一种三氯化硼气体提纯用吸附系统技术方案

本技术的一种三氯化硼气体提纯用吸附系统，包括原料瓶、第一吸附腔、第二吸附腔、精馏塔、回收罐、成品罐，原料瓶的侧方设置有第一吸附腔，第一吸附腔的侧方设置有第二吸附腔，第二吸附腔的侧方设置有精馏塔，精馏塔的侧方设置有成品罐，精馏塔的后方设置有回收罐，原料瓶、第一吸附腔、第二吸附腔、精馏塔、回收罐、成品罐之间用过管道相连接，本技术主要分为吸附和精馏的工艺，通过吸附的方法对三氯化硼中含有的重组分(四氯化硅)进行去除，通过精馏对三氯化硼中的轻组分(CO、Cl2和N2等)进行去除，在通过本吸附系统后将三氯化硼的纯度提高，有一定的实用性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及三氯化硼提纯，具体为一种三氯化硼气体提纯用吸附系统。

技术介绍

1、三氯化硼是一种无色发烟液体或气体，有刺激性酸味，易潮解。溶于苯和二硫化碳，化学反应活性很高，遇水发生爆炸性分解。与铜及其合金有可能生成具有爆炸性的氯乙炔，遇潮气时对大多数金属有强腐蚀性，也能腐蚀玻璃等。在潮湿空气中可产生白色的腐蚀性浓厚烟雾。遇水发生剧烈反应，放出具有刺激性和腐蚀性的氯化氢气体。

2、中国已授权技术公开(公告)号：cn212491675u一种三氯化硼的吸附装置，包括原料钢瓶、吸附柱、成品罐以及中和罐，所述原料钢瓶的瓶口连接至所述吸附柱的入口，所述吸附柱的出口分别连接至所述成品罐的入口和所述中和罐的入口。

3、然而以上现有技术中对三氯化硼的吸附是通过吸附柱对含硅杂质进行吸附，然而初始的三氯化硼中还拥有一定的n2和co杂质，导致本技术的吸附装置的吸附性不够理想。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种三氯化硼气体提纯用吸附系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：

3、一种三氯化硼气体提纯用吸附系统，包括原料瓶、第一吸附腔、第二吸附腔、精馏塔、回收罐、成品罐，所述原料瓶的侧方设置有第一吸附腔，所述第一吸附腔的侧方设置有第二吸附腔，所述第二吸附腔的侧方设置有精馏塔，所述精馏塔的侧方设置有成品罐，所述精馏塔的后方设置有回收罐，所述原料瓶的顶部延伸处第一连接管，所述第一连接管的另一端与第一吸附腔的顶部相连接，所述第一吸附腔的底部延伸处第二连接管，所述第二连接管的另一端位于第二吸附腔的顶部，所述第二吸附腔的底部延伸处第三连接管，所述第三连接管的另一端与精馏塔的进料口相连接，所述精馏塔的顶部和底部分别为废气口和排气口，废气口处设置有第五连接管，所述第五连接管的另一端与回收罐的顶部相连接，排气口处设置有第四连接管，所述第四连接管的另一端与成品罐的底部相连接。

4、优选的，所述第一连接管的表面原料瓶端设置有气体流量计。

5、优选的，所述第三连接管的精馏塔端设置有第一电磁阀。

6、优选的，所述第四连接管的精馏塔端设置有第二电磁阀。

7、优选的，所述第五连接管的精馏塔端设置有第三电磁阀。

8、优选的，所述第一吸附腔填充吸附剂，所述第二吸附腔填充活性炭。

9、与现有技术相比，本技术的有益效果是：

10、本技术的一种三氯化硼气体提纯用吸附系统，主要分为吸附和精馏的工艺，通过吸附的方法对三氯化硼中含有的重组分(四氯化硅)进行去除，通过精馏对三氯化硼中的轻组分(co、cl2和n2等)进行去除，在通过本吸附系统后将三氯化硼的纯度提高，有一定的实用性。

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【技术保护点】

1.一种三氯化硼气体提纯用吸附系统，包括原料瓶(1)、第一吸附腔(4)、第二吸附腔(6)、精馏塔(10)、回收罐(9)、成品罐(13)，其特征在于：所述原料瓶(1)的侧方设置有第一吸附腔(4)，所述第一吸附腔(4)的侧方设置有第二吸附腔(6)，所述第二吸附腔(6)的侧方设置有精馏塔(10)，所述精馏塔(10)的侧方设置有成品罐(13)，所述精馏塔(10)的后方设置有回收罐(9)，所述原料瓶(1)的顶部延伸处第一连接管(2)，所述第一连接管(2)的另一端与第一吸附腔(4)的顶部相连接，所述第一吸附腔(4)的底部延伸处第二连接管(5)，所述第二连接管(5)的另一端位于第二吸附腔(6)的顶部，所述第二吸附腔(6)的底部延伸处第三连接管(7)，所述第三连接管(7)的另一端与精馏塔(10)的进料口相连接，所述精馏塔(10)的顶部和底部分别为废气口和排气口，废气口处设置有第五连接管(14)，所述第五连接管(14)的另一端与回收罐(9)的顶部相连接，排气口处设置有第四连接管(11)，所述第四连接管(11)的另一端与成品罐(13)的底部相连接。

2.根据权利要求1所述的一种三氯化硼气体提纯用吸附系统，其特征在于：所述第一连接管(2)的表面原料瓶(1)端设置有气体流量计(3)。

3.根据权利要求1所述的一种三氯化硼气体提纯用吸附系统，其特征在于：所述第三连接管(7)的精馏塔(10)端设置有第一电磁阀(8)。

4.根据权利要求1所述的一种三氯化硼气体提纯用吸附系统，其特征在于：所述第四连接管(11)的精馏塔(10)端设置有第二电磁阀(12)。

5.根据权利要求1所述的一种三氯化硼气体提纯用吸附系统，其特征在于：所述第五连接管(14)的精馏塔(10)端设置有第三电磁阀(15)。

6.根据权利要求1所述的一种三氯化硼气体提纯用吸附系统，其特征在于：所述第一吸附腔(4)填充吸附剂，所述第二吸附腔(6)填充活性炭。

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【技术特征摘要】

1.一种三氯化硼气体提纯用吸附系统，包括原料瓶(1)、第一吸附腔(4)、第二吸附腔(6)、精馏塔(10)、回收罐(9)、成品罐(13)，其特征在于：所述原料瓶(1)的侧方设置有第一吸附腔(4)，所述第一吸附腔(4)的侧方设置有第二吸附腔(6)，所述第二吸附腔(6)的侧方设置有精馏塔(10)，所述精馏塔(10)的侧方设置有成品罐(13)，所述精馏塔(10)的后方设置有回收罐(9)，所述原料瓶(1)的顶部延伸处第一连接管(2)，所述第一连接管(2)的另一端与第一吸附腔(4)的顶部相连接，所述第一吸附腔(4)的底部延伸处第二连接管(5)，所述第二连接管(5)的另一端位于第二吸附腔(6)的顶部，所述第二吸附腔(6)的底部延伸处第三连接管(7)，所述第三连接管(7)的另一端与精馏塔(10)的进料口相连接，所述精馏塔(10)的顶部和底部分别为废气口和排气口，废气口处设置有第五连接管(14)，所述第五连接管(14)的另一端与回收罐(9)的顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁永强，梁成科，
申请(专利权)人：和立气体上海有限公司，
类型：新型
国别省市：