【技术实现步骤摘要】
本技术涉及甩干机，尤其涉及一种圆晶甩干机。
技术介绍
1、晶圆是一种用于制作硅半导体电路所用的硅晶片，生产时根据需要，晶圆加工完成后需要进行清洗、甩干处理，甩干处理过程中会使用到特定的晶圆甩干机进行甩干。
2、于2018年4月20日授权公告的中国技术专利申请授权公告号cn207265017u公开了一种晶片甩干机，其采用固定在旋转平台的沿同一圆周间隔布置的多个限位柱，各限位柱具有弧形支撑面和内凹的避让面，弧形支撑面向上突出，内凹的避让面径向向内凹，这样弧形的支撑面线支撑待甩干的晶圆的下周缘，而内凹的避让面提供了晶圆甩干时起步和减速时形成的径向偏心移动的避让空间，从而减低了对晶圆的周面的碰撞，同时甩干过程限位柱除了接触晶圆的上下周缘外，限位柱不接触晶圆的上下表面。
3、但上述甩干机不能根据不同尺寸晶圆的进行限制，适用性较低，不便于推广。
技术实现思路
1、本技术提供了一种圆晶甩干机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种圆晶甩干机，包括甩干箱，所述甩干箱的内底侧壁通过旋转驱动装置连接有安装箱，所述安装箱呈顶部呈开口设置的圆筒，所述安装箱的顶部固定连接有顶板，所述顶板上侧固定连接有多个支撑片，所述安装箱内底侧固定连接有第一电机，所述第一电机通过传动装置连接有四个螺纹杆，四个所述螺纹杆一端均转动连接在安装箱的内侧壁上，四个所述螺纹杆上均螺纹连接有限位柱，所述顶板的侧壁上开设有四个呈贯穿设置
4、作为本技术方案的进一步改进方案：所述旋转驱动装置包括转动柱，所述转动柱转动连接在甩干箱的内部底侧壁上，所述转动柱的上端固定连接在安装箱的底侧壁上，所述转动柱的侧壁上固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮侧壁啮合连接有第二齿轮，所述甩干箱的内底侧壁上固定连接有第二电机，所述第二齿轮固定连接在第二电机的输出轴上。
5、作为本技术方案的进一步改进方案：所述传动装置包括第一斜齿轮，所述第一斜齿轮固定连接在第一电机的输出轴上，所述第一斜齿轮的侧壁上啮合连接有四个第二斜齿轮，四个所述第二斜齿轮分别固定连接在四个螺纹杆的一端。
6、作为本技术方案的进一步改进方案：四个所述限位柱的侧壁上均设有压力传感器，所述安装箱的侧壁上设有控制器，多个所述压力传感器、第一电机均与控制器电连接。
7、作为本技术方案的进一步改进方案：多个所述支撑片呈环形阵列设置在顶板的上侧。
8、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
9、该装置设计合理，构思巧妙，通过设置第一斜齿轮、第二斜齿轮、螺纹杆、限位柱等部件相互配合，进而能根据晶圆的不同尺寸晶圆的进行限制，适用性较高，便于推广。
10、上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本技术的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。
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1.一种圆晶甩干机，包括甩干箱(1)，其特征在于，所述甩干箱(1)的内底侧壁通过旋转驱动装置连接有安装箱(16)，所述安装箱(16)呈顶部呈开口设置的圆筒，所述安装箱(16)的顶部固定连接有顶板(8)，所述顶板(8)上侧固定连接有多个支撑片(7)，所述安装箱(16)内底侧固定连接有第一电机(6)，所述第一电机(6)通过传动装置连接有四个螺纹杆(9)，四个所述螺纹杆(9)一端均转动连接在安装箱(16)的内侧壁上，四个所述螺纹杆(9)上均螺纹连接有限位柱(2)，所述顶板(8)的侧壁上开设有四个呈贯穿设置的轨道槽(3)，四个所述限位柱(2)分别对应滑动连接在四个轨道槽(3)内。
2.根据权利要求1所述的一种圆晶甩干机，其特征在于，所述旋转驱动装置包括转动柱(11)，所述转动柱(11)转动连接在甩干箱(1)的内部底侧壁上，所述转动柱(11)的上端固定连接在安装箱(16)的底侧壁上，所述转动柱(11)的侧壁上固定连接有第一齿轮(10)，所述第一齿轮(10)侧壁啮合连接有第二齿轮(13)，所述甩干箱(1)的内底侧壁上固定连接有第二电机(12)，所述第二齿轮(13)固定连接在第二电
3.根据权利要求1所述的一种圆晶甩干机，其特征在于，所述传动装置包括第一斜齿轮(5)，所述第一斜齿轮(5)固定连接在第一电机(6)的输出轴上，所述第一斜齿轮(5)的侧壁上啮合连接有四个第二斜齿轮(4)，四个所述第二斜齿轮(4)分别固定连接在四个螺纹杆(9)的一端。
4.根据权利要求1所述的一种圆晶甩干机，其特征在于，四个所述限位柱(2)的侧壁上均设有压力传感器(15)，所述安装箱(16)的侧壁上设有控制器(14)，多个所述压力传感器(15)、第一电机(6)均与控制器(14)电连接。
5.根据权利要求1所述的一种圆晶甩干机，其特征在于，多个所述支撑片(7)呈环形阵列设置在顶板(8)的上侧。
...【技术特征摘要】
1.一种圆晶甩干机，包括甩干箱(1)，其特征在于，所述甩干箱(1)的内底侧壁通过旋转驱动装置连接有安装箱(16)，所述安装箱(16)呈顶部呈开口设置的圆筒，所述安装箱(16)的顶部固定连接有顶板(8)，所述顶板(8)上侧固定连接有多个支撑片(7)，所述安装箱(16)内底侧固定连接有第一电机(6)，所述第一电机(6)通过传动装置连接有四个螺纹杆(9)，四个所述螺纹杆(9)一端均转动连接在安装箱(16)的内侧壁上，四个所述螺纹杆(9)上均螺纹连接有限位柱(2)，所述顶板(8)的侧壁上开设有四个呈贯穿设置的轨道槽(3)，四个所述限位柱(2)分别对应滑动连接在四个轨道槽(3)内。
2.根据权利要求1所述的一种圆晶甩干机，其特征在于，所述旋转驱动装置包括转动柱(11)，所述转动柱(11)转动连接在甩干箱(1)的内部底侧壁上，所述转动柱(11)的上端固定连接在安装箱(16)的底侧壁上，所述转动柱(11)的侧壁上固...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵文涛，
申请(专利权)人：河北中科微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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