【技术实现步骤摘要】
本申请实施例涉及半导体设备，特别涉及一种加热器装置以及沉积设备。
技术介绍
1、薄膜沉积技术用于制造微电子器件的薄膜，常见的薄膜沉积技术包括物理气相沉积、化学气相沉积等技术，沉积设备用于在基片上形成沉积物，沉积设备通常包括反应室，反应室中设置有用于承载以及对基片进行加热的加热器。
2、但目前的加热器在反应腔室中的位置调节通常仅包括：竖直方向的位置调节以及加热器本身的水平调节，并不涉及加热器在水平方向上的位置调节。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种加热器装置以及沉积设备，至少有利于提升加热器装置的性能。
2、本申请实施例一方面提供了一种加热器装置，包括：加热器，加热器具有承载基片的承载面；基座，基座与加热器的背对承载面的一侧相连接；调节组件，调节组件与基座相连接，以带动加热器沿平行于承载面的方向移动。
3、在一些实施例中，基座在平行于承载面的平面上的正投影为矩形。
4、在一些实施例中，基座包括垂直于承载面的侧面，侧面包括相对设置的两个第一侧面以及相对设置的两个第二侧面；调节组件至少包括相互独立的第一调节部和第二调节部，第一调节部与一个第一侧面相连接，且基座相对于第一调节部沿第一方向可移动，第一方向平行于第一侧面且平行于承载面；第二调节部与一个第二侧面相连接，且基座相对于第二调节部沿第二方向可移动，第二方向平行于第二侧面且平行于承载面。
5、在一些实施例中，调节组件包括相互独立的两个第一调节部以及两个第二调节部，第一调
6、在一些实施例中，第一调节部通过滑轨与第一侧面滑动连接，第二调节部通过滑轨与第二侧面滑动连接。
7、在一些实施例中，每个第一调节部和每个第二调节部均包括螺栓以及螺母，螺母套设于螺栓外圈，螺栓的一端与相对应的侧面相连接，螺母旋转以带动螺栓沿螺栓的轴向移动。
8、在一些实施例中，加热器装置还包括位置检测传感器，位置检测传感器包括：第一部件，第一部件位于螺母上；第二部件，第二部件位于螺栓的一端，通过检测第一部件与第二部件的相对位置，以确定加热器的位置；其中，第一部件和第二部件中的一者为信号发射装置，第一部件和第二部件中的另一者为信号接收装置，或者，第一部件和第二部件中的一者包括信号发射部和信号接收部，第一部件和第二部件中的另一者为信号反射部。
9、在一些实施例中，第一调节部和/或第二调节部还包括推板，推板具有第一表面，第一表面与相应的侧面正对且相连接，推板的远离第一表面的一侧与螺栓靠近侧面的端部相连接。
10、在一些实施例中，加热器装置还包括固定连接件，固定连接件的一端与加热器背对承载面的一侧相连接，固定连接件的另一端与基座相连接，固定连接件沿垂直于承载面的方向上可伸缩。
11、本申请实施例另一方面提供了一种沉积设备，包括上述实施例任一项所述的加热器装置。
12、本申请实施例提供的技术方案至少具有以下优点：增加了与基座相连接的调节组件，通过调节组件带动基座移动，进而实现加热器在反应腔室中水平位置的调节，有利于提升加热器装置的性能。
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1.一种加热器装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的加热器装置，其特征在于，所述基座在平行于所述承载面的平面上的正投影为矩形。
3.如权利要求2所述的加热器装置，其特征在于，所述基座包括垂直于所述承载面的侧面，所述侧面包括相对设置的两个第一侧面以及相对设置的两个第二侧面；
4.如权利要求3所述的加热器装置，其特征在于，所述调节组件包括相互独立的两个第一调节部以及两个第二调节部，所述第一调节部与所述第一侧面一一对应，所述第二调节部与所述第二侧面一一对应，所述第一调节部与相对应的所述第一侧面相连接，所述第二调节部与相对应的所述第二侧面相连接。
5.如权利要求3或4所述的加热器装置，其特征在于，所述第一调节部通过滑轨与所述第一侧面滑动连接，所述第二调节部通过滑轨与所述第二侧面滑动连接。
6.如权利要求3或4所述的加热器装置，其特征在于，每个所述第一调节部和每个所述第二调节部均包括螺栓以及螺母，
7.如权利要求6所述的加热器装置，其特征在于，所述加热器装置还包括位置检测传感器，所述位置检测传感器包括：>
8.如权利要求6所述的加热器装置，其特征在于，所述第一调节部和/或所述第二调节部还包括推板，所述推板具有第一表面，所述第一表面与相应的所述侧面正对且相连接，所述推板的远离第一表面的一侧与所述螺栓靠近所述侧面的端部相连接。
9.如权利要求1所述的加热器装置，其特征在于，所述加热器装置还包括固定连接件，所述固定连接件的一端与所述加热器背对所述承载面的一侧相连接，所述固定连接件的另一端与所述基座相连接，所述固定连接件沿垂直于所述承载面的方向上可伸缩。
10.一种沉积设备，其特征在于，包括如权利要求1～9任一项所述的加热器装置。
...【技术特征摘要】
1.一种加热器装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的加热器装置，其特征在于，所述基座在平行于所述承载面的平面上的正投影为矩形。
3.如权利要求2所述的加热器装置，其特征在于，所述基座包括垂直于所述承载面的侧面，所述侧面包括相对设置的两个第一侧面以及相对设置的两个第二侧面；
4.如权利要求3所述的加热器装置，其特征在于，所述调节组件包括相互独立的两个第一调节部以及两个第二调节部，所述第一调节部与所述第一侧面一一对应，所述第二调节部与所述第二侧面一一对应，所述第一调节部与相对应的所述第一侧面相连接，所述第二调节部与相对应的所述第二侧面相连接。
5.如权利要求3或4所述的加热器装置，其特征在于，所述第一调节部通过滑轨与所述第一侧面滑动连接，所述第二调节部通过滑轨与所述第二侧面滑动连接。
6.如权利要求3...
【专利技术属性】
技术研发人员：李继刚，周纬，朱顺利，张俊，
申请(专利权)人：江苏首芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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