【技术实现步骤摘要】
本申请涉及薄膜沉积，具体涉及一种推舟设备和原子层沉积设备。
技术介绍
1、原子层沉积设备是一种利用先进的薄膜沉积技术，可以在各种材料表面上实现高质量、均匀的薄膜沉积的设备。在原子层沉积设备工作的过程中，通过借助推舟机构将铝舟推入反应室，反应完成后推舟机构再从反应室退出，完成一次作业。在推舟机构从反应室退出后，推舟机构中的托盘处于悬臂状态(即托盘的一端与驱动件连接，托盘远离驱动件的一端处于悬空状态)，为了保持托盘的稳定性，需要使用支撑装置支撑托盘悬空的一端，但是相关技术中，支撑装置朝向托盘运动的速度较快，容易对托盘造成较大冲击，不仅容易对托盘造成损伤，而且还容易导致托盘内的物料碎落，影响后续作业进行。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本申请的实施例提供了一种推舟设备和原子层沉积设备，其可以减缓支撑装置对托盘的冲击，一方面，可以减小支撑装置对托盘造成的损伤，另一方面，可以降低托盘内的物料因支撑装置的冲击而掉落的几率。
2、第一方面，提供了一种推舟设备，包括：
3、底座；
4、驱动件，设于所述底座上；
5、托盘，所述托盘的一端与所述驱动件连接；
6、支撑装置，与所述底座活动连接，所述支撑装置用于支撑所述托盘远离所述驱动件的一端；
7、缓冲装置，与所述支撑装置连接，所述缓冲装置位于所述底座的下方；所述缓冲装置用于跟随所述支撑装置移动，并在所述支撑装置接触所述托盘前，抵接所述底座的底部，以减缓所述支撑装置朝所述托
8、根据本申请的第一方面，所述缓冲装置包括：
9、支架，与所述支撑装置连接；
10、缓冲器，与所述支架连接，所述缓冲器用于抵接所述底座的底部。
11、根据本申请的第一方面，所述支架包括：
12、安装块，与所述支撑装置连接；
13、连接块，可拆卸地连接所述安装块，所述缓冲器可拆卸地连接所述连接块。
14、根据本申请的第一方面，所述连接块的第一端可拆卸地连接所述安装块的顶壁，所述连接块的第二端装配有所述缓冲器；
15、所述连接块的侧壁凸设有限位凸起，所述限位凸起位于所述第一端与所述第二端之间，且所述限位凸起用于抵接所述安装块的侧壁。
16、根据本申请的第一方面，所述支撑装置包括安装架、支撑杆以及驱动缸，所述驱动缸的缸体与所述底座连接，所述驱动缸的活动部件与所述安装架连接，所述支撑杆与所述安装架连接，所述驱动缸用于通过所述安装架带动所述支撑杆支撑所述托盘；
17、其中，所述安装块设有卡槽，所述卡槽与所述安装架配合，所述安装块与所述安装架连接。
18、根据本申请的第一方面，所述卡槽的底壁设有安装孔，所述支架还包括紧固件，所述紧固件通过所述安装孔可拆卸地连接所述安装架。
19、根据本申请的第一方面，所述安装块设有避让槽，所述避让槽用于容置所述驱动缸。
20、根据本申请的第一方面，所述缓冲器与所述支撑杆平行设置。
21、根据本申请的第一方面，所述连接块的数量为两个，两个所述连接块间隔设置，两个所述连接块分别连接有一个所述缓冲器，两个所述缓冲器平行设置。
22、第二方面，还提供了一种原子层沉积设备，包括：
23、如前实施例所述的推舟设备。
24、本申请实施例提供的推舟设备和原子层沉积设备，其包括底座、驱动件、托盘、支撑装置以及缓冲装置，驱动件设于底座上；托盘的一端与驱动件连接；支撑装置与底座活动连接，支撑装置用于支撑托盘远离驱动件的一端；缓冲装置位于底座的下方，缓冲装置与支撑装置连接。在支撑装置朝向托盘移动的过程中，缓冲装置可以跟随支撑装置移动，并且缓冲装置能够在支撑装置接触托盘前，抵接底座的底部，这样，可以减缓支撑装置朝向托盘移动的速度，从而可以减缓支撑装置对托盘的冲击，一方面，支撑装置对托盘的冲击减小，可以减小支撑装置对托盘造成的损伤；另一方面，支撑装置对托盘的冲击减小，可以降低托盘内的物料因支撑装置的冲击而掉落的几率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种推舟设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的推舟设备，其特征在于，所述缓冲装置(150)包括：
3.根据权利要求2所述的推舟设备，其特征在于，所述支架(151)包括：
4.根据权利要求3所述的推舟设备，其特征在于，所述连接块(1512)的第一端(1513)可拆卸地连接所述安装块(1511)的顶壁，所述连接块(1512)的第二端(1514)装配有所述缓冲器(152)；
5.根据权利要求3所述的推舟设备，其特征在于，所述支撑装置(140)包括安装架(141)、支撑杆(142)以及驱动缸(143)，所述驱动缸(143)的缸体与所述底座(110)连接，所述驱动缸(143)的活动部件与所述安装架(141)连接，所述支撑杆(142)与所述安装架(141)连接，所述驱动缸(143)用于通过所述安装架(141)带动所述支撑杆(142)支撑所述托盘(130)；
6.根据权利要求5所述的推舟设备，其特征在于，所述卡槽(1516)的底壁设有安装孔(1517)，所述支架(151)还包括紧固件，所述紧固件通过所述安装孔(1517
7.根据权利要求5所述的推舟设备，其特征在于，所述安装块(1511)设有避让槽(1518)，所述避让槽(1518)用于容置所述驱动缸(143)。
8.根据权利要求5所述的推舟设备，其特征在于，所述缓冲器(152)与所述支撑杆(142)平行设置。
9.根据权利要求3所述推舟设备，其特征在于，所述连接块(1512)的数量为两个，两个所述连接块(1512)间隔设置，两个所述连接块(1512)分别连接有一个所述缓冲器(152)，两个所述缓冲器(152)平行设置。
10.一种原子层沉积设备，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种推舟设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的推舟设备，其特征在于，所述缓冲装置(150)包括：
3.根据权利要求2所述的推舟设备，其特征在于，所述支架(151)包括：
4.根据权利要求3所述的推舟设备，其特征在于，所述连接块(1512)的第一端(1513)可拆卸地连接所述安装块(1511)的顶壁，所述连接块(1512)的第二端(1514)装配有所述缓冲器(152)；
5.根据权利要求3所述的推舟设备，其特征在于，所述支撑装置(140)包括安装架(141)、支撑杆(142)以及驱动缸(143)，所述驱动缸(143)的缸体与所述底座(110)连接，所述驱动缸(143)的活动部件与所述安装架(141)连接，所述支撑杆(142)与所述安装架(141)连接，所述驱动缸(143)用于通过所述安装架(141)带动所述支撑杆(142...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑磊，姜建雨，陈子豪，
申请(专利权)人：株洲三一硅能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。