【技术实现步骤摘要】
本技术涉及金属靶材加工，尤其涉及一种靶材表面处理装置。
技术介绍
1、金属靶材是一种用于制备薄膜或表面涂层的材料，通常用于物理蒸发、溅射、化学气相沉积等薄膜沉积技术。这些技术在半导体制造、光学涂层、太阳能电池、感光材料等领域得到广泛应用，金属靶材在制备薄膜或涂层过程中，抛光是一个重要的工艺步骤，抛光可以使金属靶材的表面更加平整，减少表面的粗糙度。平整的表面有助于薄膜沉积过程中的均匀性，确保薄膜在基底上具有一致的厚度和质量。
2、经检索：中国专利公告号：cn214213285u，涉及旋转靶材
，公开了一种旋转靶材的表面处理装置，其技术方案是：包括支撑板，所述支撑板顶部设有打磨机构，所述支撑板底部设有收集机构；所述打磨机构包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和第二固定板分别固定设于支撑板顶部两侧，所述第一固定板一侧设有夹持组件，所述第二固定板一侧设有电机，本技术的有益效果是：通过打磨机构的设计，可以通过往复丝杆等结构带动打磨片来回移动，通过转动板等结构的设计可以使打磨片转动，即可通过打磨片对靶材的表面进行处理，提高了靶材表面的光滑度，避免了靶材的表面存在较多的车刀纹的问题，使得成型后的靶材拥有良好的外观，保证了靶材的正常使用。esm同样的专利技术创造已同日申请专利技术专利。
3、上述专利说明书实施例中记载“进一步地，所述夹持组件包括螺纹杆26，所述螺纹杆26外部固定设有两个夹板27，两个所述夹板27均与螺纹杆26通过螺纹连接且两个夹板27螺纹旋向相反，所述第一固定板2上开设有通槽28，两个所述夹板
技术实现思路
1、本技术的目的是解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种靶材表面处理装置，旨在改善部分现有技术在使用过程中无法同时对多个物件进行夹持的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：
3、一种靶材表面处理装置，包括工作台，所述工作台的外部后侧设置有驱动组件，所述驱动组件的外部转动连接有转动板，所述转动板的左右两侧均转动连接有随动板，所述随动板的外部转动连接有转动轴，所述转动轴的外部固定连接有齿轮，所述工作台的顶部固定连接有基座，所述基座的顶部开设有多个滑槽，所述基座的顶部滑动连接有多个主动夹持板，所述主动夹持板的顶部固定连接有齿板，所述基座的顶部固定连接有多个被动块；
4、作为上述技术方案的进一步描述：
5、所述驱动组件包括液压缸、推杆、中心轴，所述液压缸的外部固定连接在所述工作台的外部一侧，所述推杆的顶部固定连接在所述液压缸的输出端，所述中心轴的外部固定连接在所述推杆的外部。
6、作为上述技术方案的进一步描述：
7、所述工作台的底部四角均固定连接有支撑腿，所述工作台的顶部固定连接有多个支撑柱，多个所述支撑柱的顶部固定连接有顶板，所述顶板的顶部固定连接有固定板。
8、作为上述技术方案的进一步描述：
9、所述固定板的顶部固定连接有电机，所述电机的驱动端固定连接有主动轴，所述顶板的内部转动连接有从动轴，所述主动轴的外部固定连接有主动轮，所述从动轴的外部固定连接有从动轮，所述主动轮和所述从动轮之间套设有皮带。
10、作为上述技术方案的进一步描述：
11、所述主动轴和所述从动轴的底部均固定连接有连接圆盘，所述连接圆盘的底部固定连接有多个套筒，所述套筒的内部滑动连接有滑杆，所述套筒和所述滑杆的外部套设有弹簧，同一侧多个所述滑杆的底部固定连接有抛光轮。
12、作为上述技术方案的进一步描述：
13、所述弹簧的一端固定连接在所述连接圆盘的底部，所述弹簧的另一端固定连接在所述抛光轮的顶部。
14、作为上述技术方案的进一步描述：
15、同一侧所述齿轮的外部与两个所述齿板的外部互为啮合连接，所述主动夹持板的底部与所述滑槽的内壁相接触。
16、本技术具有如下有益效果：
17、1、本技术中，在转动板、随动板、转动轴、齿轮等结构的配合使用下，能够使得装置在使用过程中，通过液压缸带动连接的随动板进行运动从而使得多个主动夹持板进行互不干涉的运动，解决了部分装置无法同时对多个物件进行夹持的问题。
18、2、本技术中，在连接圆盘、套筒、滑杆、弹簧等结构的配合使用下，能够使得装置在使用过程中，通过滑杆滑动在套筒的内部并由弹簧提供复位的动力，解决了部分装置无法同时抛光多个物件的问题。
