【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种近红外分析仪器，尤其涉及一种耐腐蚀性光学测量池。
技术介绍
1、本部分的描述仅提供与本专利技术公开相关的背景信息，而不构成现有技术。
2、在半导体领域化学药液的无损实时检测系统中，对液路系统的离子析出和颗粒物检测有着严格的的要求，并且不同工艺段使用不同药液，对光学测量池与药液直接接触的材质的耐腐蚀性，离子析出比例等要求差异很大，且要求十分严格。
3、为了避免影响光学检测的精度及稳定性，理论上光学测量池对透光部件的透过率、使用波段、表面面型、光洁度等要求都较高，但是现有的光学测量池一般为一体式结构，一体式结构的光学测量池其表面面型及光程精度差、成品率底，且不同批次性能差异大、加工周期和成本高、加工材料受限，难以满足使用需求。同时还存在部分的异形组合测量池，其异形玻璃加工和抛光难度大，特别是其凹面难以实现光学抛光需求，尤其是，在有些场景需要采用蓝宝石，更是受硬度的影响更是无法加工，蓝宝石的烧结和键合工艺也不成熟。同时，上述的两种现有的测量池也都难以实现模块化、小型化，且密封性较差。
4、目前还没有一种耐腐蚀性光学测量池能够解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为了能提供一种耐腐蚀性光学测量池，可通过压板与外壳的凸起部配合，将光学窗片夹持在外壳的腔体中，具有模块化的特点且易于加工。
2、为了实现上述目的，本专利技术公开了以下一种耐腐蚀性光学测量池；所述耐腐蚀性光学测量池包括：
3、外壳，所述外壳具
4、第一压板和第二压板，所述第一压板可拆卸地连接在所述外壳的第一端一侧，所述第二压板可拆卸地连接在所述外壳的第二端一侧，所述第一压板和所述第二压板的中间位置设有通孔；
5、第一光学窗片和第二光学窗片，所述外壳内壁具有供所述第一光学窗片和所述第二光学窗片嵌设的凸起部；所述第一光学窗片的一面与所述外壳的凸起部朝向第一端的一侧相抵触，另一面被位于第一端的所述第一压板压紧，所述第二光学窗片的一面与所述外壳的凸起部朝向第二端一侧相抵触，另一面被位于第二端的所述第二压板压紧，以使得所述外壳内的所述第一光学窗片和所述第二光学窗片之间形成密封的腔体；
6、第一光纤和第二光纤，所述第一光纤与位于第一端的所述第一压板的通孔相连，并朝向所述腔体的预设位置输入光线，所述第二光纤与位于第二端的所述第二压板的通孔相连，用于接受所述腔体中的光线并传送至分析仪；
7、其中，所述外壳避让所述第一光学窗片和所述第二光学窗片的位置设有进液口和出液口。
8、进一步地，还包括光程具，所述光程具设置在所述内腔中，且贴合所述外壳的内壁面设置。
9、进一步地，所述光程具的材质与所述第一光学窗片和所述第二光学窗片的材质相同，且被所述第一光学窗片和所述第二光学窗片夹紧固定。
10、进一步地，所述第一光学窗片、所述第二光学窗片和所述光程具的材质设置为石英或蓝宝石。
11、进一步地，还包括第一准直组件和第二准直组件，所述第一准直组件与位于第一端一侧的所述第一压板的通孔相连，所述第二准直组件与位于第二端一侧的所述第二压板的通孔相连，所述第一准直组件与所述第二准直组件相对设置；
12、其中，当位于第一端一侧的所述第一光纤输入光线时，光线穿透位于第一端一侧的所述准直组件后被准直，使得光线平行穿设经过所述腔体，而后穿透位于第二端一侧的所述准直组件后汇聚至位于第二端一侧的所述第二光纤；
13、或者，当位于第一端一侧的所述第一光纤输入光线时，光线穿透位于第一端一侧的所述准直组件后被汇聚，使得光线焦点位于腔体的中心点，而后穿透位于第二端一侧的所述准直组件后汇聚至位于第二端一侧的所述第二光纤。
14、进一步地，所述外壳设置为聚四氟乙烯材质。
15、进一步地，所述第一压板具有沿所述第一光学窗片方向凸出的第一凸台，所述第一凸台的顶面与所述第一光学窗片相抵触，以使得所述第一压板与所述第一光学窗片之间让位出用于设置密封圈环形空间；所述第二压板具有沿所述第二光学窗片方向凸出的第二凸台，所述第二凸台的顶面与所述第二光学窗片相抵触，以使得所述第二压板与所述第二光学窗片之间让位出用于设置密封圈环形空间。
