【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳化硅晶体生长领域，具体而言，涉及一种长晶车间自动测温系统。
技术介绍
1、碳化硅(sic)作为新兴的第三代半导体核心材料，具有宽禁带、高临界击穿电场强度、高电子迁移率以及良好的抗辐照性和化学稳定性等优异性，这使其成为一种广泛应用的重要衬底晶片材料，在航空器件、新能源汽车、轨道交通和家用电器等领域展现了良好的应用前景。
2、生长碳化硅晶体的长晶炉需要定时进行测温，以监控晶体生长情况，保证晶体生长质量。但是现有的测温都是人工手持红外测温仪对准长晶炉顶部的测温窗口进行测量，不仅费时费力，而且操作人员需要爬上长晶炉支架，可能会造成整个长晶炉轻微的振动，影响碳化硅晶体的生长质量。
技术实现思路
1、本技术的目的包括，例如，提供了一种长晶车间自动测温系统，其能够实现长晶炉的自动测温，提高温度检测效率的同时，保证碳化硅晶体生长的质量。
2、本技术的实施例可以这样实现：
3、本技术提供了一种长晶车间自动测温系统，用于长晶车间，所述长晶车间的地面放置有多个长晶炉，每个所述长晶炉的顶部均设置有测温窗口，其包括：
4、水平移动装置，所述水平移动装置设置于所述多个长晶炉的上方；
5、红外测温仪，所述红外测温仪设置于所述水平移动装置，用于在所述水平移动装置的驱动下依次移动至所述多个长晶炉的测温窗口的正上方进行测温。
6、在一些可选的实施方式中，长晶车间自动测温系统还包括传感器阵列，所述传感器阵列包括多个到位传感器，所述多个到
7、所述水平移动装置位于所述传感器阵列的下方，所述红外测温仪的顶部设置有用于被所述到位传感器检测的感应件；
8、控制装置，所述控制装置同时与所述传感器阵列、所述水平移动装置及所述红外测温仪通信连接，用于控制所述水平移动装置驱动所述红外测温仪依次移动至所述多个长晶炉的测温窗口的正上方进行测温。
9、在一些可选的实施方式中，所述传感器阵列包括分别与所述控制装置通信连接的多个验证传感器，所述多个验证传感器与所述多个到位传感器一一对应，每个所述验证传感器与对应的所述到位传感器在水平方向上间隔设置，所述感应件能被所述验证传感器检测；
10、在一些可选的实施方式中，所述到位传感器和所述验证传感器为霍尔传感器，所述感应件为磁体。
11、在一些可选的实施方式中，所述到位传感器和所述验证传感器为红外传感器，所述感应件为挡板。
12、在一些可选的实施方式中，所述控制装置与所述红外测温仪之间的通信方式为无线通信。
13、在一些可选的实施方式中，所述控制装置与所述传感器阵列之间的通信方式为有线通信。
14、在一些可选的实施方式中，所述控制装置电连接有人机界面。
15、在一些可选的实施方式中，所述多个长晶炉呈矩形阵列排布。
16、在一些可选的实施方式中，所述水平移动装置包括x轴移动装置和y轴移动装置，所述y轴移动装置设置于所述长晶车间的侧壁，所述x轴移动装置设置于所述y轴移动装置上，所述红外测温仪设置于所述x轴移动装置上。
17、本技术实施例的有益效果包括，例如：
18、本长晶车间自动测温系统及方法通过在多个长晶炉的上方设置水平移动装置，通过水平移动装置驱动红外测温仪移动至每个长晶炉的测温窗口的正上方进行测温，可以实现长晶车间内多个长晶炉的自动测温，不但省时省力，提高测温效率，而且可以有效避免长晶炉的振动，保证炉内碳化硅晶体的生长质量。
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1.一种长晶车间自动测温系统，用于长晶车间，所述长晶车间的地面放置有多个长晶炉(600)，每个所述长晶炉(600)的顶部均设置有测温窗口，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的长晶车间自动测温系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的长晶车间自动测温系统，其特征在于，所述传感器阵列(200)包括分别与所述控制装置(400)通信连接的多个验证传感器(220)，所述多个验证传感器(220)与所述多个到位传感器(210)一一对应，每个所述验证传感器(220)与对应的所述到位传感器(210)在水平方向上间隔设置，所述感应件(310)能被所述验证传感器(220)检测。
4.根据权利要求3所述的长晶车间自动测温系统，其特征在于，所述到位传感器(210)和所述验证传感器(220)为霍尔传感器，所述感应件(310)为磁体。
5.根据权利要求3所述的长晶车间自动测温系统，其特征在于，所述到位传感器(210)和所述验证传感器(220)为红外传感器，所述感应件(310)为挡板。
6.根据权利要求2所述的长晶车间自动测温系统，其特征在于
7.根据权利要求2所述的长晶车间自动测温系统，其特征在于，所述控制装置(400)与所述传感器阵列(200)之间的通信方式为有线通信。
8.根据权利要求2所述的长晶车间自动测温系统，其特征在于，所述控制装置(400)电连接有人机界面(500)。
9.根据权利要求1所述的长晶车间自动测温系统，其特征在于，所述多个长晶炉(600)呈矩形阵列排布。
10.根据权利要求1所述的长晶车间自动测温系统，其特征在于，所述水平移动装置(100)包括X轴移动装置(120)和Y轴移动装置(110)，所述Y轴移动装置(110)设置于所述长晶车间的侧壁，所述X轴移动装置(120)设置于所述Y轴移动装置(110)上，所述红外测温仪(300)设置于所述X轴移动装置(120)上。
...【技术特征摘要】
1.一种长晶车间自动测温系统，用于长晶车间，所述长晶车间的地面放置有多个长晶炉(600)，每个所述长晶炉(600)的顶部均设置有测温窗口，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的长晶车间自动测温系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的长晶车间自动测温系统，其特征在于，所述传感器阵列(200)包括分别与所述控制装置(400)通信连接的多个验证传感器(220)，所述多个验证传感器(220)与所述多个到位传感器(210)一一对应，每个所述验证传感器(220)与对应的所述到位传感器(210)在水平方向上间隔设置，所述感应件(310)能被所述验证传感器(220)检测。
4.根据权利要求3所述的长晶车间自动测温系统，其特征在于，所述到位传感器(210)和所述验证传感器(220)为霍尔传感器，所述感应件(310)为磁体。
5.根据权利要求3所述的长晶车间自动测温系统，其特征在于，所述到位传感器(210)和所述验证传感器(220)为红外...
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