【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学扫描，特别涉及一种基于mems微镜的光学扫描装置。
技术介绍
1、扫描微镜与光学相干层析成像技术相结合，进行内窥镜成像系统开发是专利申请单位的主要开发项目。为了使这类内窥镜的局限性问题得到解决，减少成本、降低探头结构复杂程度和缩小探头直径，实现前向扫描和侧向扫描或侧前向扫描可切换的mems光学探头，申请号为201410067366.0的中国专利中公开了一种可切换工作模式的mems光学扫描探头，包括外壳及组装在其内的主体基座；所述主体基座上侧的凹槽内设置有透镜组件，其斜面的凹槽内设置有第一mems微镜；所述主体基座下侧的凹槽内设有第二mems微镜；光束通过光纤经由透镜组件射入到第一mems微镜上，再通过第一mems微镜反射到第二mems微镜上；外部电路通过控制所述第二mems微镜上的电压通断。
2、上述专利虽然解决了上述问题，但是为使第二mems微镜相对于第一mems微镜摆动，需要向双金属驱动臂通入电流，用电流使双金属驱动臂发热并发生弯曲，带动第二mems微镜摆动，这种控制方式一是难以保证第二mems微镜准确的展平或偏转，二是仅能控制第二mems微镜调节角度，不能控制第一mems微镜调节角度，扫描病区时不能将光线更好的照射到侧部病区上，需要改进。
技术实现思路
1、为了解决上述问题，本专利技术提供了以下技术方案：
2、一种基于mems微镜的光学扫描装置，包括内壳，所述内壳内设有基座，所述基座的顶部开设有组装槽，所述组装槽的两端贯通所述基座的两
3、所述内壳的外层套有外壳，所述外壳的前侧设有第二镜窗；所述第二mems微镜相对于所述第一mems微镜上下偏转时，使得所述第二mems微镜还对于所述第二镜窗的后侧变换角度；
4、所述第二mems微镜的两侧铰接有连杆，两所述连杆的另一端又铰接在所述第一mems微镜的两侧上，所述第二mems微镜相对于所述第一mems微镜上下偏转时，还能够通过两所述连杆带着所述第一mems微镜相对于所述镜头上下偏转；
5、所述外壳的上方设有第一镜窗，所述连杆带着所述第一mems微镜相对于所述镜头上下偏转时，使得所述第一mems微镜相对于所述第一镜窗的下方变换角度。
6、进一步优选的，所述透镜组件内连接有光束线，所述光束线向后延伸。
7、进一步优选的，所述外壳是圆柱状，所述第二镜窗按所述外壳的圆柱轮廓设置在所述外壳上。
8、进一步优选的，所述第二镜窗呈球面形状设置在所述外壳的前端上。
9、进一步优选的，所述外壳的后端内填充有锁紧套，所述锁紧套的内壁面紧密锁紧在所述内壳的外壁面上，所述外壳与所述内壳之间形成间隙，所述间隙向前延伸至与所述镜头、第一mems微镜、以及所述第二mems微镜所在的腔室前后相通。
10、进一步优选的，所述基座的前端开设有斜面，所述槽口沿着斜面的倾斜角度开设在斜面上，使得所述第一mems微镜位于所述槽口内也位于倾斜角度上，由斜面的一端向后开设有逐渐向下倾斜的斜孔，所述斜孔内设有弹性拉带，所述弹性拉带的后端连接在所述斜孔的后端上，所述弹性拉带的前端连接在所述第一mems微镜的倾斜顶端上，所述连杆铰接在所述第一mems微镜的倾斜底端上，所述连杆带着所述第一mems微镜的倾斜底端向上偏转时，由所述第一mems微镜的倾斜顶端离开所述槽口，并由所述第一mems微镜的倾斜顶端带着所述弹性拉带沿着所述斜孔向前弹性拉长，同时将所述第一mems微镜自所述镜头的底部向前拖拽。
11、进一步优选的，所述内壳的底部由前向后开设有线孔，所述控制线贯穿在所述线孔内，所述基座的后端开设有定位孔，所述线孔的后端贯通连接所述定位孔，所述定位孔内设有操作杆，所述控制线的后端进入所述定位孔内并连接在所述操作杆上。
12、进一步优选的，所述定位孔内填充有弹簧，所述操作杆的后端贯穿至所述基座的后端之外，所述定位孔的后端固定有限制板，所述弹簧套在所述操作杆上，所述弹簧的后端顶在所述限制板上。
13、本专利技术相比于现有技术的有益效果是：
