【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜领域,具体涉及一种镀膜用载具装置。
技术介绍
1、真空镀膜中,需要使用载具对待镀膜的工件进行装载。对工件进行可靠的装载以及在镀膜过程调节待镀膜工件进行合适的姿态调节,对工件的镀膜质量影响较大。产品镀膜时,靶材的离子是沿着特定方向,以喇叭口的形式进行散射,装载镀膜产品的载具装置就需要进行旋转,以保证产品表面四周都能镀上且膜层均匀,另外对于外形尺寸比较小的产品,出于增加装容量,降低成本的考虑,需设置更多能够旋转的装载杆进行产品装载。目前使用的载具装置存在镀膜过程中出现卡顿,旋转不畅,偏压不稳定等情况,导致产品表面镀膜不均匀,良品率低问题。分析原因是因为目前所用的载具装置,没有充分考虑到装载杆在加负载后,旋转时会出现的偏摆情况,导致装载杆会与配合的零件摩擦,增大阻力;另外,进行转动装配的轴承带有保持架,偏摆带来的径向压力使保持架产生变形,从而运转出现卡顿,影响镀膜质量、效率,因此有必要针对该问题进行解决。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种镀膜用载具装置,其可以用于解决上述问题,提高工件镀膜的质量和可靠性。
2、本技术采取的技术方案具体如下。
3、一种镀膜用载具装置,其特征在于:包括载架,载架上设置有各用于装载工件的转动安装的装载杆以及用于调节各装载杆进行转动的调节机构;载架具有上、下对应布置的上装配机构和下装配机构,装载杆装配在上装配机构和下装配机构之间,上装配机构上具有各个上装配部,下装配机构上具有各个下装配部,装载杆的两端分别与上装配部、
4、具体的方案为:装配轴的下端设置有装配孔,导电连接件为装配孔孔口处设置的滚珠构成,装配孔内设置有压缩弹簧,压缩弹簧驱使滚珠与下安装座上的导电件滚动抵靠装配。
5、滚珠为黄铜材料构成。
6、下安装座包括上、下对应布置的a上板和a下板,a下板构成所述的导电件,滚珠和a下板滚动抵靠装配。
7、a轴承组件包括a深沟球轴承和a推力球轴承,装配轴的两段分别通过a深沟球轴承、a推力球轴承与a上板、a下板转动装配。
8、a上板的中部设置有b装配管,调节机构包括各装配轴上分别设置的a齿轮和b装配管上通过b轴承组件转动装配的b齿轮,各a齿轮位于b齿轮的外侧且均和b齿轮啮合传动连接,a齿轮、b齿轮均位于a上板和a下板之间。
9、a齿轮和b齿轮啮合传动连接时有1~2mm的间隙。
10、b轴承组件为b深沟球轴承。
11、上装配机构包括上安装座,载架还包括中心轴杆,中心轴杆下端装配在b装配管内,上安装座包括b板体,上安装部为b板体上沿其周向间隔安装的外套筒构成,装载杆的上端和外套筒转动装配,b板体的中部设置有内套筒,内套筒上设置有锁紧销,中心轴杆的上端设置有锁紧孔,锁紧销和锁紧孔相配合实现内套筒和中心轴杆之间的锁紧。具体的可以在中心轴杆上设置平键,平键上设置锁紧孔。
12、内套筒、外套筒为黄铜材料构成。
13、本技术提供的上述方案,在装配轴底部增加了浮动安装的导电连接件,且材料都是黄铜,保证了镀膜过程中偏压的稳定性。另外,装配轴两端通过a轴承组件的定位,可以解决传统载具中装载杆运转时由于偏摆不稳定导致装配轴与其他部件摩擦出现卡顿的问题。
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1.一种镀膜用载具装置,其特征在于:包括载架,载架上设置有各用于装载工件的转动安装的装载杆以及用于调节各装载杆进行转动的调节机构;载架具有上、下对应布置的上装配机构和下装配机构,装载杆装配在上装配机构和下装配机构之间,上装配机构上具有各个上装配部,下装配机构上具有各个下装配部,装载杆的两端分别与上装配部、下装配部可拆卸式装配连接;下装配机构包括下安装座,各下装配部转动安装在下安装座上,调节机构和各下装配部传动连接;下装配部包括装配轴,装配轴通过A轴承组件转动安装在下安装座上,装配轴的上端设置用于与装载杆下端进行可拆卸式装配连接的装配连接口,装配轴的下端设置有浮动安装的导电连接件,导电连接件在装载杆转动时与下安装座上的导电件抵靠装配。
