一种硅片吸附模组制造技术

技术编号:43612123 阅读:6 留言:0更新日期:2024-12-11 14:56
本技术提供了一种硅片吸附模组,包括:基板本体,所述基板本体的顶部开设有若干通气槽,所述通气槽的槽底开设有若干通气孔,每行所述通气槽内的所述通气孔通过连通孔连通,以及,所述连通孔的两端设置有排气孔,所述排气孔贯穿所述基板本体的侧壁;简言之,通过通气槽配合开孔的输送带,能够使输送带的表面形成负压区域,以使放在输送带表面的硅片被吸附在输送带的表面,跟随输送带行进,避免硅片在输送带上发生位移和振动;进一步的,通过排气孔和通气孔能够与通气槽进行连通,并且在排气孔与基板本体的贯穿处连接吸气泵,能够实现通气槽内的负压。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片输送,具体涉及一种硅片吸附模组


技术介绍

1、在光伏太阳能行业,太阳能电池的制造要经过制绒,扩散,刻蚀,镀膜,丝网印刷和烧结六大工序。在丝网印刷工序、测试机以及各工序的上下料机、都要用传输带来传输硅片。

2、传统的传输带在运输过程中,硅片会与传输带之间发生摩擦,产生相对位移,硅片也会有震动,导致硅片的损坏;

3、因此,提供一种能够在硅片输送时,能够将硅片始终吸附在输送带上,避免硅片位移或者振动的硅片吸附膜组是很有必要的。


技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是:提供一种能够在硅片输送时,能够将硅片始终吸附在输送带上,避免硅片位移或者振动的硅片吸附膜组。

2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种硅片吸附模组,包括:基板本体,所述基板本体的顶部开设有若干通气槽,所述通气槽的槽底开设有若干通气孔,每行所述通气槽内的所述通气孔通过连通孔连通,以及,所述连通孔的两端设置有排气孔,所述排气孔贯穿所述基板本体的侧壁。

3、作为优选,所述通气槽与所述基板本体的长度方向平行,所述通气槽的长度小于所述基板本体的长度。

4、作为优选,所述连通孔的一端贯穿所述基板本体的短沿侧壁,以及,所述连通孔的贯穿端通过堵头闷堵。

5、作为优选,所述排气孔贯穿所述基板本体的长沿的侧壁。

6、作为优选,所述通气槽的数量为四个,以及,靠近所述排气孔的贯穿端的前三个所述连通孔的两端共用同一对排气孔,最后一个所述连通孔的两端的所述排气孔设置在前三个所述连通孔的两端的排气孔的外侧。

7、作为优选,最后一个所述连通孔两端的所述排气孔中,靠近所述通气槽的所述排气孔与其他三个所述连通孔连通。

8、作为优选,第一个所述连通孔的封闭端与外侧的所述排气孔连通。

9、作为优选,所述基板本体的短沿侧壁的顶部的边棱设置有贴合圆角。

10、作为优选,所述基板本体的长沿侧壁的开设有若干螺栓孔。

11、本技术的有益效果是:

12、1、通过通气槽配合开孔的输送带,能够使输送带的表面形成负压区域,以使放在输送带表面的硅片被吸附在输送带的表面,跟随输送带行进,避免硅片在输送带上发生位移和振动;

13、2、通过排气孔和通气孔能够与通气槽进行连通,并且在排气孔与基板本体的贯穿处连接吸气泵,能够实现通气槽内的负压。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅片吸附模组,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的硅片吸附模组,其特征在于,

3.如权利要求2所述的硅片吸附模组,其特征在于,

4.如权利要求3所述的硅片吸附模组,其特征在于,

5.如权利要求4所述的硅片吸附模组,其特征在于,

6.如权利要求5所述的硅片吸附模组,其特征在于,

7.如权利要求6所述的硅片吸附模组,其特征在于,

8.如权利要求7所述的硅片吸附模组,其特征在于,

9.如权利要求8所述的硅片吸附模组,其特征在于,

【技术特征摘要】

1.一种硅片吸附模组,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的硅片吸附模组,其特征在于,

3.如权利要求2所述的硅片吸附模组,其特征在于,

4.如权利要求3所述的硅片吸附模组,其特征在于,

5.如权利要求4所述的硅片吸...

【专利技术属性】
技术研发人员:左国军李晶晶张凯巩振江尹丽英赵俊
申请(专利权)人:常州捷佳创精密机械有限公司
类型:新型
国别省市:

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