【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多功能取晶车,特别涉及取晶车托盘防坠装置。
技术介绍
1、在半导体制造领域,取晶车通常指用于在单晶硅拉晶过程中,将晶棒从一个地方转移到另一个地方的装置。
2、在现有的取晶车中,一般都是将托盘固定在地面内,不能随着晶棒向上运动,而这样一旦晶棒在搬运过程中断裂会直接砸落到地面,撞碎地面,造成的车体部件损坏。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供取晶车托盘防坠装置,托盘直线导轨对防坠型托盘起到导向作用,使其可以上下滑动,利用安装于防坠型托盘上的可调阻尼器调节防坠型托盘滑动阻力,以防止防坠型托盘因自重自行下滑,防坠器通过钢缆连接至防坠型托盘,在防坠型托盘突然快速下落时自动锁定,有效降低硅晶棒坠落对取晶车结构的冲击,从而起到防坠效果,避免因为硅晶棒断裂、操作失误等原因导致硅晶棒坠落造成的车体部件损坏,提高安全性。
2、为实现上述目的,提供取晶车托盘防坠装置,包括:托盘直线导轨,所述托盘直线导轨的后侧壁上固定设置有防坠器,所述托盘直线导轨的前侧壁上滑动设置有防坠型托盘,所述防坠型托盘的后侧壁上设置有可调阻尼器,所述托盘直线导轨的后侧壁上滑动设置有夹臂,所述夹臂的内部卡接有硅晶棒,所述托盘直线导轨的后侧壁固定连接有固定块组。
3、根据所述的取晶车托盘防坠装置,所述夹臂的后侧壁与取晶车固定连接。
4、根据所述的取晶车托盘防坠装置,所述硅晶棒位于防坠型托盘的上方。
5、根据所述的取晶车托盘防坠装置,所述固定块组位于防坠器的下方,
6、根据所述的取晶车托盘防坠装置,所述防坠器与防坠型托盘通过钢缆固定连接。
7、上述方案具有的有益效果:通过设置托盘直线导轨、防坠器、防坠型托盘、可调阻尼器、拉索轮、夹臂和硅晶棒,托盘直线导轨对防坠型托盘起到导向作用,使其可以上下滑动,利用安装于防坠型托盘上的可调阻尼器调节防坠型托盘滑动阻力,以防止防坠型托盘因自重自行下滑,防坠器通过钢缆连接至防坠型托盘,在防坠型托盘突然快速下落时自动锁定,有效降低硅晶棒坠落对取晶车结构的冲击,从而起到防坠效果,避免因为硅晶棒断裂、操作失误等原因导致硅晶棒坠落造成的车体部件损坏,提高安全性。
8、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本技术的实践了解到。
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1.取晶车托盘防坠装置,其特征在于,包括:托盘直线导轨(1),所述托盘直线导轨(1)的后侧壁上固定设置有防坠器(2),所述托盘直线导轨(1)的前侧壁上滑动设置有防坠型托盘(3),所述防坠型托盘(3)的后侧壁上设置有可调阻尼器(4),所述托盘直线导轨(1)的顶部转动设置有拉索轮(5),所述托盘直线导轨(1)的后侧壁上滑动设置有夹臂(6),所述夹臂(6)的内部卡接有硅晶棒(7),所述托盘直线导轨(1)的后侧壁固定连接有固定块组(8)。
2.根据权利要求1所述的取晶车托盘防坠装置,其特征在于,所述夹臂(6)的后侧壁与取晶车固定连接。
3.根据权利要求1所述的取晶车托盘防坠装置,其特征在于,所述硅晶棒(7)位于防坠型托盘(3)的上方。
4.根据权利要求1所述的取晶车托盘防坠装置,其特征在于,所述固定块组(8)位于防坠器(2)的下方,并与防坠器(2)固定连接。
5.根据权利要求1所述的取晶车托盘防坠装置,其特征在于,所述防坠器(2)与防坠型托盘(3)通过钢缆固定连接。
【技术特征摘要】
1.取晶车托盘防坠装置,其特征在于,包括:托盘直线导轨(1),所述托盘直线导轨(1)的后侧壁上固定设置有防坠器(2),所述托盘直线导轨(1)的前侧壁上滑动设置有防坠型托盘(3),所述防坠型托盘(3)的后侧壁上设置有可调阻尼器(4),所述托盘直线导轨(1)的顶部转动设置有拉索轮(5),所述托盘直线导轨(1)的后侧壁上滑动设置有夹臂(6),所述夹臂(6)的内部卡接有硅晶棒(7),所述托盘直线导轨(1)的后侧壁固定连接有固定块组(8)。
2.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:侯景成,
申请(专利权)人:广东柏创智能装备有限公司,
类型:新型
国别省市:
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