14、1、本专利技术通过控制线控制第二mems微镜的角度偏转，想要让光线以集中投射的方式反射到侧部组织上，使侧部组织的扫描清晰度得到进一步提高，松开操作杆，控制线上的拖拽力消失，弹簧释放长度，将操作杆退回定位孔内，控制线上的拖拽力消失，金属韧带由向下弯曲变为向上恢复形状，并带着第二mems微镜向上回转，第二mems微镜回转到如图所示的角度上时，正好遮盖在第一mems微镜的前侧，将第一mems微镜前侧的光线路径完全隔挡，此时镜头照射到镜头上的光线照射到第一mems微镜上，经第一mems微镜向前反射到第二mems微镜上，经第二mems微镜反射隔挡后再次反射到第一mems微镜上，光线经第一mems微镜向上反射到第一镜窗上，透过第一镜窗完全照射到侧部方向上的病患组织上，对侧部组织完成更加清晰的扫描。与现有技术不同的是为使第二mems微镜上下偏转，所使用的动力是控制线，因此不需要像现有技术那样，为控制第二mems微镜上下偏转，需要另置电路将金属韧带加热至弯曲，一是节省了电路，二是采用控制线拖拽第二mems微镜的方式，调整第二mems微镜的偏转角度，解决了现有技术中金属韧带加热时，不能保证其是否能够弯曲或展平的问题。
15、2、利用控制线控制第二mems微镜的偏转动作，用于调节第一mems微镜的角度，与此同时弹性拉带沿着斜孔向前上方向拉长，使第一mems微镜的反射面与第一镜窗的互应面接近平行，使镜头照出的光线经第一mems微镜接取后更加有效的反射到第一镜窗上，最后再由第一镜窗更加有效的照射到侧部组织上，使侧部组织的扫描清晰度得到进一步提高。不仅用于调整第二mems微镜的角度，而且通过用力拖拽第二mems微镜的向下偏转角度，还能够调节第一mems微镜相对于第一镜窗的角度，仅对于侧部组织扫描时，第二mems微镜的向下偏转，仅起到了辅助拖拽第一mems微镜的作用。
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1.一种基于MEMS微镜的光学扫描装置，其特征在于，包括内壳(1)，所述内壳(1)内设有基座(2)，所述基座(2)的顶部开设有组装槽(3)，所述组装槽(3)的两端贯通所述基座(2)的两端，所述组装槽(3)内固定有透镜组件(4)，所述透镜组件(4)的前端安装有镜头(5)，所述基座(2)的前端开设有槽口(6)，所述槽口(6)位于所述镜头(5)的下方，所述槽口(6)内铰接有第一MEMS微镜(7)，所述第一MEMS微镜(7)位于所述镜头(5)的下方，所述基座(2)的前端连接有金属韧带(8)，并通过所述金属韧带(8)在所述基座(2)的前端连接有第二MEMS微镜(9)，所述第二MEMS微镜(9)伸展在所述第一MEMS微镜(7)的前侧，所述第二MEMS微镜(9)的前侧底部连接有控制线(10)，所述控制线(10)由所述基座(2)的前端向后贯穿至所述基座(2)的后侧，由所述基座(2)的后侧操纵所述控制线(10)能够控制所述第二MEMS微镜(9)相对于所述第一MEMS微镜(7)上下偏转；所述内壳(1)的外层套有外壳(12)，所述外壳(12)的前侧设有第二镜窗(14)；所述第二MEMS微镜(9)相对于
2.根据权利要求1所述的基于MEMS微镜的光学扫描装置，其特征在于，所述透镜组件(4)内连接有光束线(15)，所述光束线(15)向后延伸。
3.根据权利要求2所述的基于MEMS微镜的光学扫描装置，其特征在于，所述外壳(12)是圆柱状，所述第二镜窗(14)按所述外壳(12)的圆柱轮廓设置在所述外壳(12)上。
4.根据权利要求3所述的基于MEMS微镜的光学扫描装置，其特征在于，所述第二镜窗(14)呈球面形状设置在所述外壳(12)的前端上。
5.根据权利要求4所述的基于MEMS微镜的光学扫描装置，其特征在于，所述外壳(12)的后端内填充有锁紧套(16)，所述锁紧套(16)的内壁面紧密锁紧在所述内壳(1)的外壁面上，所述外壳(12)与所述内壳(1)之间形成间隙(17)，所述间隙(17)向前延伸至与所述镜头(5)、第一MEMS微镜(7)、以及所述第二MEMS微镜(9)所在的腔室前后相通。
