【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制备，具体地，涉及一种分流进气装置和应用该分流进气装置的外延工艺设备。
技术介绍
1、碳化硅外延生长过程简单来讲就是碳硅原子均匀在晶圆上的沉积过程。为将碳硅原子混合均匀，利用氢气作为载气进行运输，供气系统将混有碳硅原子的混合气体送入反应腔室内并在反应腔室内的晶圆衬底上沉积。相关技术中的分流进气装置向反应腔室内供气分布较不均匀，不利于碳化硅外延层的均匀生长。
技术实现思路
1、本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本技术的实施例提出一种分流进气装置，该分流进气装置具有供气均匀的优点。
2、本技术实施例还提出一种应用上述分流进气装置的外延工艺设备。
3、本技术实施例的分流进气装置包括：进气罩，所述进气罩内设有多个进气腔；分流罩，所述分流罩内设有多个分流道，多个所述分流道沿所述分流罩的宽度方向间隔布置，且多个所述分流道与多个所述进气腔一一对应地布置；分流板，所述分流板设于所述进气罩和所述分流罩之间，所述分流板设有多个分流孔，多个所述分流孔沿所述分流罩的宽度方向分为多个分流孔组，多个所述分流孔组与多个所述分流道一一对应地布置以连通任意一个所述分流道和与其对应的所述进气腔，每个所述分流孔组中的所述分流孔的数量与该分流孔组对应的所述分流道的横截面积呈正相关。
4、本技术实施例的分流进气装置通过在进气罩和分流罩之间设置设有多个分流孔组的分流板，工艺气体进入多个进气腔后，透过分流孔进入对应的分流道中，每个分流孔组中的所述分
5、在一些实施例中，所述进气罩设有装配槽，多个所述进气腔与所述装配槽的槽底连通，所述分流板可配合至所述装配槽内以使所述分流板的一侧面密封抵接于所述装配槽的槽底，且所述分流板的另一侧面密封抵接于所述分流罩。
6、在一些实施例中，所述分流罩内设有多个隔板，所述隔板的一端可抵接于所述分流板背离所述进气腔的一侧，多个隔板沿所述分流罩的长度方向延伸，且多个隔板沿所述分流罩的宽度方向间隔布置以分隔出多个所述分流道。
7、在一些实施例中，多个所述分流道包括沿所述分流罩的宽度方向并行排列的第一道、第二道、第三道、第四道和第五道，所述第一道、所述第二道、所述第三道、所述第四道和所述第五道的横截面积之比为4：3：12：3：4。
8、在一些实施例中，多个所述分流孔沿所述分流罩的宽度方向排列，且每个所述分流孔组中的多个所述分流孔沿该所述分流孔组对应的所述分流道的轴线对称布置。
9、在一些实施例中，所述第一道、所述第二道、所述第三道、所述第四道和所述第五道对应的所述分流孔的数量之比为5：4：16：4：5。
10、在一些实施例中，还包括多个供气接头，多个所述供气接头与所述进气罩密封相连，且多个所述供气接头与多个所述进气腔一一对应地连通，以向多个所述进气腔内供气。
11、在一些实施例中，所述分流罩为石英材料，所述分流板为316l不锈钢材料。
12、在一些实施例中，所述进气罩的下端设有托板，所述托板可延伸至所述分流罩的下侧以托举所述分流罩。
13、本技术实施例的外延工艺设备包括分流进气装置，所述分流进气装置为上述任一实施例中所述的分流进气装置；供气组件和反应腔室，所述分流进气装置的进气腔与所述供气组件相连，所述分流进气装置的多个分流道延伸至所述反应腔室内，所述反应腔室内具有设定位置以适于安装晶圆衬底，所述分流进气装置的分流罩对应于所述设定位置布置，以使多个所述分流道沿所述晶圆衬底的径向排列。
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1.一种分流进气装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的分流进气装置，其特征在于，所述进气罩设有装配槽，多个所述进气腔与所述装配槽的槽底连通，所述分流板可配合至所述装配槽内以使所述分流板的一侧面密封抵接于所述装配槽的槽底，且所述分流板的另一侧面密封抵接于所述分流罩。
3.根据权利要求1所述的分流进气装置，其特征在于，所述分流罩内设有多个隔板，所述隔板的一端可抵接于所述分流板背离所述进气腔的一侧，多个隔板沿所述分流罩的长度方向延伸，且多个隔板沿所述分流罩的宽度方向间隔布置以分隔出多个所述分流道。
4.根据权利要求1所述的分流进气装置，其特征在于，多个所述分流道包括沿所述分流罩的宽度方向并行排列的第一道、第二道、第三道、第四道和第五道，所述第一道、所述第二道、所述第三道、所述第四道和所述第五道的横截面积之比为4：3：12：3：4。
5.根据权利要求4所述的分流进气装置，其特征在于，多个所述分流孔沿所述分流罩的宽度方向排列，且每个所述分流孔组中的多个所述分流孔沿该所述分流孔组对应的所述分流道的轴线对称布置。
6.根据
7.根据权利要求1-6中任一项所述的分流进气装置，其特征在于，还包括多个供气接头，多个所述供气接头与所述进气罩密封相连，且多个所述供气接头与多个所述进气腔一一对应地连通，以向多个所述进气腔内供气。
8.根据权利要求7所述的分流进气装置，其特征在于，所述分流罩为石英材料，所述分流板为316L不锈钢材料。
9.根据权利要求7所述的分流进气装置，其特征在于，所述进气罩的下端设有托板，所述托板可延伸至所述分流罩的下侧以托举所述分流罩。
10.一种外延工艺设备，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种分流进气装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的分流进气装置，其特征在于，所述进气罩设有装配槽，多个所述进气腔与所述装配槽的槽底连通，所述分流板可配合至所述装配槽内以使所述分流板的一侧面密封抵接于所述装配槽的槽底，且所述分流板的另一侧面密封抵接于所述分流罩。
3.根据权利要求1所述的分流进气装置，其特征在于，所述分流罩内设有多个隔板，所述隔板的一端可抵接于所述分流板背离所述进气腔的一侧，多个隔板沿所述分流罩的长度方向延伸，且多个隔板沿所述分流罩的宽度方向间隔布置以分隔出多个所述分流道。
4.根据权利要求1所述的分流进气装置，其特征在于，多个所述分流道包括沿所述分流罩的宽度方向并行排列的第一道、第二道、第三道、第四道和第五道，所述第一道、所述第二道、所述第三道、所述第四道和所述第五道的横截面积之比为4：3：12：3：4。
5.根据权利要求4所述的分流进气装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：傅林坚，周建灿，吴正闪，刘毅，曹建伟，朱亮，
申请(专利权)人：浙江求是半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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