16、进一步地，所述第一凸台和所述第二凸台的侧壁为斜壁。
17、进一步地，所述密封圈设置为聚四氟乙烯材质。
18、进一步地，所述进液口和所述出液口与蠕动泵相连，在光线射经所述腔体时，所述蠕动泵实时地更新所述腔体中的待测液。
19、借由以上的技术方案，本专利技术的有益效果如下：
20、1、本专利技术的耐腐蚀性光学测量池，可通过可拆卸的压板与外壳的凸起部配合，将光学窗片夹持在外壳的腔体中，使得光路前后的光学窗片作为模块化的、可拆卸的结构，能够单独对光学窗片进行加工，间接保证了光学窗片的本身的加工质量，同时使得多个光学窗片的之间的同批次性能差异缩小、加工周期缩短、成本降低，由于其单独加工，光学窗片也不会受限于加工材料，避免了蓝宝石等材料作为基材时，烧结和键合工艺不成熟导致的负面影响。
21、2、本专利技术的耐腐蚀性光学测量池的压板与光学窗片之间还包括密封圈，且密封圈设置在压板凸台的斜壁上，使得压板与光学窗片之间被完全隔绝，腔体的密封性得到显著提高。
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1.一种耐腐蚀性光学测量池；其特征在于，所述耐腐蚀性光学测量池包括：
2.根据权利要求1所述的耐腐蚀性光学测量池，其特征在于：还包括光程具，所述光程具设置在所述内腔中，且贴合所述外壳的内壁面设置。
3.根据权利要求2所述的耐腐蚀性光学测量池，其特征在于：所述光程具的材质与所述第一光学窗片和所述第二光学窗片的材质相同，且被所述第一光学窗片和所述第二光学窗片夹紧固定。
4.根据权利要求3所述的耐腐蚀性光学测量池，其特征在于：所述第一光学窗片、所述第二光学窗片和所述光程具的材质设置为石英或蓝宝石。
5.根据权利要求1所述的耐腐蚀性光学测量池，其特征在于：还包括第一准直组件和第二准直组件，所述第一准直组件与位于第一端一侧的所述第一压板的通孔相连，所述第二准直组件与位于第二端一侧的所述第二压板的通孔相连，所述第一准直组件与所述第二准直组件相对设置；
6.根据权利要求1所述的耐腐蚀性光学测量池，其特征在于：所述外壳设置为聚四氟乙烯材质。
7.根据权利要求1所述的耐腐蚀性光学测量池，其特征在于：所述第一压板具有沿所述第一光
8.根据权利要求7所述的耐腐蚀性光学测量池，其特征在于：所述第一凸台和所述第二凸台的侧壁为斜壁。
9.根据权利要求8所述的耐腐蚀性光学测量池，其特征在于：所述密封圈设置为聚四氟乙烯材质。
10.根据权利要求1所述的耐腐蚀性光学测量池，其特征在于：所述进液口和所述出液口与蠕动泵相连，在光线射经所述腔体时，所述蠕动泵实时地更新所述腔体中的待测液。
...【技术特征摘要】
1.一种耐腐蚀性光学测量池；其特征在于，所述耐腐蚀性光学测量池包括：
2.根据权利要求1所述的耐腐蚀性光学测量池，其特征在于：还包括光程具，所述光程具设置在所述内腔中，且贴合所述外壳的内壁面设置。
3.根据权利要求2所述的耐腐蚀性光学测量池，其特征在于：所述光程具的材质与所述第一光学窗片和所述第二光学窗片的材质相同，且被所述第一光学窗片和所述第二光学窗片夹紧固定。
4.根据权利要求3所述的耐腐蚀性光学测量池，其特征在于：所述第一光学窗片、所述第二光学窗片和所述光程具的材质设置为石英或蓝宝石。
5.根据权利要求1所述的耐腐蚀性光学测量池，其特征在于：还包括第一准直组件和第二准直组件，所述第一准直组件与位于第一端一侧的所述第一压板的通孔相连，所述第二准直组件与位于第二端一侧的所述第二压板的通孔相连，所述第一准直组件与所述第二准直组件相对设置；
6.根据权利要求1所述的耐腐蚀性...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘康胜，宋三立，牛广志，吴美琪，
申请(专利权)人：无锡迅杰光远科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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