一种用于激光器端面镀膜的排bar结构及激光器制造技术

本技术提供了一种用于激光器端面镀膜的排bar结构，包括若干根并排布置的正条，所述正条的背面与相邻另一个所述正条的正面相贴合，各所述正条的背面沿腔长方向的两端具有倒角，使得相邻两根所述正条的贴合面处沿腔长方向两端之间形成空隙。该技术通过在正条背面设置倒角，从而在激光器端面镀膜排bar过程中无需使用独立的陪条材料，简化了结构、降低了成本；同时通过对倒角尺寸的控制，能够精确控制镀膜线的位置，又完全避免了背面镀上膜，在端面镀膜过程中，避免了镀膜线过冲问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体，具体涉及一种用于激光器端面镀膜的排bar结构及激光器。

技术介绍

1、激光器的端面镀膜通常采用独立陪条材料来隔开激光器正条(又称巴条，即bar条)，要求陪条的宽度比激光器正条小10-30um，激光器正条和陪条相间排列，且激光器正条端面暴露在外，这样子才能保证激光器正条的端面能够完整地镀上ar膜和hr膜。然而，激光器现有这种排bar结构不仅较为复杂，成本较高，而且独立陪条材料的端面与激光器正条端面之间存在一定距离，可能导致镀膜线过冲，无法完全避免背面镀膜镀到金属上的问题。此外，需要独立制作陪条，同时由于背金撕扯的问题，还需要多做一道背面光刻，而且段差除了由正条与陪条的宽度差决定外，还由排bar夹具凸台的高度差决定，这两道工艺一者陪条的制作成本高，二者夹具的制作难度大，进一步增大了制作排bar结构的工艺难度和成本。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种用于激光器端面镀膜的排bar结构，至少可以解决现有技术中存在的部分缺陷。

2、为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：

3、一种用于激光器端面镀膜的排bar结构，包括若干根并排布置的正条，所述正条的背面与相邻另一个所述正条的正面相贴合，各所述正条的背面沿腔长方向的两端具有倒角，使得相邻两根所述正条的贴合面处沿腔长方向两端之间形成空隙。

4、进一步的，各所述正条的长度相等，且各所述正条的长度两端平齐布置。

5、进一步的，所述正条的背面沿腔长方向两端的倒角对称布置。

6、进一步的，所述正条背面的倒角与垂直方向的夹角为30～60°。

7、进一步的，所述正条背面的倒角深度h为10～20μm，宽度l为5～10μm。

8、进一步的，所述正条的背面设有背面金属层。

9、进一步的，所述正条采用如下过程制作而成：在激光器晶圆正面按照设计的正条尺寸划线形成切割道，在激光器晶圆的背面通过激光刻划的方式形成v型凹槽，该v型凹槽的位置与激光器晶圆正面的切割道相对应，然后按照正面切割道处切割，背面v型凹槽处裂片方式将激光器晶圆进行解理成正条。

10、另外，本技术还提供了一种激光器，包括正条，所述正条由上述排bar结构镀膜构成。

11、与现有技术相比，本技术的有益效果：

12、(1)本技术提供的这种用于激光器端面镀膜的排bar结构通过在正条背面设置倒角，从而在激光器端面镀膜排bar过程中无需使用独立的陪条材料，简化了结构、降低了成本；同时通过对倒角尺寸的控制，能够精确控制镀膜线的位置，又完全避免了背面镀上膜，在端面镀膜过程中，避免了镀膜线过冲问题。

13、(2)采用本技术提供的这种排bar结构，由于只需要夹取正条，无需陪条，因而在激光器端面镀膜排bar过程中所需排bar夹具无需设计高度差，降低了排bar夹具的加工，同时每个排bar夹具的正条数量增加一倍，提高了效率。

14、以下将结合附图对本技术做进一步详细说明。

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【技术保护点】

1.一种用于激光器端面镀膜的排bar结构，其特征在于：包括若干根并排布置的正条，所述正条的背面与相邻另一个所述正条的正面相贴合，各所述正条的背面沿腔长方向的两端具有倒角，使得相邻两根所述正条的贴合面处沿腔长方向两端之间形成空隙。

2.如权利要求1所述的用于激光器端面镀膜的排bar结构，其特征在于：各所述正条的长度相等，且各所述正条的长度两端平齐布置。

3.如权利要求1所述的用于激光器端面镀膜的排bar结构，其特征在于：所述正条的背面沿腔长方向两端的倒角对称布置。

4.如权利要求1所述的用于激光器端面镀膜的排bar结构，其特征在于：所述正条背面的倒角与垂直方向的夹角为30～60°。

5.如权利要求1所述的用于激光器端面镀膜的排bar结构，其特征在于：所述正条背面的倒角深度h为10～20μm，宽度l为5～10μm。

6.如权利要求1所述的用于激光器端面镀膜的排bar结构，其特征在于：所述正条的背面设有背面金属层。

7.如权利要求1所述的用于激光器端面镀膜的排bar结构，其特征在于：所述正条采用如下过程制作而成：在激光器晶圆正面按照设计的正条尺寸划线形成切割道，在激光器晶圆的背面通过激光刻划的方式形成V型凹槽，该V型凹槽的位置与激光器晶圆正面的切割道相对应，然后按照正面切割道处切割，背面V型凹槽处裂片方式将激光器晶圆进行解理成正条。

8.一种激光器，其特征在于：包括正条，所述正条由权利要求1～7任一项所述排bar结构镀膜构成。

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【技术特征摘要】

1.一种用于激光器端面镀膜的排bar结构，其特征在于：包括若干根并排布置的正条，所述正条的背面与相邻另一个所述正条的正面相贴合，各所述正条的背面沿腔长方向的两端具有倒角，使得相邻两根所述正条的贴合面处沿腔长方向两端之间形成空隙。

2.如权利要求1所述的用于激光器端面镀膜的排bar结构，其特征在于：各所述正条的长度相等，且各所述正条的长度两端平齐布置。

3.如权利要求1所述的用于激光器端面镀膜的排bar结构，其特征在于：所述正条的背面沿腔长方向两端的倒角对称布置。

4.如权利要求1所述的用于激光器端面镀膜的排bar结构，其特征在于：所述正条背面的倒角与垂直方向的夹角为30～60°。

5.如权利要求1所述的用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈伟，徐马记，
申请(专利权)人：武汉鑫威源电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：