2.根据权利要求1所述的镀膜用载具装置,其特征在于:装配轴的下端设置有装配孔,导电连接件为装配孔孔口处设置的滚珠构成,装配孔内设置有压缩弹簧,压缩弹簧驱使滚珠与下安装座上的导电件滚动抵靠装配。
3.根据权利要求1所述的镀膜用载具装置,其特征在于:滚珠为黄铜材料构成。
4.根据权利要求1或2或3所述的镀膜用载具装置,
5.根据权利要求4所述的镀膜用载具装置,其特征在于:A轴承组件包括A深沟球轴承和A推力球轴承,装配轴的两段分别通过A深沟球轴承、A推力球轴承与A上板、A下板转动装配。
6.根据权利要求4所述的镀膜用载具装置,其特征在于:A上板的中部设置有B装配管,调节机构包括各装配轴上分别设置的A齿轮和B装配管上通过B轴承组件转动装配的B齿轮,各A齿轮位于B齿轮的外侧且均和B齿轮啮合传动连接,A齿轮、B齿轮均位于A上板和A下板之间。
7.根据权利要求6所述的镀膜用载具装置,其特征在于:A齿轮和B齿轮啮合传动连接时有1~2mm的间隙。
8.根据权利要求6所述的镀膜用载具装置,其特征在于:B轴承组件为B深沟球轴承。
9.根据权利要求4所述的镀膜用载具装置,其特征在于:上装配机构包括上安装座,载架还包括中心轴杆,中心轴杆下端装配在B装配管内,上安装座包括B板体,上安装部为B板体上沿其周向间隔安装的外套筒构成,装载杆的上端和外套筒转动装配,B板体的中部设置有内套筒,内套筒上设置有锁紧销,中心轴杆的上端设置有锁紧孔,锁紧销和锁紧孔相配合实现内套筒和中心轴杆之间的锁紧,具体的可以在中心轴杆上设置平键,平键上设置锁紧孔。
10.根据权利要求3所述的镀膜用载具装置,其特征在于:内套筒、外套筒为黄铜材料构成。
...【技术特征摘要】
1.一种镀膜用载具装置,其特征在于:包括载架,载架上设置有各用于装载工件的转动安装的装载杆以及用于调节各装载杆进行转动的调节机构;载架具有上、下对应布置的上装配机构和下装配机构,装载杆装配在上装配机构和下装配机构之间,上装配机构上具有各个上装配部,下装配机构上具有各个下装配部,装载杆的两端分别与上装配部、下装配部可拆卸式装配连接;下装配机构包括下安装座,各下装配部转动安装在下安装座上,调节机构和各下装配部传动连接;下装配部包括装配轴,装配轴通过a轴承组件转动安装在下安装座上,装配轴的上端设置用于与装载杆下端进行可拆卸式装配连接的装配连接口,装配轴的下端设置有浮动安装的导电连接件,导电连接件在装载杆转动时与下安装座上的导电件抵靠装配。
2.根据权利要求1所述的镀膜用载具装置,其特征在于:装配轴的下端设置有装配孔,导电连接件为装配孔孔口处设置的滚珠构成,装配孔内设置有压缩弹簧,压缩弹簧驱使滚珠与下安装座上的导电件滚动抵靠装配。
3.根据权利要求1所述的镀膜用载具装置,其特征在于:滚珠为黄铜材料构成。
4.根据权利要求1或2或3所述的镀膜用载具装置,其特征在于:下安装座包括上、下对应布置的a上板和a下板,a下板构成所述的导电件,滚珠和a下板滚动抵靠装配。
5.根据权利要求4所...
【专利技术属性】
技术研发人员:张心凤,夏正卫,陆宗健,刘洋,张春福,汪鹏,
申请(专利权)人:安徽纯源镀膜科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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