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【技术实现步骤摘要】
本申请涉及硬质材料工件加工,特别是涉及一种用于加工硅片的切片机。
技术介绍
1、多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术,它的原理是通过一根高速运动的切割线对石英晶体、半导体、稀土材料、蓝宝石等硬脆材料进行摩擦,从而达到切割目的。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比有具有效率高,产能高,精度高等优点。
2、现有的多线切割设备例如晶体硅棒切片机或蓝宝石切片机等通常至少包括有:机架,用于固定工件的工作台,用于收、放切割线的收放线筒(也称贮丝筒)、导线轮以及切割辊等,其中,收放线筒和切割辊上均配置有驱动电机。在对工件的实际切割过程中,所述切割线经过导线轮的引导,在切割辊之间形成切割线网,在切片作业时,驱动切割线往复高速运动,使得切割线与工件间形成相对的磨削运动,从而将工件一次同时切割为许多片,例如,几百片甚至几千片。
3、一般地,在切片作业过程中,切割线会被交替驱动高速运动,例如,在某一时刻,切割线以第一运行方向高速运行(切割线的运行速度可高达3000米/分钟左右),然后,收放线筒和切割辊上的驱动电机快速减速直至停止,例如在数秒内将切割线的运行速度由3000米/分钟降至停止,之后,收放线筒和切割辊上的驱动电机快速加速,例如在数秒内将切割线的运行速度由停止升至3000米/分钟,如此往复。在此种使用过程中,收放线筒和切割辊均配置了驱动电机,收放线筒和切割辊能在对应驱动电机的控制下完成正向加速、正向减速急停、反向加速、反向减速急停等操作。不过,相对于收放线筒和切割辊,各个导线轮则是无动力设置,各个导线
4、特别是在当前切割线细线化的发展趋势下,切割线的断线风险日益增加,当前技术中,业界就想着对切割线进行改进,采用钨丝金刚线来替代钢丝金刚线,但这会增加生产成本,且无助于减少导线轮的损耗。此外,为防止切割线出现断线,例如,切割线的张力提供了较大的冗余度,在利用切割线进行切割作业时线割线实际所使用的张力需要适当放小一定量的张力(例如,实际设定的切割线张力要比其能实现的张力小1n至2n),用以防止正反向加减速(例如,正向加速、正向减速急停、反向加速、反向减速急停等)时张力突变引起切割线断裂,但是,放小切割线的张力,将减弱切割线锯的切割能力,延长切割时间,降低切割效率。
技术实现思路
1、鉴于以上所述相关技术的缺点,本申请的目的在于公开一种切片机,用于解决现有相关技术中切割线张力不均衡易致断线、增加导线轮损耗以及增加生产成本等问题。
2、为实现上述目的及其他相关目的,本申请公开一种切片机,包括:机架;收放线单元,包括设于所述机架的第一贮丝筒、第二贮丝筒、以及贮丝筒驱动件;切割单元,包括设于所述机架的至少两切割辊,其中,每一个切割辊均配置有切割辊驱动件;导线单元,包括导线轮和用于驱动导线轮的导线轮驱动件;切割线,所述切割线的一端连接所述第一贮丝筒,所述切割线的另一端连接所述第二贮丝筒,所述切割线依序绕于第一贮丝筒、至少两切割辊、导线轮、以及第二贮丝筒后在所述至少两切割辊之间形成切割线网;送件治具,设于所述机架上,用于将待切割的工件运送至所述至少两切割辊之间的切割线网上进行切割。
3、在本申请的某些实施方式中,所述第一贮丝筒配置有第一贮丝筒驱动件且所述第二贮丝筒配置有第二贮丝筒驱动件,或者,所述第一贮丝筒和所述第二贮丝筒配置有共用的贮丝筒驱动件。
4、在本申请的某些实施方式中,所述切割单元包括第一切割辊和第二切割辊,绕设的切割线在所述第一切割辊和所述第二切割辊之间形成用于切割工件的切割线网。
5、在本申请的某些实施方式中,所述切割单元包括第一切割辊、第二切割辊、以及第三切割辊,所述第一切割辊、第二切割辊、以及第三切割辊组成三角形,绕设的切割线在所述第一切割辊和所述第二切割辊之间形成用于切割工件的切割线网、或者绕设的切割线分别在所述第一切割辊和所述第二切割辊之间以及所述第一切割辊和所述第三切割辊之间形成用于切割工件的第一切割线网和第二切割线网。
6、在本申请的某些实施方式中,所述切割单元包括第一切割辊、第二切割辊、第三切割辊、以及第四切割辊,所述第一切割辊、第二切割辊、第三切割辊、以及第四切割辊组成四边形,绕设的切割线在第一切割辊和第二切割辊之间形成用于切割工件的切割线网、绕设的切割线分别在第一切割辊和第四切割辊之间以及第二切割辊和第三切割辊之间形成用于切割工件的第一切割线网和第二切割线网、或者绕设的切割线分别在第一切割辊和第二切割辊之间、第二切割辊和第三切割辊之间以及第四切割辊和第一切割辊之间形成用于切割工件的第一切割线网、第二切割线网以及第三切割线网。
