【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，特别涉及一种测定tvoc影响能力的测试装置。
技术介绍
1、在制备晶圆过程中，若晶圆制造环境中的总挥发性有机物(简称tvoc)浓度太高会使晶圆产生诸多缺陷，进而降低晶圆的生产良率。而不同浓度的tvoc对晶圆的影响程度需要通过专用的测试装置进行测定。
2、现有的测试装置一般仅具有单腔，测试时分别将产品和能够产生tvoc的实验试剂放入腔体内。等待设定时间后，对腔体内的tvoc浓度进行采样，并对测试产品进行检测分析，进而得到不同浓度的tvoc对产品的影响程度。
3、现有的测试装置实际测试时，若需要增加腔室内的tvoc浓度，则需要开舱并重新放入不同浓度的tvoc实验试剂。由于每次开舱后，腔室内的tvoc背景值不同，且tvoc背景值的变化不可控，使得每次开腔放入不同用量的实验试剂后，腔体内的tvoc浓度较预设值随机变化，进而影响产品的测试效果。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种测定tvoc影响能力的测试装置，该装置通过双腔设计，可简化操作流程，确保样品测试时的单一变量原则，进而提升测试装置测试的准确性。
2、为实现上述目的，本专利技术提供一种测定tvoc影响能力的测试装置，包括采样组件，所述采样组件包括测试舱、输送舱和采样口，所述测试舱和所述输送舱之间设置有第一阀门，所述第一阀门用于连通或隔绝所述测试舱和所述输送舱；所述测试舱用于放置样品，所述输送舱用于放置实验试剂，所述实验试剂能够缓慢释放tvoc；所述第一阀门打开后，
3、可选的，所述测试舱和/或所述输送舱采用硅胶密封条进行舱门的密封，所述硅胶密封条的tvoc测试值低于预设值。
4、可选的，所述预设值为5ug/m3。
5、可选的，所述测试舱和/或所述输送舱采用不锈钢板进行制备。
6、可选的，所述第一阀门为法兰闸阀，所述法兰闸阀设置在所述测试舱和所述输送舱相对布置的舱壁之间。
7、可选的，所述采样口的数量为多个，一部分所述采样口设置在所述测试舱上，并用于检测所述测试舱内的tvoc浓度；另一部分所述采样口设置在所述输送舱上，并用于检测所述输送舱内的tvoc浓度。
8、可选的，所述测定tvoc影响能力的测试装置还包括排气口，所述测试舱和所述输送舱上均设置有所述排气口。
9、可选的，所述测定tvoc影响能力的测试装置还包括排气管，所述排气管用于连接所述排气口，所述排气管上设置有第二阀门，所述第二阀门用于打开或关闭所述排气管。
10、可选的，所述测试舱和/或所述输送舱上设置有观察口。
11、可选的，所述测定tvoc影响能力的测试装置还包括推车，所述推车用于承载并移动所述采样组件。
12、本专利技术提供一种测定tvoc影响能力的测试装置，该装置具有测试舱和输送舱。其中，测试舱用于放置样品，输送舱用于放置实验试剂。实际测试时，操作者能够在保持测试舱密封的情况下向输送舱内加入实验试剂，并能够通过打开第一阀门使输送舱内的tvoc流动至测试舱中，以提升测试舱内的tvoc浓度。
13、由于在整个测试过程中不开启测试舱，使得测试舱的tvoc背景值不改变。且每次增加测试舱中的tvoc浓度均通过输送舱向测试舱中输送体积可控的tvoc，故可确保测试舱内的tvoc浓度始终等比例增加，并保证样品测试时的单一变量原则，如此设置，可简化操作流程，减少实验试剂消耗，并提升测试装置测试的准确性。
14、此外，将测试舱和/或输送舱采用特制的硅胶密封条进行密封，由于硅胶密封条的tvoc背景值较小，故可减轻密封条对测试舱和/或输送舱内tvoc背景值的影响，进而提升测试的准确性。