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1.一种靶材表面处理装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的外部后侧设置有驱动组件，所述驱动组件的外部转动连接有转动板(5)，所述转动板(5)的左右两侧均转动连接有随动板(6)，所述随动板(6)的外部转动连接有转动轴(7)，所述转动轴(7)的外部固定连接有齿轮(8)，所述工作台(1)的顶部固定连接有基座(9)，所述基座(9)的顶部开设有多个滑槽(10)，所述基座(9)的顶部滑动连接有多个主动夹持板(11)，所述主动夹持板(11)的顶部固定连接有齿板(12)，所述基座(9)的顶部固定连接有多个被动块(13)。
2.根据权利要求1所述的一种靶材表面处理装置，其特征在于：所述驱动组件包括液压缸(2)、推杆(3)、中心轴(4)，所述液压缸(2)的外部固定连接在所述工作台(1)的外部一侧，所述推杆(3)的顶部固定连接在所述液压缸(2)的输出端，所述中心轴(4)的外部固定连接在所述推杆(3)的外部。
3.根据权利要求1所述的一种靶材表面处理装置，其特征在于：所述工作台(1)的底部四角均固定连接有支撑腿(14)，所述工作台(1)的顶部固定连接有多个支撑柱(
4.根据权利要求3所述的一种靶材表面处理装置，其特征在于：所述固定板(17)的顶部固定连接有电机(18)，所述电机(18)的驱动端固定连接有主动轴(19)，所述顶板(16)的内部转动连接有从动轴(20)，所述主动轴(19)的外部固定连接有主动轮(21)，所述从动轴(20)的外部固定连接有从动轮(22)，所述主动轮(21)和所述从动轮(22)之间套设有皮带(23)。
5.根据权利要求4所述的一种靶材表面处理装置，其特征在于：所述主动轴(19)和所述从动轴(20)的底部均固定连接有连接圆盘(24)，所述连接圆盘(24)的底部固定连接有多个套筒(25)，所述套筒(25)的内部滑动连接有滑杆(26)，所述套筒(25)和所述滑杆(26)的外部套设有弹簧(27)，同一侧多个所述滑杆(26)的底部固定连接有抛光轮(28)。
6.根据权利要求5所述的一种靶材表面处理装置，其特征在于：所述弹簧(27)的一端固定连接在所述连接圆盘(24)的底部，所述弹簧(27)的另一端固定连接在所述抛光轮(28)的顶部。
7.根据权利要求1所述的一种靶材表面处理装置，其特征在于：同一侧所述齿轮(8)的外部与两个所述齿板(12)的外部互为啮合连接，所述主动夹持板(11)的底部与所述滑槽(10)的内壁相接触。
...【技术特征摘要】
1.一种靶材表面处理装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的外部后侧设置有驱动组件，所述驱动组件的外部转动连接有转动板(5)，所述转动板(5)的左右两侧均转动连接有随动板(6)，所述随动板(6)的外部转动连接有转动轴(7)，所述转动轴(7)的外部固定连接有齿轮(8)，所述工作台(1)的顶部固定连接有基座(9)，所述基座(9)的顶部开设有多个滑槽(10)，所述基座(9)的顶部滑动连接有多个主动夹持板(11)，所述主动夹持板(11)的顶部固定连接有齿板(12)，所述基座(9)的顶部固定连接有多个被动块(13)。
2.根据权利要求1所述的一种靶材表面处理装置，其特征在于：所述驱动组件包括液压缸(2)、推杆(3)、中心轴(4)，所述液压缸(2)的外部固定连接在所述工作台(1)的外部一侧，所述推杆(3)的顶部固定连接在所述液压缸(2)的输出端，所述中心轴(4)的外部固定连接在所述推杆(3)的外部。
3.根据权利要求1所述的一种靶材表面处理装置，其特征在于：所述工作台(1)的底部四角均固定连接有支撑腿(14)，所述工作台(1)的顶部固定连接有多个支撑柱(15)，多个所述支撑柱(15)的顶部固定连接有顶板(16)，所述顶板(16)的顶部固定连接有固定板(17)。
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【专利技术属性】
技术研发人员：黄振，黄松，
申请(专利权)人：苏州东宸先瑞新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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