【技术实现步骤摘要】
本申请属于镀膜，具体涉及一种镀膜设备。
技术介绍
1、镀膜技术广泛应用于航空航天、新能源汽车、电路板等各种领域，其中高功率脉冲磁控溅射技术(hipims)具有离化率高，且易于实现致密、光滑、大面积均匀的高质量薄膜的优点。然而当前的高功率脉冲磁控溅射镀膜设备通常将电源单独设置在一个独立机柜中，然后通过导线连接到靶材的阴极。由于高功率脉冲电源放电频次高，放电时间短，导致电流传输路径上能量损耗较大。
技术实现思路
1、鉴于此，本申请提供了一种镀膜设备，所述镀膜设备包括：
2、腔体，所述腔体包括腔体主体、及装设于所述腔体主体的腔门，所述腔体主体与所述腔门围设形成镀膜空间，每个所述腔门能够相对所述腔体主体转动以打开或关闭所述镀膜空间，且所述腔门靠近所述镀膜空间的一侧用于装设靶材及连接所述靶材的阴极；
3、电源模组，所述电源模组装设于所述腔体主体且用于电连接所述阴极。
4、本申请提供的镀膜设备，使电源模组安装在腔体主体上，首先使得电源模组和阴极的相对位置较短，可以减小电源模组到阴极的导线距离，进而减少了传输路径上的能量损耗，同时降低了电流的反应时间。
5、其次，本申请提供的镀膜设备将较重的电源模组设置在腔体主体上而没有设置在腔门上，在保证电源模组到阴极距离较短的同时，电源模组重量可全部承载在腔体主体，不会给腔门的铰链增加额外的负载，进而不会使得铰链磨损加快，开关门的稳定性较好。而且将电源模组设置在腔体主体上相较于腔门空间更大，电源模组容量的扩展性
6、综上，本申请将电源模组设置在腔体主体上，不仅减小了电源模组负极到阴极的距离，降低了路径上的能量损耗和反应时间，同时电源模组重量可全部承载在腔体主体，不会给腔门的铰链增加额外的负载，从而减少了铰链的磨损，并且使得阴极的拆卸更为简洁。
7、其中，所述腔体主体包括相对设置的顶板与底板，所述腔门设于所述顶板与所述底板之间，所述底板用于设置于支撑架，所述镀膜设备还包括悬臂组件与连接件，所述悬臂组件固定于所述顶板并能够相对所述顶板转动，所述电源模组滑动与转动连接所述悬臂组件，所述连接件的一端固定于所述电源模组，另一端固定于所述腔门；
8、其中，当所述腔门相对所述腔体主体转动时通过所述连接件带动所述电源模组同步转动，所述电源模组带动所述悬臂组件相对所述顶板转动，且所述电源模组还相对所述悬臂组件滑动与转动。
9、其中，所述悬臂组件包括吊臂底座、吊臂滑轨、滑轮、以及配合件，所述吊臂底座固定于所述顶板，所述吊臂滑轨套设于所述吊臂底座并转动连接所述吊臂底座，所述滑轮的一端滑动连接所述吊臂滑轨，所述滑轮的另一端转动连接所述配合件，所述配合件固定连接所述电源模组。
10、其中，所述吊臂滑轨包括转动部与滑动部，所述转动部套设于所述吊臂底座并转动连接所述吊臂底座，所述滑动部包括背离所述电源模组的顶壁、两个侧壁、以及两个底壁，两个所述侧壁弯折连接于所述顶壁的相对两侧，每个所述侧壁背离所述顶壁的一侧弯折连接一个所述底壁，且两个所述底壁相互靠近且间隙设置，所述顶壁、两个所述侧壁、以及两个所述底壁围设形成滑动空间，所述滑轮的一端设于所述滑动空间内，所述滑轮的另一端通过两个所述底壁之间的间隙穿出并转动连接所述配合件。
11、其中，所述吊臂滑轨包括转动部与滑动部，所述转动部套设于所述吊臂底座并转动连接所述吊臂底座，所述滑动部包括相对设置的顶壁与底壁、及设于所述顶壁与所述底壁之间的隔断壁，所述顶壁相较于所述底壁远离所述电源模组，所述顶壁、所述底壁、以及所述隔断壁围设形成两个分隔的滑动空间；所述滑轮包括第一子滑轮、第二子滑轮、及连接部，所述第一子滑轮设于一个所述滑动空间内，所述第二子滑轮设于另一个所述滑动空间内，所述连接部的一端连接所述第一子滑轮与所述第二子滑轮，所述连接部的另一端转动连接所述配合件。
12、其中，所述悬臂组件还包括限位件，所述限位件固定于所述滑动部，所述悬臂组件满足如下情况中的至少一种：
13、当所述腔门相对所述腔体主体转动以关闭所述镀膜空间时所述滑轮抵持所述限位件；
14、当所述腔门相对所述腔体主体转动预设角度以打开所述镀膜空间时所述滑轮抵持所述限位件。
15、其中，所述腔体主体包括相对设置的顶板与底板，所述腔门设于所述顶板与所述底板之间，所述底板用于设置于支撑架，所述电源模组固定于所述顶板。
16、其中，所述镀膜设备还包括电连接件，所述电连接件的一端固定连接所述电源模组，另一端用于连接所述阴极。
17、其中，所述镀膜设备还包括电连接件，所述电连接的一端可分离式地插接所述电源模组，另一端连接所述阴极，当所述腔门相对所述腔体主体转动以打开所述镀膜空间时，所述电连接件的一端与所述电源模组相分离，当所述腔门相对所述腔体主体转动以关闭所述镀膜空间时，所述电连接件的一端插接于所述电源模组。
18、其中，所述镀膜设备包括多个所述电源模组与多个电连接件，所述腔门靠近所述镀膜空间的一侧用于对应设有多个所述靶材及多个所述阴极，每个所述阴极设置于一个所述靶材，每个所述电连接件的一端连接一个所述电源模组，另一端连接所述阴极，多个所述电连接件的长度相等。
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1.一种镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备包括：