15、并且，为确保测试舱和输送舱的密封性，测试舱和/或输送舱采用不锈钢板进行制备。由于不锈钢板不会产生tvoc，故不会影响测试舱的tvoc背景值。同时，由于不锈钢板焊接后的密封性较好，进而不会使实验试剂外泄造成环境污染。
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1.一种测定TVOC影响能力的测试装置，其特征在于，包括采样组件，所述采样组件包括测试舱、输送舱和采样口，所述测试舱和所述输送舱之间设置有第一阀门，所述第一阀门用于连通或隔绝所述测试舱和所述输送舱；所述测试舱用于放置样品，所述输送舱用于放置实验试剂，所述实验试剂能够缓慢释放TVOC；所述第一阀门打开后，所述输送舱内的TVOC能够流动至所述测试舱内，以使所述样品与所述TVOC相接触；所述采样口设置在所述测试舱上，并用于检测所述测试舱内的TVOC浓度。
2.如权利要求1所述的测定TVOC影响能力的测试装置，其特征在于，所述测试舱和/或所述输送舱采用硅胶密封条进行舱门的密封，所述硅胶密封条的TVOC测试值低于预设值。
3.如权利要求2所述的测定TVOC影响能力的测试装置，其特征在于，所述预设值为5ug/m3。
4.如权利要求1所述的测定TVOC影响能力的测试装置，其特征在于，所述测试舱和/或所述输送舱采用不锈钢板进行制备。
5.如权利要求1所述的测定TVOC影响能力的测试装置，其特征在于，所述第一阀门为法兰闸阀，所述法兰闸阀设置在所述测试
6.如权利要求1所述的测定TVOC影响能力的测试装置，其特征在于，所述采样口的数量为多个，一部分所述采样口设置在所述测试舱上，并用于检测所述测试舱内的TVOC浓度；另一部分所述采样口设置在所述输送舱上，并用于检测所述输送舱内的TVOC浓度。
7.如权利要求1所述的测定TVOC影响能力的测试装置，其特征在于，还包括排气口，所述测试舱和所述输送舱上均设置有所述排气口。
8.如权利要求1所述的测定TVOC影响能力的测试装置，其特征在于，还包括排气管，所述排气管用于连接所述排气口，所述排气管上设置有第二阀门，所述第二阀门用于打开或关闭所述排气管。
9.如权利要求1所述的测定TVOC影响能力的测试装置，其特征在于，所述测试舱和/或所述输送舱上设置有观察口。
10.如权利要求1-9中任一项所述的测定TVOC影响能力的测试装置，其特征在于，还包括推车，所述推车用于承载并移动所述采样组件。
...【技术特征摘要】
1.一种测定tvoc影响能力的测试装置，其特征在于，包括采样组件，所述采样组件包括测试舱、输送舱和采样口，所述测试舱和所述输送舱之间设置有第一阀门，所述第一阀门用于连通或隔绝所述测试舱和所述输送舱；所述测试舱用于放置样品，所述输送舱用于放置实验试剂，所述实验试剂能够缓慢释放tvoc；所述第一阀门打开后，所述输送舱内的tvoc能够流动至所述测试舱内，以使所述样品与所述tvoc相接触；所述采样口设置在所述测试舱上，并用于检测所述测试舱内的tvoc浓度。
2.如权利要求1所述的测定tvoc影响能力的测试装置，其特征在于，所述测试舱和/或所述输送舱采用硅胶密封条进行舱门的密封，所述硅胶密封条的tvoc测试值低于预设值。
3.如权利要求2所述的测定tvoc影响能力的测试装置，其特征在于，所述预设值为5ug/m3。
4.如权利要求1所述的测定tvoc影响能力的测试装置，其特征在于，所述测试舱和/或所述输送舱采用不锈钢板进行制备。
5.如权利要求1所述的测定tvoc影响能力的测试装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：王石强，袁海岭，孙群，沈璐，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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