7、在本申请的某些实施方式中,所述切割单元中的至少一切割辊配置有牵引机构,用于牵引所述至少一切割辊作移动,以调整所述切割线网的切割线长或切割角度。
8、在本申请的某些实施方式中,所述导线轮驱动件包括导线轮电机。
9、在本申请的某些实施方式中,所述切割线为钢丝金刚线或钨丝金刚线。
10、在本申请的某些实施方式中,所述切片机还包括张力控制单元,所述张力控制单元包括张力传感器、张力轮、以及与所述张力轮关联的张力调整机构。
11、在本申请的某些实施方式中,所述切割线的运行速度2000米/分钟至3500米/分钟。
12、本申请公开的切片机包括机架、收放线单元、切割单元、导线单元、切割线、以及送件治具,切割线关联于收放线单元中的贮丝筒并绕于切割单元的切割辊和导线单元的导线轮后在切割辊之间形成切割线网,其中,所述贮丝筒配置有贮丝筒驱动件、切割辊配置有切割辊驱动件以及导线轮配置有导线轮驱动件,所述导线轮驱动件与所述贮丝筒驱动件和切割轮驱动件保持同步运作,如此,在切割运行过程中,可确保切割辊、导线轮与切割线的同步,无拉扯和两边张力差等问题,实现切割线张力平衡,减少了对切割线的损耗,极大减小了切割线的断线风险,使得切割线的细线化成为可能,同时,能将更多的张力都作用于切割线进行切片作业中,提高切割效率,达成降本增效的目的。
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1.一种切片机,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的切片机,其特征在于,所述第一贮丝筒配置有第一贮丝筒驱动件及所述第二贮丝筒配置有第二贮丝筒驱动件;或者,所述第一贮丝筒和所述第二贮丝筒配置有共用的贮丝筒驱动件。
3.根据权利要求1所述的切片机,其特征在于,所述切割单元包括第一切割辊和第二切割辊,绕设的切割线在所述第一切割辊和所述第二切割辊之间形成用于切割工件的切割线网。
4.根据权利要求1所述的切片机,其特征在于,所述切割单元包括第一切割辊、第二切割辊、以及第三切割辊,所述第一切割辊、第二切割辊、以及第三切割辊组成三角形,绕设的切割线在所述第一切割辊和所述第二切割辊之间形成用于切割工件的切割线网、或者绕设的切割线分别在所述第一切割辊和所述第二切割辊之间以及所述第一切割辊和所述第三切割辊之间形成用于切割工件的第一切割线网和第二切割线网。
5.根据权利要求1所述的切片机,其特征在于,所述切割单元包括第一切割辊、第二切割辊、第三切割辊、以及第四切割辊,所述第一切割辊、第二切割辊、第三切割辊、以及第四切割辊组成四边形;绕设的切割线在
6.根据权利要求1所述的切片机,其特征在于,所述切割单元中的至少一切割辊配置有牵引机构,用于牵引所述至少一切割辊作移动以调整所述切割线网的切割线长或切割角度。
7.根据权利要求1所述的切片机,其特征在于,所述导线轮驱动件包括导线轮电机。
8.根据权利要求1所述的切片机,其特征在于,所述切割线为钢丝金刚线或钨丝金刚线。
9.根据权利要求1所述的切片机,其特征在于,还包括张力控制单元,所述张力控制单元包括张力传感器、张力轮、以及与所述张力轮关联的张力调整机构。
10.根据权利要求1所述的切片机,其特征在于,所述切割线的运行速度2000米/分钟至3500米/分钟。
...【技术特征摘要】
1.一种切片机,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的切片机,其特征在于,所述第一贮丝筒配置有第一贮丝筒驱动件及所述第二贮丝筒配置有第二贮丝筒驱动件;或者,所述第一贮丝筒和所述第二贮丝筒配置有共用的贮丝筒驱动件。
3.根据权利要求1所述的切片机,其特征在于,所述切割单元包括第一切割辊和第二切割辊,绕设的切割线在所述第一切割辊和所述第二切割辊之间形成用于切割工件的切割线网。
4.根据权利要求1所述的切片机,其特征在于,所述切割单元包括第一切割辊、第二切割辊、以及第三切割辊,所述第一切割辊、第二切割辊、以及第三切割辊组成三角形,绕设的切割线在所述第一切割辊和所述第二切割辊之间形成用于切割工件的切割线网、或者绕设的切割线分别在所述第一切割辊和所述第二切割辊之间以及所述第一切割辊和所述第三切割辊之间形成用于切割工件的第一切割线网和第二切割线网。
5.根据权利要求1所述的切片机,其特征在于,所述切割单元包括第一切割辊、第二切割辊、第三切割辊、以及第四切割辊,所述第一切割辊、第二切割辊、第三切割辊、以及第四切割辊组成四边形;绕...
【专利技术属性】
技术研发人员:卢建伟,曹奇峰,李鑫,潘雪明,顾斌,钱春军,
申请(专利权)人:上海日进机床有限公司,
类型:发明
国别省市:
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