一种方便清洗的蒸镀机转盘制造技术

本技术涉及蒸镀机转盘技术领域，具体为一种方便清洗的蒸镀机转盘，包括转盘主体和装配内圈，所述装配内圈一体设置在转盘主体中央，所述转盘主体外侧套设装配有拓展环一，所述拓展环一外侧套设装配有拓展环二，所述拓展环二、拓展环一和转盘主体顶面和底面齐平，所述拓展环一和拓展环二顶部均设置有防着套，所述防着套底部固定有装配螺销，所述装配螺销插设装配在拓展环二和拓展环一内部。本技术便于在使用前后进行拓展装配和拆卸分离，使得后续清洁更加便捷高效。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及蒸镀机转盘，具体为一种方便清洗的蒸镀机转盘。

技术介绍

1、蒸镀机是.种常用的表面外理设备，其主要原理是利用高温下的物质蒸发并沉积在待处理物体表面，形成一层薄膜，应用广泛，是半导体芯片制造行业常用的真空镀膜设备，其采用电子束加热的方式使镀膜材料蒸发，并成为具有一定能量的气态粒子，蒸发的气态粒子通过基本上无碰撞的直线运动方式传输到基底，然后在基底上凝聚成金属薄膜，在使用时需要定期进行清洁转盘，以便保障其良好使用；

2、对此，中国申请专利号：cn202223082421.2，公开了一种便于清洗的蒸镀机转盘，包括转盘本体、阵列开设在所述转盘本体上的槽体，还包括和所述槽体内壁接触的防着套、沿所述防着套顶部环形设置且和所述槽体顶部接触的闭合环圈，所述防着套包括散热部以及耐热部，所述散热部的外壁和所述槽体内壁接触，所述散热部的内壁和所述耐热部固定连接；

3、然而，现有蒸镀机转盘不便根据需要进行拆卸分离清洁清洗，影响使用效率；

4、因此，为了解决上述问题，提出一种方便清洗的蒸镀机转盘。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种方便清洗的蒸镀机转盘，以解决上述
技术介绍
中提出的现有蒸镀机转盘不便根据需要进行拆卸分离清洁清洗，影响使用效率的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种方便清洗的蒸镀机转盘，包括转盘主体和装配内圈，所述装配内圈一体设置在转盘主体中央，所述转盘主体外侧套设装配有拓展环一，所述拓展环一外侧套设装配有拓展环二，所述拓展环二、拓展环一和转盘主体顶面和底面齐平，所述拓展环一和拓展环二顶部均设置有防着套，所述防着套底部固定有装配螺销，所述装配螺销插设装配在拓展环二和拓展环一内部。

3、优选的，所述拓展环二和拓展环一内部均开设有与装配螺销对应的装配插孔，所述装配插孔均匀等距分别在拓展环二和拓展环一内部。

4、优选的，所述转盘主体外侧、拓展环一外侧和拓展环二外侧均开设有装配凸槽，所述拓展环一内侧和拓展环二内侧开设有与装配凸槽对应的装配凹槽，且转盘主体与拓展环一和拓展环一与拓展环二之间均填充有垫圈套。

5、优选的，所述装配凸槽和装配凹槽对接处通过插设紧固螺栓固定，且装配凸槽和装配凹槽内部均开设有与紧固螺栓对应的紧固插孔。

6、优选的，所述紧固螺栓两端封堵有隐藏盖，所述隐藏盖两侧一体设置有凸卡，所述隐藏盖和凸卡卡设在装配凸槽和装配凹槽内壁，所述装配凸槽和装配凹槽内壁开设有与凸卡对应的卡槽。

7、优选的，所述装配内圈内部插设有辅助圈筒一，所述辅助圈筒一内部插设有辅助圈筒二，所述装配内圈底部、辅助圈筒一底部和辅助圈筒二底部通过安装螺栓贯穿插设装配。

8、优选的，所述装配内圈上部、辅助圈筒一上部和辅助圈筒二上部开设有与安装螺栓对应的螺栓横槽和螺栓纵槽，所述装配内圈内壁、辅助圈筒一内壁和辅助圈筒二内壁均胶粘有防滑垫套。

9、与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术便于在使用前后进行拓展装配和拆卸分离，使得后续清洁更加便捷高效；

10、1、本技术通过设置有拓展环一和拓展环二，便于对转盘主体外侧的拓展装配，以此便于根据需要进行拓展装配，使得使用更加便捷，同时也便于拆卸清理，通过此设计，提高了蒸镀机转盘的便捷性和实用性。

11、2、本技术通过设置有防着套和装配螺销，在装配螺销的均匀开设下，便于对防着套的装配拆卸，使得操作使用更加便捷，便于根据需要进行装配使用，通过此设计，提高了蒸镀机转盘的便捷性和实用性。

