【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池板，更具体的说是涉及一种太阳能板钝化控制工艺及其设备。
技术介绍
1、太阳能电池是一种将太阳的光能直接转化为电能的半导体器件。由于它是绿色环保产品，不会引起环境污染，而且利用的是可再生资源，所以在当今能源短缺的情形下，太阳能电池具有广阔的发展前景。
2、背钝化是在硅片的背面依次生成氧化铝和氮化硅薄膜，制备钝化层，形成背钝化电池，能够减少电池背面载流子复合，增加载流子寿命，进而提高电池的转换效率。然而，目前在进行背钝化时，直接向反应箱体内通入tma和臭氧，但是这种方式，会使反应不完全，钝化效果差。
3、因此，研究出一种可以充分反应，且钝化效果好的太阳能板钝化控制工艺及其设备是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供了一种可以充分反应，且钝化效果好的太阳能板钝化控制工艺及其设备。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
3、一种太阳能板钝化控制工艺，包括如下钝化步骤：
4、s1，先将需要钝化的太阳能板置于反应箱内，向所述反应箱内先通入三甲基铝，通完三甲基铝后，再继续向反应箱内通入臭氧进行反应；
5、s2，反应指定时间后，对反应箱内进行抽真空；
6、s3，抽真空完成后，再依次向反应箱内通入三甲基铝和臭氧，多次重复步骤s1和s2，直到反应完全。
7、采用上述技术方案的有益效果是，本专利技术中多次反复通气，抽真空，可以使反应箱内
8、优选的，步骤s1中在三甲基铝的通入时间是5s，臭氧的通入时间是10s。
9、优选的，步骤s2中对所述反应箱内抽真空时，间歇进行抽取。
10、优选的，在对所述反应箱内进行抽真空时，先抽取5s，停5s，然后再抽取10s，停5s，再抽取20s，停5s，再抽取40s，停5s，抽取时间依次递增，直到将所述反应箱内气体抽取完成后停止。间歇性抽真空可以使反应箱内的气体流通起来，提高钝化效果。
11、优选的，所述反应箱内设有压力传感器，在抽真空时，当所述压力传感器检测到所述反应箱内的压力达到压力设定值后，停止抽真空。压力传感器的设置可以提高抽真空的准确性。
12、优选的，所述反应箱内的温度设定在200℃-400℃。
13、一种太阳能板钝化设备，包括：第一通气管、第二通气管以及真空泵，所述第一通气管、第二通气管以及真空泵均与反应箱的内部相连通；所述第一通气管与三甲基铝储气瓶相连通，所述第二通气管与臭氧储气瓶相连通。
14、优选的，所述反应箱内设置有第一进气嘴和第二进气嘴；所述第一进气嘴与所述第一通气管相连通，所述第二进气嘴与所述第二通气管相连通。第一进气嘴和第二进气嘴方便向反应箱内通入气体。
15、优选的，所述反应箱的内部设置有真空抽气板，所述真空抽气板与所述真空泵连接，所述真空抽气板的表面呈向其内部凹陷的弧形状；所述真空抽气板的表面设有抽气孔。
16、优选的，所述真空抽气板的表面抽气孔的位置转动连接有抽气嘴。抽气嘴转动方便调整抽气嘴的角度。
17、经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本专利技术公开提供了一种太阳能板钝化控制工艺及其设备，其有益效果是，本专利技术中通过多次通气、抽真空，并且抽真空时采用反复抽取的方式，可以增加反应箱内气体的流动性，同时可以提高钝化效果。
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1.一种太阳能板钝化控制工艺，其特征在于，包括如下钝化步骤：
2.根据权利要求1所述的一种太阳能板钝化控制工艺，其特征在于，步骤S1中在三甲基铝的通入时间是5s，臭氧的通入时间是10s。
3.根据权利要求1所述的一种太阳能板钝化控制工艺，其特征在于，步骤S2中对所述反应箱(1)内抽真空时，间歇进行抽取。
4.根据权利要求3所述的一种太阳能板钝化控制工艺，其特征在于，在对所述反应箱(1)内进行抽真空时，先抽取5s，停5s，然后再抽取10s，停5s，再抽取20s，停5s，再抽取40s，停5s，抽取时间依次递增，直到将所述反应箱(1)内气体抽取完成后停止。
5.根据权利要求4所述的一种太阳能板钝化控制工艺，其特征在于，所述反应箱(1)内设有压力传感器，在抽真空时，当所述压力传感器检测到所述反应箱(1)内的压力达到压力设定值后，停止抽真空。
6.根据权利要求1所述的一种太阳能板钝化控制工艺，其特征在于，所述反应箱(1)内的温度设定在200℃-400℃。
7.一种太阳能板钝化设备，其特征在，包括：第一通气管、第二通气管
8.根据权利要求7所述的一种太阳能板钝化设备，其特征在于，所述反应箱(1)内设置有第一进气嘴(2)和第二进气嘴(3)；所述第一进气嘴(2)与所述第一通气管相连通，所述第二进气嘴(3)与所述第二通气管相连通。
9.根据权利要求8所述的一种太阳能板钝化设备，其特征在于，所述反应箱(1)的内部设置有真空抽气板(4)，所述真空抽气板(4)与所述真空泵连接，所述真空抽气板(4)的表面呈向其内部凹陷的弧形状；所述真空抽气板(4)的表面设有抽气孔。
10.根据权利要求9所述的一种太阳能板钝化设备，其特征在于，所述真空抽气板(4)的表面抽气孔的位置转动连接有抽气嘴(5)。
...【技术特征摘要】
1.一种太阳能板钝化控制工艺，其特征在于，包括如下钝化步骤：
2.根据权利要求1所述的一种太阳能板钝化控制工艺，其特征在于，步骤s1中在三甲基铝的通入时间是5s，臭氧的通入时间是10s。
3.根据权利要求1所述的一种太阳能板钝化控制工艺，其特征在于，步骤s2中对所述反应箱(1)内抽真空时，间歇进行抽取。
4.根据权利要求3所述的一种太阳能板钝化控制工艺，其特征在于，在对所述反应箱(1)内进行抽真空时，先抽取5s，停5s，然后再抽取10s，停5s，再抽取20s，停5s，再抽取40s，停5s，抽取时间依次递增，直到将所述反应箱(1)内气体抽取完成后停止。
5.根据权利要求4所述的一种太阳能板钝化控制工艺，其特征在于，所述反应箱(1)内设有压力传感器，在抽真空时，当所述压力传感器检测到所述反应箱(1)内的压力达到压力设定值后，停止抽真空。
6.根据权利要求1所述的一种太阳能板钝化控制工艺，其特征在于，所述反...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐振航，汪明亮，
申请(专利权)人：中润新能源徐州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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