一种氨气供给系统技术方案

技术编号:43694824 阅读:10 留言:0更新日期:2024-12-18 21:11
本申请属于氨气供给技术领域,具体为一种氨气供给系统,包括液压钢瓶,液压钢瓶的输出端通过供液阀组连接水浴蒸发器的液氨输入端,水浴蒸发器的氨气输出端连接调压阀组,调压阀组的输出端连接气耗仪,气耗仪的输出端连接加热稳压罐的输入端;本申请采用设置水浴蒸发器配合调压阀组以及加热稳压罐的方式,设计了的氨气供给系统,能够将液态的氨转化为气态的氨,同时,能够根据气耗仪的反馈来调整供给的氨气的压力,以保证发动机对氨气压力值的需要,解决了目前没有将液氨转化为氨气的供给系统的问题。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于氨气供给,具体为一种氨气供给系统


技术介绍

1、氨气是工业上常用的物质,在半导体产业、液晶面板产业或光电产业都需使用到氨气,而目前的氨气供给系统都是直接输送气态的氨,其压力值调节比较方便。但是气态的氨气体积大,从而导致氨气供给系统中储存的氨气的量比较少。因此,如果使用液态的氨,之后在使用前将液态的氨转化为氨气,能够提高氨气供给系统中氨的储存量,从而减少更换氨源的次数。


技术实现思路

1、本申请的目的主要是针对现有技术的缺点,采用设置水浴蒸发器配合调压阀组以及加热稳压罐的方式,设计了一种氨气供给系统,能够将液态的氨转化为气态的氨,同时,能够根据气耗仪的反馈来调整供给的氨气的压力,以保证发动机对氨气压力值的需要,解决了目前没有将液氨转化为氨气的供给系统的问题。

2、为了实现上述目的,本申请采用的技术方案是:

3、一种氨气供给系统,包括液压钢瓶,所述液压钢瓶的输出端通过供液阀组连接水浴蒸发器的液氨输入端,所述水浴蒸发器的氨气输出端连接调压阀组,所述调压阀组的输出端连接气耗仪的氨气输入端,控制系统的输出端信号连接所述调压阀组,控制系统的输入端信号连接所述气耗仪的信号输出端,所述气耗仪的氨气输出端连接加热稳压罐的输入端。

4、优选的,所述供液阀组包括第一供液截止阀、压力表截止阀、供液压力表、第二供液截止阀,所述第一供液截止阀的输入端连接所述液压钢瓶的输出端,所述第一供液截止阀的输出端连接所述供液压力表的输入端,所述供液压力表的输出端连接所述第二供液截止阀,所述第二供液截止阀的输出端连接所述水浴蒸发器的液氨输入端。

5、优选的,所述水浴蒸发器包括蒸发器本体,所述蒸发器本体内设有液氨容纳腔和加热容纳腔,所述蒸发器本体上设有加热液进口、加热液出口、液氨进口、氨气出口、排空阀、第一泄压阀,所述液氨容纳腔位于所述加热容纳腔内,所述液氨进口和氨气出口均通过贯到所述加热容纳腔内部的第一管道连通所述液氨容纳腔的内部,所述排空阀连通所述液氨容纳腔的底部,所述第一泄压阀连通所述液氨容纳腔的顶部,所述加热液进口连通所述加热容纳腔的内底部,所述加热液出口连通所述加热容纳腔的内顶部。

6、优选的,所述加热液进口处设有加液截止阀,所述蒸发器本体上设有温度表,所述温度表用于检测所述加热容纳腔内的温度。

7、优选的,所述调压阀组包括直通气路、第一通气路、第二通气路,所述水浴蒸发器的氨气输出端设有第一四通管,所述第一四通管的输入端连通所述水浴蒸发器的氨气输出端,所述第一四通管的第一输出端连通所述直通气路的输入端,所述第一四通管的第二输出端连通所述第一通气路的输入端,所述第一四通管的第三输出端连通所述第二通气路的输入端,第二四通管的第一输入端连通所述直通气路的输出端,所述第二四通管的第二输入端连通所述第一通气路的输出端,所述第二四通管的第三输入端连通所述第二通气路的输出端,所述第二四通管的输出端连通所述气耗仪,所述直通气路的两端之间设置第一截止阀,所述第一通气路的两端之间设置第二截止阀,所述第二通气路的两端之间设置第三截止阀,所述第一通气路的两端之间和第二通气路的两端之间均设有调压阀。

