【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电子级双氧水生产，具体来说，涉及一种高效的电子级双氧水生产装置。
技术介绍
1、电子级双氧水直接影响到集成电路性能及其生产的连续性和稳定性。电子级双氧水一般是以工业级双氧水作为原料，经吸附、反渗透膜分离、树脂及超滤等工序制得。
2、目前，用以上常用工序制取电子级双氧水，存在如下缺陷：
3、1、使用树脂进行吸附，存在安全风险；
4、2、生产能耗大；
5、3、产生大量的废水及危废。
6、针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
1、针对相关技术中的问题，本技术的目的是提出一种高效的电子级双氧水生产装置，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。
2、本技术的技术方案是这样实现的：
3、一种高效的电子级双氧水生产装置，包括：双氧水管道、原料预处理单元、膜分离单元和成品过滤单元，其中；
4、原料预处理单元，包括：原料过滤器和原料槽，其中，双氧水管道与原料过滤器的进口相连，原料过滤器的出口与原料槽进料口相连；
5、膜分离单元，包括：第一双氧水泵、第一冷却器、一级ro膜组、成品中间槽、双氧水槽、第二双氧水泵、第二冷却器和二级ro膜组，其中，原料槽的出口与第一双氧水泵进口相连，第一双氧水泵出口通过第一冷却器降温通道与一级ro膜组进口相连，一级ro膜组渗透液出口与成品中间槽进口相连，一级ro膜组截流液出口连接双氧水槽进口，且成品中间槽的出口与第二双氧水泵进口相
6、成品过滤单元，包括：成品尾槽、成品过滤器和充装，其中，成品尾槽出口经成品过滤器与充装相连。
7、进一步的，原料过滤器与原料槽之间设置有第一三通阀门，且第一三通阀门通过第一调节阀连接超纯水管道。
8、进一步的，第一双氧水泵的出口与第一冷却器之间设有第二调节阀。
9、进一步的，一级ro膜组的截流液出口与双氧水槽之间设有第二三通阀门，且第二三通阀门与原料槽进料口相连。
10、进一步的，一级ro膜组与第二三通阀门之间设有第三调节阀。
11、进一步的，双氧水槽与第二三通阀门之间设有第四调节阀。
12、进一步的，第二双氧水泵出口与第二冷却器之间设有第五调节阀。
13、进一步的，二级ro膜组的截流液出口与成品中间槽之间设有第三三通阀门，其中，第三三通阀门和成品中间槽之间设有第六调节阀，且第三三通阀门与原料槽之间设有第七调节阀。
14、本技术的有益效果：
15、本技术通过在低浓度、低温状态下对双氧水进行二次膜分离，降低了双氧水产生分解的风险，且经膜分离出来的截流液进行充分利用，不产生废水；摒弃了树脂吸附，减少能源浪费及三废的产生，安全风险大大降低。
16、本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
17、为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种高效的电子级双氧水生产装置，其特征在于，包括：双氧水管道(1)、原料预处理单元、膜分离单元和成品过滤单元，其中；
2.根据权利要求1的一种高效的电子级双氧水生产装置，其特征在于，原料过滤器(2)与原料槽(3)之间设置有第一三通阀门(21)，且第一三通阀门(21)通过第一调节阀(14)连接超纯水管道(10)。
3.根据权利要求1的一种高效的电子级双氧水生产装置，其特征在于，第一双氧水泵(24)的出口与第一冷却器(4)之间设有第二调节阀(15)。
4.根据权利要求1的一种高效的电子级双氧水生产装置，其特征在于，一级RO膜组(5)的截流液出口与双氧水槽(11)之间设有第二三通阀门(22)，且第二三通阀门(22)与原料槽(3)进料口相连。
5.根据权利要求4的一种高效的电子级双氧水生产装置，其特征在于，一级RO膜组(5)与第二三通阀门(22)之间设有第三调节阀(17)。
6.根据权利要求4的一种高效的电子级双氧水生产装置，其特征在于，双氧水槽(11)与第二三通阀门(22)之间设有第四调节阀(16)。
7.根据
8.根据权利要求1的一种高效的电子级双氧水生产装置，其特征在于，二级RO膜组(8)的截流液出口与成品中间槽(6)之间设有第三三通阀门(23)，其中，第三三通阀门(23)和成品中间槽(6)之间设有第六调节阀(19)，且第三三通阀门(23)与原料槽(3)之间设有第七调节阀(20)。
...【技术特征摘要】
1.一种高效的电子级双氧水生产装置，其特征在于，包括：双氧水管道(1)、原料预处理单元、膜分离单元和成品过滤单元，其中；
2.根据权利要求1的一种高效的电子级双氧水生产装置，其特征在于，原料过滤器(2)与原料槽(3)之间设置有第一三通阀门(21)，且第一三通阀门(21)通过第一调节阀(14)连接超纯水管道(10)。
3.根据权利要求1的一种高效的电子级双氧水生产装置，其特征在于，第一双氧水泵(24)的出口与第一冷却器(4)之间设有第二调节阀(15)。
4.根据权利要求1的一种高效的电子级双氧水生产装置，其特征在于，一级ro膜组(5)的截流液出口与双氧水槽(11)之间设有第二三通阀门(22)，且第二三通阀门(22)与原料槽(3)进料口相连。
5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘其祥，黄鑫平，刘欣雨，
申请(专利权)人：江苏中煦科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。