【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶片刷洗机，更具体地说，本技术涉及一种使用行星式毛刷结构的晶片刷洗机。
技术介绍
1、晶片刷洗机又称半导体刷片机，是一种专门用于清洗半导体晶片表面的设备，其主要原理是通过机械刷擦和化学溶液的作用，去除晶片表面的污染物，以保证晶片的质量和性能。
2、传统的晶片刷洗机具有以下不足：传统的晶片刷洗机的毛刷结构是一个整体的刷盘，在旋转的陶瓷盘上旋转对晶片进行刷洗，这种刷洗结构在刷洗的过程中，由于晶片的表面不光滑，存在较小的缝隙等，有可能会出现刷洗的死角，导致不同区域刷洗差异较大，因此，需要对其进行改进。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足，本技术提供了一种使用行星式毛刷结构的晶片刷洗机，具有避免出现清洗死角，提高清洗效率的优点。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种使用行星式毛刷结构的晶片刷洗机，包括有：
3、底座，所述底座四端的上方均固定安装有支撑杆，所述支撑杆的上方固定安装有顶盖，所述底座的下方固定安装有电机一，所述电机一的上方转动安装有转盘，所述转盘的上方均匀固定安装有放置盘；
4、调节机构，所述调节机构设置于顶盖的内部，包括有连接轴；
5、刷洗机构，所述刷洗机构设置于连接轴的下方；
6、其中，所述刷洗机构包括有电机二，所述电机二固定连接在连接轴的下方，所述电机二的下方固定安装有转轴，所述转轴的下方固定安装有圆筒，所述圆筒的内侧均匀固定安装有齿块，所述圆筒的内部固定安装有主齿轮，所述主
7、作为本技术的一种优选技术方案，所述调节机构包括有矩形块，所述矩形块的右侧转动安装有螺轴一，所述螺轴一的右侧活动安装有矩形板一，所述矩形板一的右侧活动安装有转钮一，所述螺轴一的外侧螺纹套接有活动块一，所述活动块一的前侧固定安装有长杆，所述长杆的外侧活动套接有调节块，所述连接轴固定连接在调节块的下方。
8、作为本技术的一种优选技术方案，所述矩形块的前侧转动安装有螺轴二，所述螺轴二的前侧活动安装有矩形板二，所述矩形板二的前侧活动安装有转钮二，所述螺轴二的外侧螺纹套接有活动块二，所述活动块二的右侧固定安装有长板，所述长板的表面开设有矩形孔，所述连接轴活动连接在矩形孔的内部。
9、作为本技术的一种优选技术方案，所述圆筒的下方安装有气囊，所述气囊固定连接在抛光盘的上方。
10、作为本技术的一种优选技术方案，所述转轴的外侧固定套接有圆盘，所述圆盘的下方均匀固定安装有连接杆，所述连接杆固定连接在副齿轮的内侧。
11、作为本技术的一种优选技术方案，所述活动块一的后侧固定安装有限位块一，所述长杆的前侧固定有位于调节块前侧的固定圆块。
12、作为本技术的一种优选技术方案，所述活动块二的左侧固定安装有限位块二，所述顶盖的内部开设有限位槽，所述限位块二活动连接在限位槽的内部。
13、与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
14、1、本技术刷洗机构由多个抛光盘组成，抛光盘固定在圆筒下方，刷洗时，圆筒旋转，同时副齿轮带动抛光盘自转，从而实现行星运动，与传统的晶片刷洗机相比，该款使用行星式毛刷结构的晶片刷洗机的好处是，抛光盘能在刷洗的区域内实现等量刷洗，刷洗时不会产生死角，清洗效果更好。
15、2、本技术通过旋转转钮一和转钮二，使螺轴一带动活动块一左右移动，螺轴二带动活动块二前后移动，从而使调节块在水平面上移动，从而完成对圆筒的位置调节，与传统的晶片刷洗机相比，该款使用行星式毛刷结构的晶片刷洗机通过转钮一和转钮二完成对圆筒的位置调节，方便了工作人员对圆筒进行移动。
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1.一种使用行星式毛刷结构的晶片刷洗机，其特征在于，包括有：
2.根据权利要求1所述的一种使用行星式毛刷结构的晶片刷洗机，其特征在于：所述调节机构包括有矩形块(7)，所述矩形块(7)的右侧转动安装有螺轴一(8)，所述螺轴一(8)的右侧活动安装有矩形板一(9)，所述矩形板一(9)的右侧活动安装有转钮一(10)，所述螺轴一(8)的外侧螺纹套接有活动块一(11)，所述活动块一(11)的前侧固定安装有长杆(12)，所述长杆(12)的外侧活动套接有调节块(13)，所述连接轴(22)固定连接在调节块(13)的下方。
3.根据权利要求2所述的一种使用行星式毛刷结构的晶片刷洗机，其特征在于：所述矩形块(7)的前侧转动安装有螺轴二(16)，所述螺轴二(16)的前侧活动安装有矩形板二(17)，所述矩形板二(17)的前侧活动安装有转钮二(18)，所述螺轴二(16)的外侧螺纹套接有活动块二(19)，所述活动块二(19)的右侧固定安装有长板(20)，所述长板(20)的表面开设有矩形孔(21)，所述连接轴(22)活动连接在矩形孔(21)的内部。
4.根据权利要求1所述的一
5.根据权利要求1所述的一种使用行星式毛刷结构的晶片刷洗机，其特征在于：所述转轴(26)的外侧固定套接有圆盘(27)，所述圆盘(27)的下方均匀固定安装有连接杆(29)，所述连接杆(29)固定连接在副齿轮(31)的内侧。
6.根据权利要求2所述的一种使用行星式毛刷结构的晶片刷洗机，其特征在于：所述活动块一(11)的后侧固定安装有限位块一(15)，所述长杆(12)的前侧固定有位于调节块(13)前侧的固定圆块(14)。
7.根据权利要求3所述的一种使用行星式毛刷结构的晶片刷洗机，其特征在于：所述活动块二(19)的左侧固定安装有限位块二(23)，所述顶盖(3)的内部开设有限位槽(24)，所述限位块二(23)活动连接在限位槽(24)的内部。
...【技术特征摘要】
1.一种使用行星式毛刷结构的晶片刷洗机，其特征在于，包括有：
2.根据权利要求1所述的一种使用行星式毛刷结构的晶片刷洗机，其特征在于：所述调节机构包括有矩形块(7)，所述矩形块(7)的右侧转动安装有螺轴一(8)，所述螺轴一(8)的右侧活动安装有矩形板一(9)，所述矩形板一(9)的右侧活动安装有转钮一(10)，所述螺轴一(8)的外侧螺纹套接有活动块一(11)，所述活动块一(11)的前侧固定安装有长杆(12)，所述长杆(12)的外侧活动套接有调节块(13)，所述连接轴(22)固定连接在调节块(13)的下方。
3.根据权利要求2所述的一种使用行星式毛刷结构的晶片刷洗机，其特征在于：所述矩形块(7)的前侧转动安装有螺轴二(16)，所述螺轴二(16)的前侧活动安装有矩形板二(17)，所述矩形板二(17)的前侧活动安装有转钮二(18)，所述螺轴二(16)的外侧螺纹套接有活动块二(19)，所述活动块二(19)的右侧固定安装有长板(20)，所述长板(20)的表面开设有矩形孔(21)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：王永成，张娜，
申请(专利权)人：上海致领半导体科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：
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