【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于打磨设备，更具体而言，涉及一种打磨装置。
技术介绍
1、氮化硼坩埚目前是采用高温高压沉积而形成，而在冷却取下坩埚后，内壁上往往会带有叠层或脱层的现象，这时就需要打磨去修复坩埚内壁。
2、目前市面上往往采用手动打磨机居多，此种方式消耗时间多，效率低，且很难控制对坩埚内壁打磨的力度，坩埚内壁有些位置有凸起，打磨头如果遇到凸起直接加大力度去打磨，很容易崩坏坩埚内壁，使得坩埚过薄或者损坏坩埚。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的在于提供一种打磨装置，旨在可以根据力矩反馈，调整打磨头的位置，控制力度，避免坩埚内壁崩坏。
2、根据本专利技术的第一方面，提供了一种打磨装置，包括打磨头、驱动模块、平台、力矩传感器模组、第一行走模块和第二行走模块，所述打磨头设置在所述驱动模块的输出端，所述驱动模块驱动所述打磨头旋转，所述力矩传感器模组连接所述驱动模块和所述平台，所述平台在所述第一行走模块的驱动下可沿第一方向移动，所述平台在所述第二行走模块的驱动下可沿第二方向移动，所述第一方向和所述第二方向相交；
3、所述第一行走模块和所述第二行走模块根据所述力矩传感器模组的信号，调整所述打磨头的位置。
4、在上述的打磨装置中，所述平台、所述力矩传感器模组和所述驱动模块由下至上依次布置。
5、在上述的打磨装置中，所述第一方向与所述第二方向相垂直。
6、在上述的打磨装置中，所述第一方向和所述第二方向均是水平方向。
7、
8、在上述的打磨装置中，所述第一行走模块和所述第二行走模块均是直线模组。
9、在上述的打磨装置中，所述平台设置在所述第一行走模块的输出端上，所述第一行走模块设置在所述第二行走模块的输出端上。
10、在上述的打磨装置中，还包括作业台，所述作业台上设有导轨，所述第二行走模块设置在所述作业台上，所述导轨和所述第二行走模块并排布置，所述导轨上滑动配合有滑块，所述第一行走模块架设在所述滑块和所述第二行走模块的输出端上。
11、在上述的打磨装置中，所述打磨头包括依次对接的杆体和打磨体，所述打磨体远离所述杆体的一端为弧形端部。
12、在上述的打磨装置中，所述驱动模块包括驱动电机，所述驱动电机的输出轴通过联轴器与所述杆体连接。
13、本专利技术上述技术方案中的一个技术方案至少具有如下优点或有益效果之一：
14、在本专利技术中，设置了力矩传感器模组，打磨头在打磨坩埚内壁时，如果碰到较大的凸起，那么打磨力度会突变超出预定范围，这时候力矩传感器模组就会给信号，让第一行走模块和第二行走模块运行，两者联动让平台轻微移动，从而让打磨头轻微远离凸起，控制打磨力度，然后再逐渐靠近凸起，缓慢磨削凸起，保持打磨力度在一定范围内，避免磨削量过大导致坩埚内壁崩坏。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种打磨装置，其特征在于，包括打磨头、驱动模块、平台、力矩传感器模组、第一行走模块和第二行走模块，所述打磨头设置在所述驱动模块的输出端，所述驱动模块驱动所述打磨头旋转，所述力矩传感器模组连接所述驱动模块和所述平台，所述平台在所述第一行走模块的驱动下可沿第一方向移动，所述平台在所述第二行走模块的驱动下可沿第二方向移动，所述第一方向和所述第二方向相交；
2.根据权利要求1所述的打磨装置，其特征在于，所述平台、所述力矩传感器模组和所述驱动模块由下至上依次布置。
3.根据权利要求1所述的打磨装置，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向相垂直。
4.根据权利要求3所述的打磨装置，其特征在于，所述第一方向和所述第二方向均是水平方向。
5.根据权利要求4所述的打磨装置，其特征在于，所述打磨头的转动轴线与所述第二方向相平行。
6.根据权利要求1所述的打磨装置，其特征在于，所述第一行走模块和所述第二行走模块均是直线模组。
7.根据权利要求6所述的打磨装置，其特征在于，所述平台设置在所述第一行走模块的输出端上，所述第一行走模
8.根据权利要求7所述的打磨装置，其特征在于，还包括作业台，所述作业台上设有导轨，所述第二行走模块设置在所述作业台上，所述导轨和所述第二行走模块并排布置，所述导轨上滑动配合有滑块，所述第一行走模块架设在所述滑块和所述第二行走模块的输出端上。
9.根据权利要求1所述的打磨装置，其特征在于，所述打磨头包括依次对接的杆体和打磨体，所述打磨体远离所述杆体的一端为弧形端部。
10.根据权利要求9所述的打磨装置，其特征在于，所述驱动模块包括驱动电机，所述驱动电机的输出轴通过联轴器与所述杆体连接。
...【技术特征摘要】
1.一种打磨装置，其特征在于，包括打磨头、驱动模块、平台、力矩传感器模组、第一行走模块和第二行走模块，所述打磨头设置在所述驱动模块的输出端，所述驱动模块驱动所述打磨头旋转，所述力矩传感器模组连接所述驱动模块和所述平台，所述平台在所述第一行走模块的驱动下可沿第一方向移动，所述平台在所述第二行走模块的驱动下可沿第二方向移动，所述第一方向和所述第二方向相交；
2.根据权利要求1所述的打磨装置，其特征在于，所述平台、所述力矩传感器模组和所述驱动模块由下至上依次布置。
3.根据权利要求1所述的打磨装置，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向相垂直。
4.根据权利要求3所述的打磨装置，其特征在于，所述第一方向和所述第二方向均是水平方向。
5.根据权利要求4所述的打磨装置，其特征在于，所述打磨头的转动轴线与所述第二方向相平行。
...【专利技术属性】
技术研发人员：陈振石，罗家伟，邹展，吴伟平，
申请(专利权)人：广东长信精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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