：本专利技术的翻盖设计，使得真空腔体的维护和检修更加方便快捷，提高了设备的维护效率，延长了设备的使用寿命。5、适用范围广：本专利技术的技术方案可以广泛应用于各种需要翻盖和合盖的设备，具有广泛的应用前景。
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1.一种真空镀膜设备的助力翻盖机构，包括上盖（1），其特征在于，所述上盖（1）安装在真空镀膜设备的腔体（13）上，所述上盖（1）上设置有固定座（2），所述腔体（13）上设置有支撑座（6），所述固定座（2）和支撑座（6）通过转轴（5）相连，使得上盖（1）可围绕腔体（13）翻转；所述腔体（13）的两侧对称设置有支撑杆（10）和氮气弹簧（12），所述氮气弹簧（12）的一端安装在腔体（13）上，另一端安装在上盖（1）外侧的安装座（16）上，所述支撑杆（10）的一端安装在腔体（13）上，另一端设有限位滑槽（17）；翻盖状态下，所述支撑杆（10）通过限位滑槽（17）与上盖（1）侧面的第二固定螺栓（11）相连，所述支撑杆（10）和氮气弹簧（12）相互平行；合盖状态下，所述上盖（1）和腔体（13）通过第三固定螺栓（14）锁紧，所述支撑杆（10）和氮气弹簧（12）位于同一直线。
2.如权利要求1所述的真空镀膜设备的助力翻盖机构，其特征在于，所述转轴（5）、固定销（7）与固定座（2）、支撑座（6）的配合均为间隙配合；所述上盖（1）和腔体（13）之间设置有密封圈（20）；所述转轴（5）与固
3.如权利要求2所述的真空镀膜设备的助力翻盖机构，其特征在于，所述固定座（2）的四周设置第一固定螺栓（3）并采用腰孔作为配合孔，所述固定座（2）通过第一固定螺栓（3）固定在上盖（1）上；所述固定座（2）的中部设有两个上盖压紧螺钉（18），所述上盖压紧螺钉（18）与固定座（2）之间为螺纹连接，且所述上盖压紧螺钉（18）与固定座（2）之间配有压紧螺母（19），所述上盖压紧螺钉（18）和上盖（1）相抵接。
4.如权利要求2所述的真空镀膜设备的助力翻盖机构，其特征在于，所述转轴（5）外套设有转轴衬套（8）。
5.如权利要求4所述的真空镀膜设备的助力翻盖机构，其特征在于，所述转轴衬套（8）的材质为自润滑材质。
6.如权利要求1所述的真空镀膜设备的助力翻盖机构，其特征在于，翻盖状态下，所述固定座（2）和支撑座（6）通过固定销（7）进行锁定，所述固定销（7）中插入有开口销（4）。
7.如权利要求1所述的真空镀膜设备的助力翻盖机构，其特征在于，合盖状态下，所述支撑杆（10）通过支撑杆胶座（9）固定在腔体（13）上。
8.如权利要求7所述的真空镀膜设备的助力翻盖机构，其特征在于，所述支撑杆胶座（9）的材质为橡胶或聚氨酯。
9.如权利要求1所述的真空镀膜设备的助力翻盖机构，其特征在于，所述支撑座（6）的数量为两个，焊接在腔体（13），焊接位置位于腔体顶部外延处。
10.如权利要求1所述的真空镀膜设备的助力翻盖机构，其特征在于，所述上盖（1）上远离固定座（2）的一侧设置有把手（15）。
...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备的助力翻盖机构，包括上盖（1），其特征在于，所述上盖（1）安装在真空镀膜设备的腔体（13）上，所述上盖（1）上设置有固定座（2），所述腔体（13）上设置有支撑座（6），所述固定座（2）和支撑座（6）通过转轴（5）相连，使得上盖（1）可围绕腔体（13）翻转；所述腔体（13）的两侧对称设置有支撑杆（10）和氮气弹簧（12），所述氮气弹簧（12）的一端安装在腔体（13）上，另一端安装在上盖（1）外侧的安装座（16）上，所述支撑杆（10）的一端安装在腔体（13）上，另一端设有限位滑槽（17）；翻盖状态下，所述支撑杆（10）通过限位滑槽（17）与上盖（1）侧面的第二固定螺栓（11）相连，所述支撑杆（10）和氮气弹簧（12）相互平行；合盖状态下，所述上盖（1）和腔体（13）通过第三固定螺栓（14）锁紧，所述支撑杆（10）和氮气弹簧（12）位于同一直线。
2.如权利要求1所述的真空镀膜设备的助力翻盖机构，其特征在于，所述转轴（5）、固定销（7）与固定座（2）、支撑座（6）的配合均为间隙配合；所述上盖（1）和腔体（13）之间设置有密封圈（20）；所述转轴（5）与固定座（2）的配合孔为腰孔，且预留的单侧间隙大于密封圈（20）的压缩量；所述固定座（2）与固定销（7）的配合孔为腰孔，用于在开盖与合盖过程中手动调整上盖（1）位置。
3.如权利要求2所述的真空镀膜设备的助力翻盖机构，其特征在于，所述固定座（2）的四周设置第一固定螺栓...
【专利技术属性】
技术研发人员：安可师，魏宇杰，徐钧，吴宾宾，刘伟，李仁龙，闻益，
申请(专利权)人：浙江晟霖益嘉科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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