2.如权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述腔体主体包括相对设置的顶板与底板，所述腔门设于所述顶板与所述底板之间，所述底板用于设置于支撑架，所述镀膜设备还包括悬臂组件与连接件，所述悬臂组件固定于所述顶板并能够相对所述顶板转动，所述电源模组滑动与转动连接所述悬臂组件，所述连接件的一端固定于所述电源模组，另一端固定于所述腔门；
3.如权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述悬臂组件包括吊臂底座、吊臂滑轨、滑轮、以及配合件，所述吊臂底座固定于所述顶板，所述吊臂滑轨套设于所述吊臂底座并转动连接所述吊臂底座，所述滑轮的一端滑动连接所述吊臂滑轨，所述滑轮的另一端转动连接所述配合件，所述配合件固定连接所述电源模组。
4.如权利要求3所述的镀膜设备，其特征在于，所述吊臂滑轨包括转动部与滑动部，所述转动部套设于所述吊臂底座并转动连接所述吊臂底座，所述滑动部包括背离所述电源模组的顶壁、两个侧壁、以及两个底壁，两个所述侧壁弯折连接于所述顶壁的相对两侧，每个所述侧壁背离所述顶壁的一侧弯折连接一个所述底壁，且两个所
5.如权利要求3所述的镀膜设备，其特征在于，所述吊臂滑轨包括转动部与滑动部，所述转动部套设于所述吊臂底座并转动连接所述吊臂底座，所述滑动部包括相对设置的顶壁与底壁、及设于所述顶壁与所述底壁之间的隔断壁，所述顶壁相较于所述底壁远离所述电源模组，所述顶壁、所述底壁、以及所述隔断壁围设形成两个分隔的滑动空间；所述滑轮包括第一子滑轮、第二子滑轮、及连接部，所述第一子滑轮设于一个所述滑动空间内，所述第二子滑轮设于另一个所述滑动空间内，所述连接部的一端连接所述第一子滑轮与所述第二子滑轮，所述连接部的另一端转动连接所述配合件。
6.如权利要求4或5所述的镀膜设备，其特征在于，所述悬臂组件还包括限位件，所述限位件固定于所述滑动部，所述悬臂组件满足如下情况中的至少一种：
7.如权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述腔体主体包括相对设置的顶板与底板，所述腔门设于所述顶板与所述底板之间，所述底板用于设置于支撑架，所述电源模组固定于所述顶板。
8.如权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括电连接件，所述电连接件的一端固定连接所述电源模组，另一端用于连接所述阴极。
9.如权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括电连接件，所述电连接的一端可分离式地插接所述电源模组，另一端连接所述阴极，当所述腔门相对所述腔体主体转动以打开所述镀膜空间时，所述电连接件的一端与所述电源模组相分离，当所述腔门相对所述腔体主体转动以关闭所述镀膜空间时，所述电连接件的一端插接于所述电源模组。
10.如权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备包括多个所述电源模组与多个电连接件，所述腔门靠近所述镀膜空间的一侧用于对应设有多个所述靶材及多个所述阴极，每个所述阴极设置于一个所述靶材，每个所述电连接件的一端连接一个所述电源模组，另一端连接所述阴极，多个所述电连接件的长度相等。
...【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备包括：
2.如权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述腔体主体包括相对设置的顶板与底板，所述腔门设于所述顶板与所述底板之间，所述底板用于设置于支撑架，所述镀膜设备还包括悬臂组件与连接件，所述悬臂组件固定于所述顶板并能够相对所述顶板转动，所述电源模组滑动与转动连接所述悬臂组件，所述连接件的一端固定于所述电源模组，另一端固定于所述腔门；
3.如权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述悬臂组件包括吊臂底座、吊臂滑轨、滑轮、以及配合件，所述吊臂底座固定于所述顶板，所述吊臂滑轨套设于所述吊臂底座并转动连接所述吊臂底座，所述滑轮的一端滑动连接所述吊臂滑轨，所述滑轮的另一端转动连接所述配合件，所述配合件固定连接所述电源模组。
4.如权利要求3所述的镀膜设备，其特征在于，所述吊臂滑轨包括转动部与滑动部，所述转动部套设于所述吊臂底座并转动连接所述吊臂底座，所述滑动部包括背离所述电源模组的顶壁、两个侧壁、以及两个底壁，两个所述侧壁弯折连接于所述顶壁的相对两侧，每个所述侧壁背离所述顶壁的一侧弯折连接一个所述底壁，且两个所述底壁相互靠近且间隙设置，所述顶壁、两个所述侧壁、以及两个所述底壁围设形成滑动空间，所述滑轮的一端设于所述滑动空间内，所述滑轮的另一端通过两个所述底壁之间的间隙穿出并转动连接所述配合件。
5.如权利要求3所述的镀膜设备，其特征在于，所述吊臂滑轨包括转动部与滑动部，所述转动部套设于所述吊臂底座并转动连接所述吊臂底座，所述滑动部包括相对设置的顶壁与底壁、及设于所述顶壁与所述底壁之间的隔断壁，所述顶壁相较于所述底壁...
【专利技术属性】
技术研发人员：李丽欢，赵显东，
申请(专利权)人：深圳市鑫意晟科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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