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【技术实现步骤摘要】
本公开的实施例主要涉及集成电路领域,并且更具体地,涉及用于互连线评估的方法、设备和存储介质。
技术介绍
1、芯片互连线是超大规模集成电路芯片中的重要组成部分,其连接芯片外部电源与芯片核心逻辑电路,为芯片传输能量和信号。目前芯片制造工艺中通常采用金属铜作为互连线材料。然而,金属互连线在长期电流驱动下会出现电迁移现象,即金属原子在电流作用下向互连线的高电压端扩散堆积、在低电压端留下空位,当堆积或空位达到一定程度时,将导致互连线出现短路或开路。互连线的失效数量累计到一定程度,将导致整颗芯片失效。随着集成电路特征尺寸的减小和器件密度的增加,互连线的尺寸也随之减小,目前的芯片电迁移评估方法已难以满足芯片设计和制造的需求。
技术实现思路
1、在本公开的第一方面中,提供了一种用于互连线评估的方法。该方法包括:获取与目标芯片的电路结构对应的互连线网络,互连线网络包括多个节点和连接多个节点的多个互连线;以及基于多个节点各自的稳态应力,确定多个互连线各自的第一互连线寿命。
2、在本公开的第二方面中,提供了一种电子设备。该电子设备包括处理器、以及与处理器耦合的存储器。该存储器具有存储于其中的指令,指令在被处理器执行时使电子设备执行根据本公开的第一方面的方法。
3、在本公开的第三方面中,提供了一种计算机可读存储介质。该计算机可读存储介质上存储有计算机程序。计算机程序在被处理器执行时实现根据本公开的第一方面的方法。
4、通过下文的描述将会理解,根据本公开的实施例,获取与目
5、应当理解,本
技术实现思路
部分中所描述的内容并非旨在限定本公开的实施例的关键特征或重要特征,也不用于限制本公开的范围。本公开的其他特征将通过以下的描述而变得容易理解。
【技术保护点】
1.一种用于互连线评估的方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的用于互连线评估的方法,其特征在于,所述方法还包括:
3.根据权利要求2所述的用于互连线评估的方法,其特征在于,基于经更新的互连线网络中多个节点各自的第一电压值,确定所述经更新的互连线网络中多个节点各自的稳态应力包括:
4.根据权利要求2所述的用于互连线评估的方法,其特征在于,基于所述多个节点各自的稳态应力,确定所述多个互连线各自的第一互连线寿命包括:
5.根据权利要求4所述的用于互连线评估的方法,其特征在于,基于所述稳态应力、所述第一平均互连线寿命、第二互连线寿命以及所述失效互连线的寿命,确定所述经更新的互连线网络中多个互连线各自的所述第一互连线寿命包括以下至少一项:
6.根据权利要求4所述的用于互连线评估的方法,其特征在于,所述失效互连线的寿命是如下确定的:
7.根据权利要求1所述的用于互连线评估的方法,其特征在于,基于所述多个节点各自的稳态应力,确定所述多个互连线各自的第一互连线寿命包括:
8.根据权利要求1所述的用于互
9.根据权利要求8所述的用于互连线评估的方法,其特征在于,所述方法还包括:
10.根据权利要求9所述的用于互连线评估的方法,其特征在于,还包括:
11.根据权利要求1所述的用于互连线评估的方法,其特征在于,所述多个节点指示所述电路结构中的预定类型的接触点或端点。
12.一种电子设备,其特征在于,包括:
13.一种计算机可读存储介质,其特征在于,其上存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机程序可由处理器执行以实现根据权利要求1至11中任一项所述的方法。
...【技术特征摘要】
1.一种用于互连线评估的方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的用于互连线评估的方法,其特征在于,所述方法还包括:
3.根据权利要求2所述的用于互连线评估的方法,其特征在于,基于经更新的互连线网络中多个节点各自的第一电压值,确定所述经更新的互连线网络中多个节点各自的稳态应力包括:
4.根据权利要求2所述的用于互连线评估的方法,其特征在于,基于所述多个节点各自的稳态应力,确定所述多个互连线各自的第一互连线寿命包括:
5.根据权利要求4所述的用于互连线评估的方法,其特征在于,基于所述稳态应力、所述第一平均互连线寿命、第二互连线寿命以及所述失效互连线的寿命,确定所述经更新的互连线网络中多个互连线各自的所述第一互连线寿命包括以下至少一项:
6.根据权利要求4所述的用于互连线评估的方法,其特征在于,所述失效互...
【专利技术属性】
技术研发人员:请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名,
申请(专利权)人:全芯智造技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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