【技术实现步骤摘要】
本技术涉及芯片表面缺陷分析，具体为一种cos芯片的外延表面缺陷失效分析工装。
技术介绍
1、随着科技的不断发展，芯片制造已成为现代电子产业的核心部分，其中，cos芯片(也称为倒装焊芯片)由于其独特的封装形式和优越的性能，在许多领域中得到了广泛应用，在制造过程中，由于各种原因，cos芯片的外延表面可能会出现缺陷，这些缺陷可能会导致芯片性能的失效，因此，对cos芯片的外延表面缺陷进行失效分析是至关重要的。
2、在半导体芯片的工艺质量提升过程中，找出外观无异常，芯片失效的根本原因是必须做的初始步骤，由于当前需要使用专门失效分析设备进行分析，失效分析设备的成本比较高，因此我们需要提出一种cos芯片的外延表面缺陷失效分析工装。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种cos芯片的外延表面缺陷失效分析工装，旨在解决现有技术中需要使用专门失效分析设备进行分析，失效分析设备的成本比较高的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种cos芯片的外延表面缺陷失效分析工装，包括定位基板和载物台，所述定位基板的顶部固定安装有安装壳，所述安装壳的内部设置有用于将载物台进行水平方向位置调整的平移组件，所述载物台设置于平移组件的移动端，所述载物台的内部设置有空腔，所述载物台的顶部呈对称开设有两组通槽，两组所述通槽的内部分别滑动连接有连接块，两组所述连接块的顶部分别固定连接有夹块，所述空腔的内部设置有用于将两组夹块之间距离进行调整的调节组件，所述定位基板的上
4、优选的，所述平移组件包括滚珠丝杆，所述滚珠丝杆的两端分别转动安装于安装壳的两侧内壁上，所述滚珠丝杆的一端贯穿安装壳连接有驱动电机，所述滚珠丝杆的外壁上螺纹连接有驱动块，所述驱动块的顶部固定安装有t型块，所述载物台固定安装于t型块的顶部。
5、优选的，所述驱动块位于滚珠丝杆的两侧分别滑动插接有导向杆，两组所述导向杆的两端分别固定连接于安装壳的两侧内壁上。
6、优选的，所述驱动电机固定安装于安装壳的一侧侧壁上，所述驱动电机输出轴的一端与滚珠丝杆的一端固定连接。
7、优选的，所述调节组件包括蜗杆，所述蜗杆的一端转动安装于空腔的一侧内壁上，所述蜗杆的一端贯穿载物台固定连接有手轮，所述蜗杆的顶部啮合有蜗轮，所述蜗轮的内部固定插接有双向丝杆，所述双向丝杆的外壁上呈对称螺纹连接有两组调节块，两组所述连接块分别固定连接于两组调节块的顶部。
8、优选的，所述空腔的内顶部固定连接有转动座，所述蜗杆的一端转动安装于转动座的一侧侧壁上，所述双向丝杆的两端分别转动安装于空腔的两侧内壁上。
9、优选的，所述打磨组件包括电动推杆，所述电动推杆固定安装于匚型架的顶部，所述电动推杆的伸缩端一端贯穿匚型架固定连接有升降板，所述升降板的底部固定连接有抛光装置本体。
10、优选的，所述安装壳的顶部固定安装有四组l型限位件，四组所述l型限位件呈两两对称设置。
11、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
12、本技术不需要使用专门失效分析设备进行分析，能更快更好地找出异常现象，同时，降低了分析成本。通过设置调节组件、连接块和夹块的配合使用，可将放置于载物台上表面的cos芯片进行夹持定位，通过设置打磨组件，可将被夹持定位的cos芯片进行抛光打磨处理，通过设置平移组件，可将载物台上的cos芯片进行水平方向的位置调整，从而可将打磨后的cos芯片移动至金相显微镜下，初步确认异常点位置。
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1.一种COS芯片的外延表面缺陷失效分析工装，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种COS芯片的外延表面缺陷失效分析工装，其特征在于：所述平移组件(4)包括滚珠丝杆(401)，所述滚珠丝杆(401)的两端分别转动安装于安装壳(3)的两侧内壁上，所述滚珠丝杆(401)的一端贯穿安装壳(3)连接有驱动电机(402)，所述滚珠丝杆(401)的外壁上螺纹连接有驱动块(403)，所述驱动块(403)的顶部固定安装有T型块(404)，所述载物台(2)固定安装于T型块(404)的顶部。
3.根据权利要求2所述的一种COS芯片的外延表面缺陷失效分析工装，其特征在于：所述驱动块(403)位于滚珠丝杆(401)的两侧分别滑动插接有导向杆(13)，两组所述导向杆(13)的两端分别固定连接于安装壳(3)的两侧内壁上。
4.根据权利要求3所述的一种COS芯片的外延表面缺陷失效分析工装，其特征在于：所述驱动电机(402)固定安装于安装壳(3)的一侧侧壁上，所述驱动电机(402)输出轴的一端与滚珠丝杆(401)的一端固定连接。
5.根据权利要求1所述的
6.根据权利要求5所述的一种COS芯片的外延表面缺陷失效分析工装，其特征在于：所述空腔(5)的内顶部固定连接有转动座(14)，所述蜗杆(901)的一端转动安装于转动座(14)的一侧侧壁上，所述双向丝杆(904)的两端分别转动安装于空腔(5)的两侧内壁上。
7.根据权利要求1所述的一种COS芯片的外延表面缺陷失效分析工装，其特征在于：所述打磨组件(12)包括电动推杆(1201)，所述电动推杆(1201)固定安装于匚型架(11)的顶部，所述电动推杆(1201)的伸缩端一端贯穿匚型架(11)固定连接有升降板(1202)，所述升降板(1202)的底部固定连接有抛光装置本体(1203)。
8.根据权利要求1所述的一种COS芯片的外延表面缺陷失效分析工装，其特征在于：所述安装壳(3)的顶部固定安装有四组L型限位件(15)，四组所述L型限位件(15)呈两两对称设置。
...【技术特征摘要】
1.一种cos芯片的外延表面缺陷失效分析工装，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种cos芯片的外延表面缺陷失效分析工装，其特征在于：所述平移组件(4)包括滚珠丝杆(401)，所述滚珠丝杆(401)的两端分别转动安装于安装壳(3)的两侧内壁上，所述滚珠丝杆(401)的一端贯穿安装壳(3)连接有驱动电机(402)，所述滚珠丝杆(401)的外壁上螺纹连接有驱动块(403)，所述驱动块(403)的顶部固定安装有t型块(404)，所述载物台(2)固定安装于t型块(404)的顶部。
3.根据权利要求2所述的一种cos芯片的外延表面缺陷失效分析工装，其特征在于：所述驱动块(403)位于滚珠丝杆(401)的两侧分别滑动插接有导向杆(13)，两组所述导向杆(13)的两端分别固定连接于安装壳(3)的两侧内壁上。
4.根据权利要求3所述的一种cos芯片的外延表面缺陷失效分析工装，其特征在于：所述驱动电机(402)固定安装于安装壳(3)的一侧侧壁上，所述驱动电机(402)输出轴的一端与滚珠丝杆(401)的一端固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种cos芯片的外延表面缺陷失效分析工装，其特征在于：所述调节组件(9)包括蜗杆(901)，所述蜗杆(901)的一端转动安装于...
【专利技术属性】
技术研发人员：梅梦龙，安海岩，严锐，周全，
申请(专利权)人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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