【技术实现步骤摘要】
本申请涉及衬底加工领域，特别是涉及一种衬底载具及其制备方法。
技术介绍
1、加工设备的衬底载台扮演着至关重要的角色，它不仅能够确保衬底在加工过程中的稳定性和精确性，还能保证加工过程的顺利进行和最终产品的质量。为了确保衬底上的图案或器件能够准确无误地与加工设备上的相应部分对准，衬底载台通常配备有精密的定位和对准系统。由于定位和对准系统只能对相应尺寸的衬底进行定位和对准，因此，将尺寸不匹配的衬底放置在载台无法实现定位和对准。若要加工多种尺寸的衬底，则需要定制对应的设备，提高了生产成本。
技术实现思路
1、为了解决以上技术问题，本申请实施例提供一种衬底载具及其制备方法。
2、第一方面，本申请实施例提供的衬底载具，包括：
3、载具本体；
4、承载台体，至少有一个，且分别形成于所述载具本体，各所述承载台体分别沿第一方向延伸，所述承载台体用于容置待制备衬底，并且，所述待制备衬底在所述第一方向上的第一投影面积与所述载具本体在所述第一方向上的第二投影面积不相等；及
5、定位体，所述定位体与所述承载台体一一对应设置，各所述定位体包括多个定位部，所述多个定位部分别形成于所述载具本体并沿所述第一方向延伸，并且，所述多个定位部沿对应的所述承载台体的边缘均匀间隔设置，以将所述待制备衬底限制在所述承载台体上。
6、在一些实施方式中，各所述定位部在所述第一方向上的长度分别大于所述承载台体在所述第一方向上的长度。
7、在一些实施方式中，各所述
8、在一些实施方式中，所述定位部在所述第一方向上的长度和所述承载台体在所述第一方向上的长度之和大于或等于所述待制备衬底在所述第一方向上的长度。
9、在一些实施方式中，各所述定位体包括至少三个所述定位部。
10、在一些实施方式中，所述第一投影位于所述第二投影内。
11、第二方面，本申请实施例提供的衬底载具的制备方法，包括：
12、形成覆盖于载具本体上表面的第一图案结构，以使所述载具本体的上表面包括第一部位，所述第一部位未被所述第一图案结构覆盖；
13、刻蚀所述第一部位，以形成承载台体；
14、形成覆盖于所述载具本体的上表面以及所述承载台体表面的第二图案结构，以使所述载具本体的上表面包括第二部位，所述第二部位未被所述第二图案结构覆盖；
15、在所述第二部位形成定位体，所述定位体包括沿所述承载台体的边缘均匀间隔设置的多个定位部。
16、在一些实施方式中，所述在所述第二部位形成定位体，包括：
17、形成第一金属层，所述第一金属层包括覆盖于所述第二图案结构的第一金属部以及覆盖于所述第二部位的第二金属部；
18、去除所述第二图案结构以及所述第一金属部，形成包括所述第二金属部的所述定位部。
19、在一些实施方式中，所述形成包括所述第二金属部的所述定位部之后，还包括：
20、形成覆盖于所述第二金属部的第三金属部，以得到还包括所述第三金属部的所述定位部。
21、在一些实施方式中，所述第二金属部包括铬、镍和钛中的至少一者，和/或，所述第三金属部包括铬、镍和钛中的至少一者。
22、对比现有技术，本申请实施例的有益特点为：该衬底载具及其制备方法，衬底载具包括载具本体和至少一个形成于载具本体的承载台体，各承载台体分别沿第一方向延伸，承载台体用于容置待制备衬底，并且，待制备衬底在第一方向上的第一投影面积与载具本体在第一方向上的第二投影面积不相等；及定位体，定位体与承载台体一一对应设置，各定位体包括多个定位部，多个定位部分别形成于载具本体并沿第一方向延伸，并且，多个定位部沿对应的承载台体的边缘均匀间隔设置，以将待制备衬底限制在承载台体上，载具本体的尺寸与加工设备匹配的衬底的尺寸相同，并且，待制备衬底的尺寸与载具本体的尺寸不同，将待制备衬底安装至载具本体的承载台体上，即可将载具本体放置至加工设备的衬底载台上进行定位、对准，无需针对待制备衬底定制专用加工设备，即可实现在加工设备上加工待制备衬底，节约了生产成本，使得加工设备除了可以加工现有的尺寸相匹配的衬底之外，还可以加工其他尺寸的待制备衬底，提高了加工设备的兼容性和通用性，而且，每个定位体包括多个定位部，所有定位部沿对应的承载台体的边缘均匀间隔设置，更加便于取放待制备衬底，也给加工设备留出了更多的操作空间，使用更方便。
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1.一种衬底载具，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的衬底载具，其特征在于，各所述定位部在所述第一方向上的长度分别大于所述承载台体在所述第一方向上的长度。
3.如权利要求1所述的衬底载具，其特征在于，各所述定位部在第一方向上的长度相等。
4.如权利要求3所述的衬底载具，其特征在于，所述定位部在所述第一方向上的长度和所述承载台体在所述第一方向上的长度之和大于或等于所述待制备衬底在所述第一方向上的长度。
5.如权利要求1所述的衬底载具，其特征在于，各所述定位体包括至少三个所述定位部。
6.如权利要求1所述的衬底载具，其特征在于，所述第一投影位于所述第二投影内。
7.一种衬底载具的制备方法，其特征在于，包括：
8.如权利要求7所述的衬底载具的制备方法，其特征在于，所述在所述第二部位形成定位体，包括：
9.如权利要求8所述的衬底载具的制备方法，其特征在于，所述形成包括所述第二金属部的所述定位部之后，还包括：
10.如权利要求9所述的衬底载具的制备方法，其特征在于，所述第二金属
...【技术特征摘要】
1.一种衬底载具，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的衬底载具，其特征在于，各所述定位部在所述第一方向上的长度分别大于所述承载台体在所述第一方向上的长度。
3.如权利要求1所述的衬底载具，其特征在于，各所述定位部在第一方向上的长度相等。
4.如权利要求3所述的衬底载具，其特征在于，所述定位部在所述第一方向上的长度和所述承载台体在所述第一方向上的长度之和大于或等于所述待制备衬底在所述第一方向上的长度。
5.如权利要求1所述的衬底载具，其特征在于，各所述定位体包括至少三个所述定位部。...
【专利技术属性】
技术研发人员：张汪根，宁旭，占鹏华，樊永辉，许明伟，樊晓兵，
申请(专利权)人：深圳市汇芯通信技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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