【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体生产设备，尤其是涉及一种单晶炉冷却水供给系统。
技术介绍
1、在单晶硅棒生产中，对于工艺冷却水的供给稳定性要求非常高，需要通过冷却水形成水冷热屏，并将水冷热屏的流速控制在预定范围内，否则将会由于温度过高导致断线或掉棒。
2、为了满足单晶硅棒制程的冷却需求，目前，一般采用单一电动泵配合柴油泵实现双重保障供水模式。其中，电动泵一般采用单电源接入供电，一旦配电线路中任一节点发生故障都将导致该电动泵失电，需要启动柴油泵继续进行水冷。但是，在柴油泵启动过程中，工艺冷却水供水压力会产生波动，容易导致单晶硅棒发生断线。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种单晶炉冷却水供给系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的目前单晶硅棒制程过程中电动泵失电后启动柴油泵的过程中，容易导致单晶硅棒发生断线的技术问题。
2、本申请提供了一种单晶炉冷却水供给系统，包括多个供水组件；
3、每个所述供水组件均包括配电线路和电动水泵；
4、所述配电线路包括供电源、高压母线段、低压母线段和第一变压器组件；
5、所述高压母线段与所述供电源电连接，所述高压母线段通过所述第一变压器组件与所述低压母线段电连接，所述低压母线段与所述电动水泵电连接。
6、在上述技术方案中，进一步地，所述供水组件的数量为至少四个，至少部分所述供水组件两两成组；
7、所述单晶炉冷却水供给系统还包括母联开关，成组的两个所述供水组件的所述低压母线段通过所述
8、在上述任一技术方案中，进一步地，所述第一变压器组件包括第一变压器、第一断路器和第二断路器；
9、所述第一变压器通过所述第一断路器与所述高压母线段电连接；
10、所述第一变压器通过所述第二断路器与所述低压母线段电连接。
11、在上述任一技术方案中，进一步地，所述供电源包括变电站和第三断路器，所述变电站通过所述第三断路器与所属的所述供水组件的所述高压母线段电连接；
12、每个所述供水组件的变电站相互独立。
13、在上述任一技术方案中，进一步地，所述供电源还包括环网柜和第四断路器，所述环网柜通过所述第四断路器与所属的所述供水组件的所述高压母线段电连接；
14、每个所述供水组件的所述环网柜彼此独立。
15、在上述任一技术方案中，进一步地，所述单晶炉冷却水供给系统还包括柴油发电机；
16、所有所述供水组件中的一者为预定供水组件，所述柴油发电机与所述预定供水组件的低压母线段电连接，以在发电状态下向所述预定供水组件的所述电动水泵供电。
17、在上述任一技术方案中，进一步地，所述单晶炉冷却水供给系统还包括自动转换开关，所述柴油发电机通过所述自动转换开关与所述预定供水组件的所述低压母线段电连接。
18、在上述任一技术方案中，进一步地，所述单晶炉冷却水供给系统还包括工控设备；
19、每个所述电动水泵均与所述工控设备电连接，所述工控设备能够控制每个所述电动水泵的启闭，并且控制至少三个所述供水组件的电动水泵同时开启，并控制至少一个所述供水组件关闭以做备用。
20、在上述任一技术方案中，进一步地，所述单晶炉冷却水供给系统还包括柴油水泵和水压检测组件；
21、所述柴油水泵和所述水压检测组件均与所述工控设备电连接。
22、在上述任一技术方案中，进一步地，所述供水组件还包括第二变压器组件；
23、每个所述供水组件的所述低压母线段通过所述第二变压器组件电连接所述单晶炉的用电设备。
24、与现有技术相比，本申请的有益效果为：
25、本申请提供的单晶炉冷却水供给系统包括多个供水组件，每个供水组件均包括配电线路和电动水泵，配电线路包括供电源、高压母线段、低压母线段和第一变压器组件，高压母线段与供电源电连接，高压母线段通过第一变压器组件与低压母线段电连接，低压母线段与电动水泵电连接，从而每个供水组件均通过其配电线路为其电动水泵供电，使得多个供水组件的电动水泵均能够向单晶炉供给工艺冷却水。
26、该单晶炉冷却水供给系统，可以令多个供水组件中的部分供水组件运转，用以向单晶硅棒制程供给冷却水，并令另一部分供水组件备用，如果运转中的部分供水组件出现故障，则可切入备用的供水组件用以保证冷却水稳定供给，快速实现冷却水保供。
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1.一种单晶炉冷却水供给系统，其特征在于，包括多个供水组件；
2.根据权利要求1所述的单晶炉冷却水供给系统，其特征在于，所述供水组件的数量为至少四个，至少部分所述供水组件两两成组；
3.根据权利要求1所述的单晶炉冷却水供给系统，其特征在于，所述第一变压器组件包括第一变压器、第一断路器和第二断路器；
4.根据权利要求1所述的单晶炉冷却水供给系统，其特征在于，所述供电源包括变电站和第三断路器，所述变电站通过所述第三断路器与所属的所述供水组件的所述高压母线段电连接；
5.根据权利要求4所述的单晶炉冷却水供给系统，其特征在于，所述供电源还包括环网柜和第四断路器，所述环网柜通过所述第四断路器与所属的所述供水组件的所述高压母线段电连接；
6.根据权利要求1所述的单晶炉冷却水供给系统，其特征在于，还包括柴油发电机；
7.根据权利要求6所述的单晶炉冷却水供给系统，其特征在于，还包括自动转换开关，所述柴油发电机通过所述自动转换开关与所述预定供水组件的所述低压母线段电连接。
8.根据权利要求1所述的单晶炉冷却水供给系
9.根据权利要求8所述的单晶炉冷却水供给系统，其特征在于，还包括柴油水泵和水压检测组件；
10.根据权利要求1所述的单晶炉冷却水供给系统，其特征在于，所述供水组件还包括第二变压器组件；
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉冷却水供给系统，其特征在于，包括多个供水组件；
2.根据权利要求1所述的单晶炉冷却水供给系统，其特征在于，所述供水组件的数量为至少四个，至少部分所述供水组件两两成组；
3.根据权利要求1所述的单晶炉冷却水供给系统，其特征在于，所述第一变压器组件包括第一变压器、第一断路器和第二断路器；
4.根据权利要求1所述的单晶炉冷却水供给系统，其特征在于，所述供电源包括变电站和第三断路器，所述变电站通过所述第三断路器与所属的所述供水组件的所述高压母线段电连接；
5.根据权利要求4所述的单晶炉冷却水供给系统，其特征在于，所述供电源还包括环网柜和第四断路器，所述环网柜...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄先权，张银，汪奇，
申请(专利权)人：高景太阳能股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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