8、优选的,所述第一四通管的输入端设有氨气粗过滤器,所述第二四通管的输出端设有氨气精过滤器。

9、优选的,所述第一通气路的两端之间和第二通气路的两端之间均设有第二泄压阀、压力检测表。

10、优选的,所述加热稳压罐包括主罐、缓存罐,所述主罐内通过第二管道连通所述缓存罐的内部,所述主罐的输入端连通所述气耗仪的输出端,所述主罐的输出端连通三分管的第一输入端,所述缓存罐的输出端连接所述三分管的第二输入端,所述三分管的输出端上设有开关阀,所述三分管的第一输入端和第二输入端上均设有第一流量阀,所述第二管道的两端之间设有第二流量阀。

11、与现有技术相比,本申请具有如下有益效果:

12、1、本申请采用设置水浴蒸发器配合调压阀组以及加热稳压罐的方式,设计了一种氨气供给系统,能够将液态的氨转化为气态的氨,同时,能够根据气耗仪的反馈来调整供给的氨气的压力,以保证发动机对氨气压力值的需要,解决了目前没有将液氨转化为氨气的供给系统的问题。

13、2、本申请通过供液压力表检测输入到液态氨的压力,第一供液截止阀和第二供液截止阀来控制液压钢瓶中输出的液态氨,同时,第一供液截止阀和第二供液截止阀的设置方便更换供液压力表。

14、3、本申请中液态的氨进入到液氨容纳腔内,加热热从加热液进口处进入到加热容纳腔内,为液氨容纳腔内的液态氨加热,使得液态氨变成氨气从氨气出口处进入到调压阀组内,其中,排空阀的设置,主要是在清洁水浴蒸发器时将液氨容纳腔内的物质排净,而第一泄压阀的设置是在液氨容纳腔内压力过大时进行泄压。

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【技术保护点】

1.一种氨气供给系统,其特征在于,包括液压钢瓶(1),所述液压钢瓶(1)的输出端通过供液阀组连接水浴蒸发器的液氨输入端,所述水浴蒸发器的氨气输出端连接调压阀组,所述调压阀组的输出端连接气耗仪(2)的氨气输入端,控制系统的输出端信号连接所述调压阀组,控制系统的输入端信号连接所述气耗仪的信号输出端,所述气耗仪(2)的氨气输出端连接加热稳压罐的输入端。

2.根据权利要求1所述的一种氨气供给系统,其特征在于,所述供液阀组包括第一供液截止阀(3)、供液压力表(5)、第二供液截止阀(6),所述第一供液截止阀(3)的输入端连接所述液压钢瓶(1)的输出端,所述第一供液截止阀(3)的输出端连接所述供液压力表(5)的输入端,所述供液压力表(5)的输出端连接所述第二供液截止阀(6),所述第二供液截止阀(6)的输出端连接所述水浴蒸发器的液氨输入端。

3.根据权利要求1所述的一种氨气供给系统,其特征在于,所述水浴蒸发器包括蒸发器本体(7),所述蒸发器本体(7)内设有液氨容纳腔(8)和加热容纳腔(9),所述蒸发器本体(7)上设有加热液进口、加热液出口、液氨进口、氨气出口、排空阀(12)、第一泄压阀(11),所述液氨容纳腔(8)位于所述加热容纳腔(9)内,所述液氨进口和氨气出口均通过贯到所述加热容纳腔(9)内部的第一管道(10)连通所述液氨容纳腔(8)的内部,所述排空阀(12)连通所述液氨容纳腔(8)的底部,所述第一泄压阀(11)连通所述液氨容纳腔(8)的顶部,所述加热液进口连通所述加热容纳腔(9)的内底部,所述加热液出口连通所述加热容纳腔(9)的内顶部。

4.根据权利要求3所述的一种氨气供给系统,其特征在于,所述加热液进口处设有加液截止阀(13),所述蒸发器本体(7)上设有温度表(14),所述温度表(14)用于检测所述加热容纳腔(9)内的温度。

