【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造领域，具体涉及一种半导体制造执行系统手动批处理支持自动派工的方法。
技术介绍
1、在半导体集成电路制造车间，实时派工模块没有办法对手动组的批次或是批次中已进行准备的批次进行派工，导致生产效率低下。
技术实现思路
1、为解决现有技术中存在的技术问题，本专利技术提供了一种基于半导体制造执行系统实现手动批次自动派工的方法。
2、为达到上述目的，本专利技术的技术解决方案如下:
3、一种基于半导体制造执行系统实现手动批次自动派工的方法，包括以下步骤：
4、步骤一，创建批次，批次处于分类状态；
5、步骤二，制造执行系统接到设备自动化平台发送的派工请求后，变更端口状态为准备派工；
6、步骤三，实时派工模块根据调度规则执行端口批次装载；
7、步骤四，找到批次中存在的手动批次，进行检查；
8、步骤五，将手动批次添加到手动批次列表中，根据可用端口分配手动批次的载具的端口位置；
9、步骤六，根据手动批次搬送载具清单产生手动批次搬送任务；
10、步骤七，将手动批次搬送到设备端口。
11、作为优选的技术方案，在步骤一中，创建批次时，每个批次具有相同的配方和相同状态。
12、作为优选的技术方案，步骤五包括：执行可用端口批次装载；以查询记录创建实时调度批次；以查询记录创建实时调度载具并关联到实时调度批次；若批次已派工成功但搬运失败，则跳过批次；判断批次类型是
13、作为优选的技术方案，手动批次搬送过程包括以下步骤：从准备清单列表中提取与当前派工端口物料相同且状态处于预定的任务；对提取结构进行排序；按可用端口分派载具；进行派工，派工成功则等待后续到达的的批次，派工失败，则查看是否有已经准备好的批次，有则直接进行调度，没有则手动组建批次，自动进行准备。
14、作为优选的技术方案，从准备清单列表中提取任务的条件是：载具处于等待搬运且未在派工设备上；载具未处于等待搬运且可更改目的地。
15、作为优选的技术方案，对手动批次派工时的检查项包括：端口物料匹配、批次规则、监控批次计数、可用载具数量、最大载具数量、产品批次最大片数、最少载具数量、产品批次最少片数、锁定载具。
16、与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：
17、本专利技术的基于半导体制造执行系统实现手动批次自动派工的方法，由实时派工模块负责抓取手动组的批次并发送指令给制造执行系统中的搬运模块，由搬运模块负责把搬送指令下发给物料控制系统，从而实现手动组批次的自动派工。具体能实现以下功能：
18、(1)对已组建手动组的批次进行准备时，自动对手动组中的所有批次进行准备且任务id为同一个；
19、(2)对未组建手动组的多个批次准备成功后自动组建手动组；
20、(3)对已组建手动组但未准备的手动批次进行派工，派工成功后会自动进行准备。
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1.一种基于半导体制造执行系统实现手动批次自动派工的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的半导体制造执行系统手动批处理支持自动派工的方法，其特征在于，在所述步骤一中，创建批次时，每个批次具有相同的配方和相同状态。
3.根据权利要求1所述的半导体制造执行系统手动批处理支持自动派工的方法，其特征在于，所述步骤五包括：执行可用端口批次装载；以查询记录创建实时调度批次；以查询记录创建实时调度载具并关联到所述实时调度批次；若批次已派工成功但搬运失败，则跳过批次；判断批次类型是否与设备许可类型匹配，匹配则将批次将入批次清单列表；查询结果全部处理完成后，记录可用端口ID，对批次清单进行过滤，进入下一步工序。
4.根据权利要求1所述的半导体制造执行系统手动批处理支持自动派工的方法，其特征在于，手动批次搬送过程包括以下步骤：从准备清单列表中提取与当前派工端口物料相同且状态处于预定的任务；对提取结构进行排序；按可用端口分派载具；进行派工，派工成功则等待后续到达的的批次，派工失败，则查看是否有已经准备好的批次，有则直接进行调度，没有则手动组建批次
5.根据权利要求4所述的半导体制造执行系统手动批处理支持自动派工的方法，其特征在于，从准备清单列表中提取任务的条件是：载具处于等待搬运且未在派工设备上；载具未处于等待搬运且可更改目的地。
6.根据权利要求1所述的半导体制造执行系统手动批处理支持自动派工的方法，其特征在于，对手动批次派工时的检查项包括：端口物料匹配、批次规则、监控批次计数、可用载具数量、最大载具数量、产品批次最大片数、最少载具数量、产品批次最少片数、锁定载具。
...【技术特征摘要】
1.一种基于半导体制造执行系统实现手动批次自动派工的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的半导体制造执行系统手动批处理支持自动派工的方法，其特征在于，在所述步骤一中，创建批次时，每个批次具有相同的配方和相同状态。
3.根据权利要求1所述的半导体制造执行系统手动批处理支持自动派工的方法，其特征在于，所述步骤五包括：执行可用端口批次装载；以查询记录创建实时调度批次；以查询记录创建实时调度载具并关联到所述实时调度批次；若批次已派工成功但搬运失败，则跳过批次；判断批次类型是否与设备许可类型匹配，匹配则将批次将入批次清单列表；查询结果全部处理完成后，记录可用端口id，对批次清单进行过滤，进入下一步工序。
4.根据权利要求1所述的半导体制造执行系统手动批处理支持自动派工的方法，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋海鑫，张沛文，姜志，姜罡，叶宇晖，
申请(专利权)人：上海哥瑞利软件股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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