【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及减震装置，特别是涉及一种减震装置。
技术介绍
1、在传统电子显微镜与扫描探针成像应用中，通常采用减震块来降低振动，并通过较长金属波纹管连接。因分子泵距离电镜越近，实际真空效率越高，为了优化真空系统性能，需要尽量缩短真空波纹管长度。经优化后的波纹管应处于自然悬垂状态，且电镜与减震块在波纹管轴线方向上均不受拉应力。然而，由于电镜与减震块相对位置固定，且真空系统压力变化会导致连接二者的波纹管长度发生变化，造成波纹管受电子显微镜上相关元件拉应力。如，在提高真空系统真空度时，波纹管收缩会引起应力，以至该连接变成刚性连接，进而增加振动传递。
技术实现思路
1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种减震装置，用于解决现有技术中减震块减震效果不佳的问题。
2、为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种减震装置，包括：
3、支撑平台；
4、固定板，设置在所述支撑平台上；
5、位移组件，沿第一方向可移动地设置在所述固定板上；
6、减震块，设置在所述位移组件上，所述减震块具有沿第一方向相背设置的第一侧和第二侧，所述第一侧和第二侧用于分别和真空系统的两个波纹管连接。
7、可选地，所述位移组件包括第一支撑板，所述第一支撑板的外侧壁上分别设置有第一限位块，所述第一支撑板具有用于支撑所述减震块的第一面，各个所述限位块与所述第一面围成限位区域，所述减震块设置在所述限位区域内。
8、可选地，所述
9、可选地，所述位移组件还包括第三支撑板，所述第二支撑板沿第二方向可移动地设置在所述第三支撑板上，所述第一方向和第二方向相互垂直。
10、可选地，所述第三支撑板上沿第二方向设置有第一滑轨，所述第二支撑板与所述第三支撑板的相对侧设置有第一滑块，所述第一滑块与所述第一滑轨相配合。
11、可选地，所述第一滑轨设置为沿第一方向排列的至少两条，所述第一滑块的数量与所述第一滑轨相同并分别一一对应设置。
12、可选地，所述第一滑轨上设置有用于沿第二方向对所述第一滑块进行限位的两个第二限位块，所述第一滑块沿第二方向设置在两个所述第二限位块之间。
13、可选地，所述固定板上沿第一方向设置有第二滑轨，所述位移组件通过所述第二滑轨沿第一方向可移动地设置在所述固定板上，所述第三支撑板面向所述固定板的一侧上设置有第二滑块，所述第二滑块与所述第二滑轨相配合。
14、可选地，所述第二滑轨上设置有用于沿第一方向对所述第二滑块进行限位的两个第三限位块，所述第二滑块沿第一方向设置在两个所述第三限位块之间。
15、可选地，所述第一面上设置有防磨损层和防腐蚀层。
16、如上所述，本专利技术的减震装置，具有以下有益效果：
17、本方案通过将减震块设置在可沿第一方向移动的位移组件上，使得减震块也能够随位移组件沿第一方向移动。当真空系统的压力发生变化时，波纹管长度会发生变化并拉扯减震块，此时减震块随波纹管移动，减小波纹管对仪器设备的拉扯。显著减少了电子显微镜因振动传递导致的微小位移和振动，有效提高了电子显微镜的稳定性和测量精度。并且减震块能够沿第一方向灵活调整位置，使波纹管管路长度最小化，从而优化真空效果。本方案通过将高频振动转换为低频振动，不仅提高了减震效果，还延长了电子显微镜的使用寿命。
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1.一种减震装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，所述位移组件包括第一支撑板，所述第一支撑板的外侧壁上分别设置有第一限位块，所述第一支撑板具有用于支撑所述减震块的第一面，各个所述限位块与所述第一面围成限位区域，所述减震块设置在所述限位区域内。
3.根据权利要求2所述的减震装置，其特征在于，所述位移组件还包括第二支撑板，所述第二支撑板上设置有转动轴承，所述第一支撑板通过所述转动轴承可水平转动地设置在所述第二支撑板上。
4.根据权利要求3所述的减震装置，其特征在于，所述位移组件还包括第三支撑板，所述第第二支撑板沿第二方向可移动地设置在所述第三支撑板上，所述第一方向和第二方向相互垂直。
5.根据权利要求4所述的减震装置，其特征在于，所述第三支撑板上沿第二方向设置有第一滑轨，所述第二支撑板与所述第三支撑板的相对侧设置有第一滑块，所述第一滑块与所述第一滑轨相配合。
6.根据权利要求5所述的减震装置，其特征在于，所述第一滑轨设置为沿第一方向排列的至少两条，所述第一滑块的数量与所述第一滑轨相同并分别一
7.根据权利要求5或6所述的减震装置，其特征在于，所述第一滑轨上设置有用于沿第二方向对所述第一滑块进行限位的两个第二限位块，所述第一滑块沿第二方向设置在两个所述第二限位块之间。
8.根据权利要求4所述的减震装置，其特征在于，所述固定板上沿第一方向设置有第二滑轨，所述位移组件通过所述第二滑轨沿第一方向可移动地设置在所述固定板上，所述第三支撑板面向所述固定板的一侧上设置有第二滑块，所述第二滑块与所述第二滑轨相配合。
9.根据权利要求8所述的减震装置，其特征在于，所述第二滑轨上设置有用于沿第一方向对所述第二滑块进行限位的两个第三限位块，所述第二滑块沿第一方向设置在两个所述第三限位块之间。
10.根据权利要求2至6中任意一项所述的减震装置，其特征在于，所述第一面上设置有防磨损层和防腐蚀层。
...【技术特征摘要】
1.一种减震装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，所述位移组件包括第一支撑板，所述第一支撑板的外侧壁上分别设置有第一限位块，所述第一支撑板具有用于支撑所述减震块的第一面，各个所述限位块与所述第一面围成限位区域，所述减震块设置在所述限位区域内。
3.根据权利要求2所述的减震装置，其特征在于，所述位移组件还包括第二支撑板，所述第二支撑板上设置有转动轴承，所述第一支撑板通过所述转动轴承可水平转动地设置在所述第二支撑板上。
4.根据权利要求3所述的减震装置，其特征在于，所述位移组件还包括第三支撑板，所述第第二支撑板沿第二方向可移动地设置在所述第三支撑板上，所述第一方向和第二方向相互垂直。
5.根据权利要求4所述的减震装置，其特征在于，所述第三支撑板上沿第二方向设置有第一滑轨，所述第二支撑板与所述第三支撑板的相对侧设置有第一滑块，所述第一滑块与所述第一滑轨相配合。
6.根据权利要...
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