5.根据权利要求1所述的一种氨气供给系统,其特征在于,所述调压阀组包括直通气路(15)、第一通气路(16)、第二通气路(17),所述水浴蒸发器的氨气输出端设有第一四通管(18),所述第一四通管(18)的输入端连通所述水浴蒸发器的氨气输出端,所述第一四通管(18)的第一输出端连通所述直通气路(15)的输入端,所述第一四通管(18)的第二输出端连通所述第一通气路(16)的输入端,所述第一四通管(18)的第三输出端连通所述第二通气路(17)的输入端,第二四通管(19)的第一输入端连通所述直通气路(15)的输出端,所述第二四通管(19)的第二输入端连通所述第一通气路(16)的输出端,所述第二四通管(19)的第三输入端连通所述第二通气路(17)的输出端,所述第二四通管(19)的输出端连通所述气耗仪(2),所述直通气路(15)的两端之间设置第一截止阀(20),所述第一通气路(16)的两端之间设置第二截止阀(21),所述第二通气路(17)的两端之间设置第三截止阀(30),所述第一通气路(16)的两端之间和第二通气路(17)的两端之间均设有调压阀(22)。

6.根据权利要求5所述的一种氨气供给系统,其特征在于,所述第一四通管(18)的输入端设有氨气粗过滤器,所述第二四通管(19)的输出端设有氨气精过滤器。

7.根据权利要求5所述的一种氨气供给系统,其特征在于,所述第一通气路(16)的两端之间和第二通气路(17)的两端之间均设有第二泄压阀(23)、压力检测表(24)。

8.根据权利要求1所述的一种氨气供给系统,其特征在于,所述加热稳压罐包括主罐(25)、缓存罐(26),所述主罐(25)内通过第二管道(4)连通所述缓存罐(26)的内部,所述主罐(25)的输入端连通所述气耗仪(2)的输出端,所述主罐(25)的输出端连通三分管(27)的第一输入端,所述缓存罐(26)的输出端连接所述三分管(27)的第二输入端,所述三分管(27)的输出端上设有开关阀(28),所述三分管(27)的第一输入端和第二输入端上均设有第一流量阀(29),所述第二管道(4)的两端之间设有第二流量阀(31)。

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【技术特征摘要】

1.一种氨气供给系统,其特征在于,包括液压钢瓶(1),所述液压钢瓶(1)的输出端通过供液阀组连接水浴蒸发器的液氨输入端,所述水浴蒸发器的氨气输出端连接调压阀组,所述调压阀组的输出端连接气耗仪(2)的氨气输入端,控制系统的输出端信号连接所述调压阀组,控制系统的输入端信号连接所述气耗仪的信号输出端,所述气耗仪(2)的氨气输出端连接加热稳压罐的输入端。

2.根据权利要求1所述的一种氨气供给系统,其特征在于,所述供液阀组包括第一供液截止阀(3)、供液压力表(5)、第二供液截止阀(6),所述第一供液截止阀(3)的输入端连接所述液压钢瓶(1)的输出端,所述第一供液截止阀(3)的输出端连接所述供液压力表(5)的输入端,所述供液压力表(5)的输出端连接所述第二供液截止阀(6),所述第二供液截止阀(6)的输出端连接所述水浴蒸发器的液氨输入端。

3.根据权利要求1所述的一种氨气供给系统,其特征在于,所述水浴蒸发器包括蒸发器本体(7),所述蒸发器本体(7)内设有液氨容纳腔(8)和加热容纳腔(9),所述蒸发器本体(7)上设有加热液进口、加热液出口、液氨进口、氨气出口、排空阀(12)、第一泄压阀(11),所述液氨容纳腔(8)位于所述加热容纳腔(9)内,所述液氨进口和氨气出口均通过贯到所述加热容纳腔(9)内部的第一管道(10)连通所述液氨容纳腔(8)的内部,所述排空阀(12)连通所述液氨容纳腔(8)的底部,所述第一泄压阀(11)连通所述液氨容纳腔(8)的顶部,所述加热液进口连通所述加热容纳腔(9)的内底部,所述加热液出口连通所述加热容纳腔(9)的内顶部。

4.根据权利要求3所述的一种氨气供给系统,其特征在于,所述加热液进口处设有加液截止阀(13),所述蒸发器本体(7)上设有温度表(14),所述温度表(14)用于检测所述加热容纳腔(9)内的温度。

5.根据权利要求1所述的一种氨气供给系统,其特征在于,所述调压阀组包括直通气路(15)、第一通气路(16)、第二通...

【专利技术属性】
技术研发人员:高亮沈健刘进文吴成斌
申请(专利权)人:华业检测技术服务有限公司
类型:新型
国别省市:

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