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连续炉的控制方法、连续炉及连续炉的控制程序技术

技术编号:43615387 阅读:2 留言:0更新日期:2024-12-11 14:58
一种连续炉的控制方法、连续炉及连续炉的控制程序。连续炉包括:第一处理室能够对对象物进行处理;第二处理室能够对对象物进行处理;第一中间室配置于第一处理室与第二处理室之间;第一封闭机构将第一处理室与第一中间室之间打开/关闭;第二封闭机构将第二处理室与第一中间室之间打开/关闭。控制方法包括:关闭第一封闭机构及第二封闭机构;以利用第一中间室的气压与第一处理室的气压之差而向第一封闭机构关闭的方向施加压力的方式对第一中间室的气压进行调整、和/或以利用第一中间室的气压与第二处理室的气压之差而向第二封闭机构关闭的方向施加压力的方式对第一中间室的气压进行调整。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种连续炉的控制方法、连续炉及连续炉的控制程序


技术介绍

1、作为对规定的对象物(例如,金属粉末成形体、陶瓷粉末成形体等)连续地进行分别不同的条件(空间的环境、压力、温度等)下的多个处理的装置,已知有被称为连续炉的装置。

2、例如,已知有如下设备,包括:脱蜡室,使惰性气体进行循环并进行加热以对金属粉末成形品进行脱蜡;真空烧结室,对所述金属粉末成形品进行真空烧结;中间室,配置于脱蜡室与真空烧结室之间;门,将脱蜡室与中间室打开/关闭;门,将中间室与真空烧结室打开/关闭(例如,参照专利文献1)。

3、[现有技术文献]

4、[专利文献]

5、[专利文献1]日本专利第6607368号


技术实现思路

1、[专利技术所要解决的问题]

2、近年来,有如下希望:想要在高压环境下进行连续炉中进行的多种处理中的若干处理。例如,有时想要在10个大气压附近的环境下以一千几百度的温度进行煅烧。但是,现有的连续炉不能应对此种需要高压力的处理。具体而言,在现有的连续炉中有可能会产生以下问题。

3、在连续炉中,使隔开处理室与中间室的门与处理室或中间室密接,将处理室与中间室在空间上分离。由于处理室与中间室之间存在压力差,因此因所述压力差而对门作用有离开处理室或中间室的方向上的力。驱动门的机构通过对门赋予抵抗因处理室与中间室的压力差而作用于门的力的力,来使门与处理室或中间室密接。

4、若处理室的压力高、即、处理室与中间室的压力差变大,则作用于门的力变大,因此仅通过由驱动门的机构产生的力不能使门与处理室或中间室密接,有可能从处理室产生泄漏。若从处理室产生泄漏,则难以将处理室维持为所期望的压力,有可能不能适当地进行所期望的处理。

5、本专利技术的目的在于:在包括处理室与中间室的连续炉中,即便处理室成为高压,也防止或抑制在处理室与中间室之间产生泄漏。

6、[解决问题的技术手段]

7、本专利技术的优选的实施形态的连续炉的控制方法为如下连续炉的控制方法,所述连续炉包括:第一处理室,能够对对象物进行处理;第二处理室,能够对对象物进行处理;中间室,配置于第一处理室与第二处理室之间;第一封闭机构,将第一处理室与中间室之间打开/关闭;以及第二封闭机构,将第二处理室与中间室之间打开/关闭,所述控制方法包括:关闭第一封闭机构及第二封闭机构的步骤;以及在关闭第一封闭机构及第二封闭机构的步骤中,以利用中间室的气压与第一处理室的气压之差而向第一封闭机构关闭的方向施加压力的方式对中间室的气压进行调整、和/或以利用中间室的气压与第二处理室的气压之差而向第二封闭机构关闭的方向施加压力的方式对中间室的气压进行调整的步骤。

8、本专利技术的优选的实施形态的连续炉包括:第一处理室,能够对对象物进行处理;第二处理室,能够对对象物进行处理;中间室,配置于第一处理室与第二处理室之间;第一封闭机构,将第一处理室与中间室之间打开/关闭;第二封闭机构,将第二处理室与中间室之间打开/关闭;第一压力调整机构,对第一处理室的气压进行调整;第二压力调整机构,对第二处理室的气压进行调整;以及第三压力调整机构,能够独立于第一处理室及第二处理室的气压而对中间室的气压进行调整。

9、[专利技术的效果]

10、在所述连续炉及其控制方法中,利用中间室的气压与第一处理室的气压之差而向第一封闭机构关闭的方向对第一封闭机构施加压力,因此可使第一封闭机构与将第一处理室和中间室连通的部分更可靠地密接。或者,利用中间室的气压与第二处理室的气压之差而向第二封闭机构关闭的方向对第二封闭机构施加压力,因此可使第二封闭机构与将第二处理室和中间室连通的部分更可靠地密接。结果,即便在将第一处理室和/或第二处理室调整成高压的情况下,也可更可靠地关闭第一处理室与中间室,更可靠地关闭第二处理室与中间室,因此可防止或抑制在这些处理室与中间室之间产生气体泄漏的情况。

