【技术实现步骤摘要】
本技术涉及线切割，特别是涉及一种承载装置和线切割装置。
技术介绍
1、在线切割
，以碳化硅晶棒金刚线切片机为例，通常设置绕线装置和进给装置。绕线装置将往复走线的金刚线绕成切割线网，进给装置带动碳化硅晶棒与切割线网相向进给，以实现对碳化硅晶棒的切片作业。碳化硅具有较高的硬度，现有金刚线切片机在切片作业时，碳化硅粉屑容易包裹金刚线，会削弱金刚线的磨削力。一方面，会导致金刚线磨损情况较严重，且切片效率较低，切片成本较高。另一方面，会导致金刚线切片机细线化程度不高，对碳化硅晶棒原料的有效利用率较低。进一步地，还导致往复走线的金刚线上包裹碳化硅粉屑的量不一致，即新金刚线侧包裹碳化硅粉屑的量较少，旧金刚线侧包裹碳化硅粉屑的量较多，导致切片质量不佳。
技术实现思路
1、鉴于上述问题，本技术提出了至少部分解决上述问题的一种承载装置和线切割装置，解决现有技术中切割粉屑容易包裹切割线，削弱切割线的磨削力的问题。
2、具体地，本技术提供如下技术方案：
3、一种承载装置，包括晶托和至少一个清洁板。所述晶托具有朝向所述线切割装置的切割线的承载面，所述承载面用于直接或间接固定连接待切割件。
4、所述清洁板直接或间接固定连接于所述晶托；所述清洁板处于所述切割线的行进路径上，以在随所述待切割件相对所述切割线进给的全程或者部分过程中，被所述切割线切割。
5、可选地，所述切割线形成切割线网。所述待切割件在相对所述切割线网进给的过程中形成多个切割面。
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7、可选地，所有所述切割面相互平行。在与所述切割面垂直的第一方向上，所述切割线网的总跨度大于所述待切割件的长度，所述清洁板处于所述待切割件的沿所述第一方向的一侧或两侧。
8、可选地，所述清洁板相对至少一个所述切割面平行间隔地设置。
9、可选地，所述待切割件包括沿所述第一方向布置的多个子待切割件。
10、在所述第一方向上，至少一个所述清洁板处于两个所述子待切割件之间。
11、可选地，所述切割线网的所有所述切割线均匀间隔地设置。
12、在与所述切割面垂直的第一方向上，所述清洁板的厚度为所述切割线网的相邻两个所述切割线的间距的0.5-3倍。
13、可选地，所述清洁板的一端固定连接于所述承载面。在与所述切割面垂直的第一方向上，所述清洁板与所述待切割件的间距为0～50毫米。
14、可选地，所述清洁板固定连接于所述待切割件的沿所述第一方向的一端侧面和/或两端侧面。
15、可选地，在沿所述承载面的宽度方向上，所述清洁板的宽度w1小于所述待切割件的宽度w2。
16、可选地，w1与w2的比值为1/2～2/3。
17、可选地，所述承载装置还包括连接板，所述连接板的两侧分别固定连接所述承载面和所述待切割件。
18、所述清洁板的远离所述承载面的一端距所述承载面的间距l1小于所述待切割件的远离所述承载面的一端距所述承载面的间距l2。
19、可选地，所述清洁板包含氧化铝粉和树脂粘结剂。
20、另一方面，本技术还提供一种线切割装置，线切割装置包括进给装置和上述的承载装置。所述进给装置配置成至少驱动所述晶托沿所述切割面相对所述切割线运动。
21、可选地，所述线切割装置为切片机。
22、本申请提供的一种承载装置，通过在承载有待切割件的晶托上直接或间接固定连接清洁板，清洁板随待切割件一起相对切割线进给，且在进给的全程或者部分过程中被切割线切割。清洁板可对切割穿过的切割线进行清理，清除切割线表面包裹的切割粉屑，从而使得切割线在往复走线过程中始终保持开刃状态。一方面，使得切割线保持较强的磨削力，降低磨损情况，提高切割效率。另一方面，可提高切割线细线化程度，提高对待切割件的利用率。
23、进一步地，在线切割装置对待切割件进行切片作业时，清洁板通过及时去除包裹在切割线表面的切割粉屑，使得切割线始终保持一致的磨削力，使得切割面各处的切缝能够保持均匀一致，可减少或避免制造的待切割件切片的翘曲和弯曲，提高切片质量。
24、根据下文结合附图对本技术具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本技术的上述以及其他目的、优点和特征。
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1.一种用于线切割装置的承载装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述清洁板相对至少一个所述切割面平行间隔地设置。
5.根据权利要求4所述的承载装置，其特征在于，
6.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，
7.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述承载装置还包括连接板，所述连接板的两侧分别固定连接所述承载面和所述待切割件；
8.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述清洁板包含氧化铝粉和树脂粘结剂。
9.一种线切割装置，其特征在于，包括进给装置和如权利要求1～8中任一项所述的承载装置；所述进给装置配置成至少驱动所述晶托相对所述切割线进给。
10.根据权利要求9所述的线切割装置，其特征在于，所述线切割装置为切片机。
【技术特征摘要】
1.一种用于线切割装置的承载装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述清洁板相对至少一个所述切割面平行间隔地设置。
5.根据权利要求4所述的承载装置，其特征在于，
6.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，
7.根据权利要求1所述的承...
【专利技术属性】
技术研发人员：贺基凯，李兴鹏，李玉辉，黄余华，
申请(专利权)人：青岛高测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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