晶圆镀金凸块3D外观检测设备制造技术

本技术涉及晶圆检测技术领域，且公开了晶圆镀金凸块3D外观检测设备，包括安装组件，所述安装组件包括操作台，所述操作台顶部左侧的前侧固定连接有显示器，所述操作台顶部的右侧固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端贯穿至操作台的底部并固定连接有第一皮带轮，所述第一皮带轮的表面套设有皮带本体，本技术所达到的有益效果是：通过利用安装组件，可以对晶圆镀金凸块限位安装，同时方便对晶圆镀金凸块的角度进行调节，提高检测效率，并且通过检测组件可以对晶圆镀金凸块表面的损伤、脏污、划痕以及开裂等缺陷进行拍摄，并且通过调节摄像头本体的角度，可以提高摄像头本体的拍摄范围。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆检测，具体地说，涉及晶圆镀金凸块3d外观检测设备。

技术介绍

1、随着电子产品的快速发展，电子市场对于晶圆的需求量日益增大，对晶圆的产品质量、产品规格、制备工艺等提出了更高的要求，在晶圆生产过程中，晶圆的正反面可能存在损伤、脏污、划痕以及开裂等缺陷，这些缺陷会影响芯片的性能，因此需要用到晶圆镀金凸块3d外观检测设备。

2、然而现有技术中的外观检测设备拍摄角度多为固定式，无法调节摄像头的角度，从而限制外观检测设备的拍摄范围，并且在检测的过程中，不便于对晶圆镀金凸块的角度进行调节，从而降低了检测效率，为此，我们提出晶圆镀金凸块3d外观检测设备。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本技术的目的在于提供晶圆镀金凸块3d外观检测设备，解决了现有的外观检测设备拍摄角度多为固定式，无法调节摄像头的角度，从而限制外观检测设备拍摄范围的问题。

3、(二)技术方案

4、本为实现上述目的，本技术提供如下技术方案，晶圆镀金凸块3d外观检测设备，包括，

5、安装组件，所述安装组件包括操作台，所述操作台顶部左侧的前侧固定连接有显示器，所述操作台顶部的右侧固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端贯穿至操作台的底部并固定连接有第一皮带轮，所述第一皮带轮的表面套设有皮带本体，所述皮带本体内腔的左侧活动连接有第二皮带轮，所述第二皮带轮的顶部固定连接有传动杆，所述传动杆的顶部贯穿至操作台的顶部固定连接有安装板，所述安装板内腔的前侧和后侧均开设有滑槽，所述安装板内腔的两侧之间固定连接有两个滑杆，两个滑杆的表面均活动连接有滑套，两个滑套相反的一侧均固定连接有弹簧，所述弹簧远离滑套的一侧与安装板的内壁固定连接，两个滑套的顶部均固定连接有限位板，两个限位板相反的一侧均固定连接有拉环；以及

6、检测组件，所述检测组件包括定位板，所述定位板的底部与操作台的顶部固定连接，所述定位板的前侧固定连接有两个定位架，其中一个定位架的右侧固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端贯穿至定位架的内腔并固定连接有传动轴，所述传动轴的左侧与定位架的内壁活动连接，所述传动轴的表面套设有圆形齿轮，所述圆形齿轮的顶部啮合连接有半齿轮，所述半齿轮的顶部固定连接有定位套，所述定位套的内腔固定连接有定位杆，所述定位杆的两侧均与定位架的内壁活动连接，所述定位套的顶部固定连接有摄像头支架，所述摄像头支架的内腔与定位杆的表面固定连接，所述摄像头支架的顶部固定连接有摄像头本体。

7、作为优选方案，所述第一皮带轮的顶部固定连接有定位环，所述定位环的内腔与驱动电机的输出端固定连接。

8、作为优选方案，所述传动杆的表面套设有第一轴承座，所述第一轴承座的表面与操作台的内壁固定连接。

9、作为优选方案，所述滑套的前侧和后侧均固定连接有滑块，所述滑块远离滑套的一侧与滑槽的内壁活动连接。

10、作为优选方案，所述定位架的两侧均固定连接有固位块，所述固位块的后侧与定位板的前侧固定连接。

11、作为优选方案，所述第一电机的表面套设有固定环，所述固定环的左侧与定位架的右侧固定连接。

12、作为优选方案，所述圆形齿轮的两侧均设置有限位套，所述限位套的内腔与传动轴的表面固定连接。

13、作为优选方案，所述定位杆的表面套设有两个第二轴承座，两个第二轴承座相反的一侧均与定位架的内壁固定连接。

14、(三)有益效果

15、与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：通过利用安装组件，可以对晶圆镀金凸块限位安装，同时方便对晶圆镀金凸块的角度进行调节，提高检测效率，并且通过检测组件可以对晶圆镀金凸块表面的损伤、脏污、划痕以及开裂等缺陷进行拍摄，并且通过调节摄像头本体的角度，可以提高摄像头本体的拍摄范围。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.晶圆镀金凸块3D外观检测设备，其特征在于：包括，

2.根据权利要求1所述的晶圆镀金凸块3D外观检测设备，其特征在于：所述第一皮带轮(104)的顶部固定连接有定位环(3)，所述定位环(3)的内腔与驱动电机(103)的输出端固定连接。

3.根据权利要求1所述的晶圆镀金凸块3D外观检测设备，其特征在于：所述传动杆(107)的表面套设有第一轴承座(4)，所述第一轴承座(4)的表面与操作台(101)的内壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆镀金凸块3D外观检测设备，其特征在于：所述滑套(111)的前侧和后侧均固定连接有滑块(5)，所述滑块(5)远离滑套(111)的一侧与滑槽(109)的内壁活动连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆镀金凸块3D外观检测设备，其特征在于：所述定位架(202)的两侧均固定连接有固位块(6)，所述固位块(6)的后侧与定位板(201)的前侧固定连接。

6.根据权利要求1所述的晶圆镀金凸块3D外观检测设备，其特征在于：所述第一电机(203)的表面套设有固定环(7)，所述固定环(7)的左侧与定位架(202)的右侧固定连接。

7.根据权利要求1所述的晶圆镀金凸块3D外观检测设备，其特征在于：所述圆形齿轮(205)的两侧均设置有限位套(8)，所述限位套(8)的内腔与传动轴(204)的表面固定连接。

8.根据权利要求1所述的晶圆镀金凸块3D外观检测设备，其特征在于：所述定位杆(208)的表面套设有两个第二轴承座(9)，两个第二轴承座(9)相反的一侧均与定位架(202)的内壁固定连接。

...

【技术特征摘要】

1.晶圆镀金凸块3d外观检测设备，其特征在于：包括，

2.根据权利要求1所述的晶圆镀金凸块3d外观检测设备，其特征在于：所述第一皮带轮(104)的顶部固定连接有定位环(3)，所述定位环(3)的内腔与驱动电机(103)的输出端固定连接。

3.根据权利要求1所述的晶圆镀金凸块3d外观检测设备，其特征在于：所述传动杆(107)的表面套设有第一轴承座(4)，所述第一轴承座(4)的表面与操作台(101)的内壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆镀金凸块3d外观检测设备，其特征在于：所述滑套(111)的前侧和后侧均固定连接有滑块(5)，所述滑块(5)远离滑套(111)的一侧与滑槽(109)的内壁活动连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆镀金凸块3d外观检...

【专利技术属性】
技术研发人员：凌永康，张勇，杜良辉，章剑，
申请(专利权)人：江苏晶度半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：