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【技术保护点】

1.一种方便清洗的蒸镀机转盘，包括转盘主体(100)和装配内圈(110)，所述装配内圈(110)一体设置在转盘主体(100)中央，其特征在于：所述转盘主体(100)外侧套设装配有拓展环一(200)，所述拓展环一(200)外侧套设装配有拓展环二(210)，所述拓展环二(210)、拓展环一(200)和转盘主体(100)顶面和底面齐平，所述拓展环一(200)和拓展环二(210)顶部均设置有防着套(300)，所述防着套(300)底部固定有装配螺销(310)，所述装配螺销(310)插设装配在拓展环二(210)和拓展环一(200)内部。

2.根据权利要求1所述的一种方便清洗的蒸镀机转盘，其特征在于：所述拓展环二(210)和拓展环一(200)内部均开设有与装配螺销(310)对应的装配插孔(311)，所述装配插孔(311)均匀等距分别在拓展环二(210)和拓展环一(200)内部。

3.根据权利要求1所述的一种方便清洗的蒸镀机转盘，其特征在于：所述转盘主体(100)外侧、拓展环一(200)外侧和拓展环二(210)外侧均开设有装配凸槽(201)，所述拓展环一(200)内侧和拓展环二(210)内侧开设有与装配凸槽(201)对应的装配凹槽(202)，且转盘主体(100)与拓展环一(200)和拓展环一(200)与拓展环二(210)之间均填充有垫圈套(220)。

4.根据权利要求3所述的一种方便清洗的蒸镀机转盘，其特征在于：所述装配凸槽(201)和装配凹槽(202)对接处通过插设紧固螺栓(203)固定，且装配凸槽(201)和装配凹槽(202)内部均开设有与紧固螺栓(203)对应的紧固插孔(204)。

5.根据权利要求4所述的一种方便清洗的蒸镀机转盘，其特征在于：所述紧固螺栓(203)两端封堵有隐藏盖(205)，所述隐藏盖(205)两侧一体设置有凸卡(206)，所述隐藏盖(205)和凸卡(206)卡设在装配凸槽(201)和装配凹槽(202)内壁，所述装配凸槽(201)和装配凹槽(202)内壁开设有与凸卡(206)对应的卡槽(207)。

6.根据权利要求1所述的一种方便清洗的蒸镀机转盘，其特征在于：所述装配内圈(110)内部插设有辅助圈筒一(400)，所述辅助圈筒一(400)内部插设有辅助圈筒二(410)，所述装配内圈(110)底部、辅助圈筒一(400)底部和辅助圈筒二(410)底部通过安装螺栓(420)贯穿插设装配。

7.根据权利要求6所述的一种方便清洗的蒸镀机转盘，其特征在于：所述装配内圈(110)上部、辅助圈筒一(400)上部和辅助圈筒二(410)上部开设有与安装螺栓(420)对应的螺栓横槽(421)和螺栓纵槽(422)，所述装配内圈(110)内壁、辅助圈筒一(400)内壁和辅助圈筒二(410)内壁均胶粘有防滑垫套(430)。

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【技术特征摘要】

1.一种方便清洗的蒸镀机转盘，包括转盘主体(100)和装配内圈(110)，所述装配内圈(110)一体设置在转盘主体(100)中央，其特征在于：所述转盘主体(100)外侧套设装配有拓展环一(200)，所述拓展环一(200)外侧套设装配有拓展环二(210)，所述拓展环二(210)、拓展环一(200)和转盘主体(100)顶面和底面齐平，所述拓展环一(200)和拓展环二(210)顶部均设置有防着套(300)，所述防着套(300)底部固定有装配螺销(310)，所述装配螺销(310)插设装配在拓展环二(210)和拓展环一(200)内部。

2.根据权利要求1所述的一种方便清洗的蒸镀机转盘，其特征在于：所述拓展环二(210)和拓展环一(200)内部均开设有与装配螺销(310)对应的装配插孔(311)，所述装配插孔(311)均匀等距分别在拓展环二(210)和拓展环一(200)内部。

3.根据权利要求1所述的一种方便清洗的蒸镀机转盘，其特征在于：所述转盘主体(100)外侧、拓展环一(200)外侧和拓展环二(210)外侧均开设有装配凸槽(201)，所述拓展环一(200)内侧和拓展环二(210)内侧开设有与装配凸槽(201)对应的装配凹槽(202)，且转盘主体(100)与拓展环一(200)和拓展环一(200)与拓展环二(210)之间均填充有垫圈套(220)。

4.根据权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：李凯文，黄胜蓝，谈健，
申请(专利权)人：湘能华磊光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：