6.根据权利要求5所述的基于MEMS微镜的光学扫描装置，其特征在于，所述基座(2)的前端开设有斜面，所述槽口(6)沿着斜面的倾斜角度开设在斜面上，使得所述第一MEMS微镜(7)位于所述槽口(6)内也位于倾斜角度上，由斜面的一端向后开设有逐渐向下倾斜的斜孔(18)，所述斜孔(18)内设有弹性拉带(19)，所述弹性拉带(19)的后端连接在所述斜孔(18)的后端上，所述弹性拉带(19)的前端连接在所述第一MEMS微镜(7)的倾斜顶端上，所述连杆(11)铰接在所述第一MEMS微镜(7)的倾斜底端上，所述连杆(11)带着所述第一MEMS微镜(7)的倾斜底端向上偏转时，由所述第一MEMS微镜(7)的倾斜顶端离开所述槽口(6)，并由所述第一MEMS微镜(7)的倾斜顶端带着所述弹性拉带(19)沿着所述斜孔(18)向前弹性拉长，同时将所述第一MEMS微镜(7)自所述镜头(5)的底部向前拖拽。
7.根据权利要求6所述的基于MEMS微镜的光学扫描装置，其特征在于，所述内壳(1)的底部由前向后开设有线孔(20)，所述控制线(10)贯穿在所述线孔(20)内，所述基座(2)的后端开设有定位孔(21)，所述线孔(20)的后端贯通连接所述定位孔(21)，所述定位孔(21)内设有操作杆(22)，所述控制线(10)的后端进入所述定位孔(21)内并连接在所述操作杆(22)上。
8.根据权利要求7所述的基于MEMS微镜的光学扫描装置，其特征在于，所述定位孔(21)内填充有弹簧(23)，所述操作杆(22)的后端贯穿至所述基座(2)的后端之外，所述定位孔(21)的后端固定有限制板(24)，所述弹簧(23)套在所述操作杆(22)上，所述弹簧(23)的后端顶在所述限制板(24)上。
...【技术特征摘要】
1.一种基于mems微镜的光学扫描装置，其特征在于，包括内壳(1)，所述内壳(1)内设有基座(2)，所述基座(2)的顶部开设有组装槽(3)，所述组装槽(3)的两端贯通所述基座(2)的两端，所述组装槽(3)内固定有透镜组件(4)，所述透镜组件(4)的前端安装有镜头(5)，所述基座(2)的前端开设有槽口(6)，所述槽口(6)位于所述镜头(5)的下方，所述槽口(6)内铰接有第一mems微镜(7)，所述第一mems微镜(7)位于所述镜头(5)的下方，所述基座(2)的前端连接有金属韧带(8)，并通过所述金属韧带(8)在所述基座(2)的前端连接有第二mems微镜(9)，所述第二mems微镜(9)伸展在所述第一mems微镜(7)的前侧，所述第二mems微镜(9)的前侧底部连接有控制线(10)，所述控制线(10)由所述基座(2)的前端向后贯穿至所述基座(2)的后侧，由所述基座(2)的后侧操纵所述控制线(10)能够控制所述第二mems微镜(9)相对于所述第一mems微镜(7)上下偏转；所述内壳(1)的外层套有外壳(12)，所述外壳(12)的前侧设有第二镜窗(14)；所述第二mems微镜(9)相对于所述第一mems微镜(7)上下偏转时，使得所述第二mems微镜(9)还对于所述第二镜窗(14)的后侧变换角度；所述第二mems微镜(9)的两侧铰接有连杆(11)，两所述连杆(11)的另一端又铰接在所述第一mems微镜(7)的两侧上，所述第二mems微镜(9)相对于所述第一mems微镜(7)上下偏转时，还能够通过两所述连杆(11)带着所述第一mems微镜(7)相对于所述镜头(5)上下偏转；所述外壳(12)的上方设有第一镜窗(13)，所述连杆(11)带着所述第一mems微镜(7)相对于所述镜头(5)上下偏转时，使得所述第一mems微镜(7)相对于所述第一镜窗(13)的下方变换角度。
2.根据权利要求1所述的基于mems微镜的光学扫描装置，其特征在于，所述透镜组件(4)内连接有光束线(15)，所述光束线(15)向后延伸。
3.根据权利要求2所述的基于mems微镜的光学扫描装置，其特征在于，所述外壳(12)是圆柱状，所述第二镜窗(14)按所述外壳(12)的圆柱轮廓设置在所述外壳(12)上。
4.根据权利要求3所述的基于me...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡庆周，
申请(专利权)人：深圳市英唐极光微技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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