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【技术保护点】

1.一种方法,为连续炉的控制方法,其特征在于,所述连续炉包括:第一处理室,能够对对象物进行处理;第二处理室,能够对所述对象物进行处理;中间室,配置于所述第一处理室与所述第二处理室之间;第一封闭机构,将所述第一处理室与所述中间室之间打开/关闭;以及第二封闭机构,将所述第二处理室与所述中间室之间打开/关闭,所述控制方法包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一封闭机构从所述中间室侧向所述第一处理室侧驱动而将所述第一处理室与所述中间室之间关闭,且所述第二封闭机构从所述中间室侧向所述第二处理室侧驱动而将所述第二处理室与所述中间室之间关闭,

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一封闭机构从所述第一处理室侧向所述中间室侧驱动而将所述第一处理室与所述中间室之间关闭,且所述第二封闭机构从所述第二处理室侧向所述中间室侧驱动而将所述第二处理室与所述中间室之间关闭,

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在打开所述第一封闭机构及所述第二封闭机构时,所述第一处理室的气压、所述第二处理室的气压、及所述中间室的气压被调整成相同气压。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述连续炉还具有:旁通配管,将所述第一处理室、所述第二处理室及所述中间室连接;以及开闭装置,将所述旁通配管打开/关闭,

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法,其特征在于,所述第一处理室的气压与所述第二处理室的气压为-0.1MPa以上且小于1MPa的范围内的压力。

7.一种连续炉,其特征在于,包括:第一处理室,能够对对象物进行处理;

8.根据权利要求7所述的连续炉,其特征在于,还包括:控制部,对所述第一压力调整机构、所述第二压力调整机构、及所述第三压力调整机构、与所述第一封闭机构及所述第二封闭机构的打开/关闭进行控制,

9.根据权利要求8所述的连续炉,其特征在于,所述第一封闭机构从所述中间室侧向所述第一处理室侧驱动而将所述第一处理室与所述中间室之间关闭,且所述第二封闭机构从所述中间室侧向所述第二处理室侧驱动而将所述第二处理室与所述中间室之间关闭,

10.根据权利要求8所述的连续炉,其特征在于,所述第一封闭机构从所述第一处理室侧向所述中间室侧驱动而将所述第一处理室与所述中间室之间关闭,且所述第二封闭机构从所述第二处理室侧向所述中间室侧驱动而将所述第二处理室与所述中间室之间关闭,

11.根据权利要求7所述的连续炉,其特征在于,所述第一压力调整机构、所述第二压力调整机构及所述第三压力调整机构在打开所述第一封闭机构及所述第二封闭机构时,将所述第一处理室、所述第二处理室及所述中间室的气压调整成相同气压。

12.根据权利要求11所述的连续炉,其特征在于,还包括:旁通配管,将所述第一处理室、所述第二处理室及所述中间室连接;以及

13.根据权利要求7至12中任一项所述的连续炉,其特征在于,所述第一处理室的气压及所述第二处理室的气压为-0.1MPa以上且小于1MPa的范围内的压力。

14.一种控制程序,为使计算机执行连续炉的功能的控制程序,其特征在于,所述连续炉包括:第一处理室,能够对对象物进行处理;第二处理室,能够对所述对象物进行处理;中间室,配置于所述第一处理室与所述第二处理室之间;第一封闭机构,将所述第一处理室与所述中间室之间打开/关闭;以及第二封闭机构,将所述第二处理室与所述中间室之间打开/关闭,所述控制程序使计算机执行如下步骤:

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【技术特征摘要】

1.一种方法,为连续炉的控制方法,其特征在于,所述连续炉包括:第一处理室,能够对对象物进行处理;第二处理室,能够对所述对象物进行处理;中间室,配置于所述第一处理室与所述第二处理室之间;第一封闭机构,将所述第一处理室与所述中间室之间打开/关闭;以及第二封闭机构,将所述第二处理室与所述中间室之间打开/关闭,所述控制方法包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一封闭机构从所述中间室侧向所述第一处理室侧驱动而将所述第一处理室与所述中间室之间关闭,且所述第二封闭机构从所述中间室侧向所述第二处理室侧驱动而将所述第二处理室与所述中间室之间关闭,

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一封闭机构从所述第一处理室侧向所述中间室侧驱动而将所述第一处理室与所述中间室之间关闭,且所述第二封闭机构从所述第二处理室侧向所述中间室侧驱动而将所述第二处理室与所述中间室之间关闭,

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在打开所述第一封闭机构及所述第二封闭机构时,所述第一处理室的气压、所述第二处理室的气压、及所述中间室的气压被调整成相同气压。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述连续炉还具有:旁通配管,将所述第一处理室、所述第二处理室及所述中间室连接;以及开闭装置,将所述旁通配管打开/关闭,

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法,其特征在于,所述第一处理室的气压与所述第二处理室的气压为-0.1mpa以上且小于1mpa的范围内的压力。

7.一种连续炉,其特征在于,包括:第一处理室,能够对对象物进行处理;

8.根据权利要求7所述的连续炉,其特征在于,还包括:控制部,对所述第一压力调整机构、所...

【专利技术属性】
技术研发人员:森元阳介
申请(专利权)人:株式会社岛津制作所
类型:发明
国别省市:

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